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[发明专利]太阳能单电池和太阳能电池组件-CN202010206479.X在审
发明人： 上山知纪 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2020-03-23 - 公布日： 2020-10-02 - 主分类号： H01L31/0288 文献下载
摘要：本发明提供一种具有改善了光电转换特性的异质结结构的太阳能单电池。太阳能单电池(1)包括：晶体类的硅基片(10)；形成在硅基片(10)的主面上的、含有磷作为杂质的P掺杂硅氧化物层(50)；非晶硅层(60)，其具有形成在P掺杂硅氧化物层(50)上的本征非晶硅层(61)、和形成在本征非晶硅层(61)上的含有p型掺杂剂的p型非晶硅层(62)。而且，本征非晶硅层(61)含有p型掺杂剂，本征非晶硅层(61)的厚度方向上的p型掺杂剂的浓度具有比P掺杂硅氧化物层(50)与本征非晶硅层(61)的界面上的p型掺杂剂的浓度高的分布。
太阳能电池太阳能电池组件

[发明专利]催化化学气相成膜装置、使用该装置的成膜方法和催化剂体的表面处理方法-CN201280011492.3有效
发明人： 上山知纪;甲斐干英 -专利权人：三洋电机株式会社
申请日： 2012-02-21 - 公布日： 2013-11-27 - 主分类号： H01L21/205 文献下载
摘要：本发明提供一种在进行催化剂体CVD法的成膜装置中，减轻催化剂体的伸长引起的问题，运行成本、生产性方面优异的结构。具备：能够将内部维持为减压状态的腔室（1）；将原料气体导入腔室的原料气体导入通路（32、33a）；以由气体导入通路导入的原料气体接触表面的方式设置于腔室（1）内、在钽线的表面形成有硼化物层的催化剂体（4）；为了在催化剂体（4）的表面形成硼化物层，向腔室（1）导入乙硼烷气体的表面层形成用气体导入通路（36、33b）；和对催化剂体（4）施加能量而使催化剂体为规定的温度的电源部（5），停止原料气体的导入，一边从表面层形成用气体导入通路导入乙硼烷气体，一边对催化剂体（4）进行通电加热，在催化剂体（4）的硼化物层的表面进一步重叠形成硼化物。
催化化学相成装置使用方法催化剂表面处理