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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]一种用于晶圆加工的回料装置-CN202223143226.6有效
发明人：高文峰 -专利权人： 上海祎丰环保科技有限公司
申请日： 2022-11-25 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： B08B1/04 文献下载
摘要：本申请属于晶圆加工技术领域，公开了一种用于晶圆加工的回料装置，包括底座，底座的顶端一侧固定安装有壳体，壳体的内部设置有转动机构，壳体的顶端设置有放置板，放置板的顶端设置有清洁刷，底座的顶端另一侧固定连接有外壳，外壳的顶部正面设置有擦拭板；外壳的内部设置有旋转擦拭组件，旋转擦拭组件包括螺纹杆、套环、连接环、调节环和旋钮，外壳的顶端对称开设有两个滑槽，滑槽的内部滑动连接有限位杆。在对晶圆表面清洗后，转动旋钮通过旋转擦拭组件内部连接结构之间的相互配合，使擦拭板转动至晶圆的上方，然后对晶圆的表面进行擦拭，无需取出晶圆，从而避免晶圆表面再次吸附灰尘，造成二次污染的情况发生。
一种用于加工装置

[实用新型]一种芯片晶圆加工用切割装置-CN202221754730.7有效
发明人：高文峰 -专利权人： 上海祎丰环保科技有限公司
申请日： 2022-07-07 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种芯片晶圆加工用切割装置，包括底座，所述底座的上表面上设置有凹槽，所述凹槽内部设置有多个挡板，所述凹槽内部设置有用于移动挡板的移动机构，所述底座的上表面上固定连接有两个支撑板，两个所述支撑板之间设置有用于切割的切割机构，两个所述支撑板之间设置有用于清理碎屑的清理机构，所述底座的侧面设置有用于控制移动机构运转的动力机构，通过移动机构，不使用到特定工具也可以对芯片晶圆进行夹紧和固定，便于对芯片晶圆进行切割的操作，操作简单，通过切割机构和清理机构的设置，能够对芯片晶圆进行切割和将碎屑进行清理，通过动力机构的设置，可以对不同尺寸的芯片晶圆进行切割，适用性更广。
一种芯片晶圆加工用切割装置

[实用新型]一种晶圆吸附主轴气密封测试机-CN202123144361.8有效
发明人：高文峰 -专利权人： 上海祎丰环保科技有限公司
申请日： 2021-12-14 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶圆技术领域，公开了一种晶圆吸附主轴气密封测试机，包括底座，所述底座的顶部设置有升降机构，所述升降机构的内部设置有检测组件，所述底座的顶部开设有数量为多个的放置槽，所述底座的内部设置有动力机构，所述底座的内部设置有延伸至多个所述放置槽的内部并与动力机构相连接的顶升组件。该晶圆吸附主轴气密封测试机，具备了使用效果好的优点，解决了在晶圆工艺生产中，需要人工使用仪器进行气密性检测，然而，人工操作的方式不仅较为繁琐，而且效率极低，同时为防止晶圆在检测过程中发生位移，一般通过将晶圆放置在凹槽中进行检测，在检测完成后由于晶圆位于凹槽内，导致无法通过机械来对晶圆进行拿取或夹持的问题。
一种吸附主轴密封测试

[实用新型]一种晶圆加工用的甩干机-CN202123093679.8有效
发明人：高文峰 -专利权人： 上海祎丰环保科技有限公司
申请日： 2021-12-10 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶圆加工技术领域，公开了一种晶圆加工用的甩干机，包括外壳，所述外壳的内腔顶壁固定连接有内壳，所述外壳的顶部固定连接有一端延伸至内壳内部的传动装置，所述传动装置的外侧固定连接有固定板和位于固定板下方且与固定板底部固定连接的限位装置，所述固定板和限位装置的外侧卡接有同一个置物盒。该晶圆加工用的甩干机，具备了生产效率高的优点，解决了现有的晶圆加工流程中需要首先要进行表面清洗，清洗过后的晶圆需要进行干燥后再进行下一次的加工，但现有的晶圆干燥方式干燥时间长，容易影响晶圆的生产效率，且干燥过程中若晶圆表面存在水渍还会影响生产质量的问题。
一种晶圆加工用甩干机

[实用新型]一种用于晶圆加工的晶圆清洗机-CN202123096965.X有效
发明人：高文峰 -专利权人： 上海祎丰环保科技有限公司
申请日： 2021-12-10 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶圆清洗机技术领域，公开了一种用于晶圆加工的晶圆清洗机，包括箱壳和位于箱壳顶部的翻盖，所述箱壳的内腔前后两侧壁均转动连接有直杆，两个所述直杆之间固定连接有晶圆固定件，所述箱壳上设置有与背面所述直杆传动连接的动力件，所述箱壳的内部转动连接有位于晶圆固定件左侧的横管，所述横管的右端连通有短管，所述短管的右侧连通有等距离分布的喷头。该用于晶圆加工的晶圆清洗机，具备清洗效率高等优点，解决了现有技术中，待清洗的晶圆板固定在晶圆清洗机的清洗台上，通过位于清洗台上方的喷水头对清洗台上的晶圆板进行冲洗，清洗范围有限，不能对晶圆板的反面进行清洗，需要反向再次放置晶圆板，使得清洗效率低的问题。
一种用于加工清洗

[实用新型]IC卡自动清洗机-CN201420328206.2有效
发明人：高文峰 -专利权人： 上海祎丰环保科技有限公司
申请日： 2014-06-19 - 公布日： 2014-10-22 - 主分类号： B08B1/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种IC卡自动清洗机，它涉及一种清洗装置。它包括进卡装置、清洗机构、烘干装置、消毒装置和出卡装置，机体上由左至右依次设置有进卡装置、清洗机构、烘干装置、消毒装置和出卡装置；所述的进卡装置为双通道进卡装置，进卡装置前端设置有两个卡片箱，卡片箱与步进电机相连，卡片箱内的卡片通过拉簧拉紧设置，每传送一片，下面的卡片就抬高一个卡片位。本实用新型结构简单，清洗方便可靠，清洗效果非常理想，清洗速度快，实用性强。
ic 自动清洗

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