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[发明专利]相位差控制装置-CN201980014264.3有效
发明人： 三好有一 -专利权人：日本分光株式会社
申请日： 2019-01-30 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： G01J4/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种能够在CD光谱仪中利用的相位差控制装置的响应性改善技术。相位差控制装置具备：分割偏振器(14)，其将来自光源(12)的光分割成直线偏振的测定光和直线偏振的参照光；PEM(16)，其以与分光测定相对应的方式对测定光和参照光赋予相位差；PEM驱动器(18)，其向PEM(16)供给调制电压；PEM控制电路(24)，其输入参照光作为反馈信号，并且向PEM驱动器(18)输出调制控制量信号，相位差控制装置还具备CPU电路(26)，该CPU电路监视分割偏振器(14)的光的波长，并输入波长变化作为波长信号，CPU电路(26)将波长信号变换成前馈信号，前馈信号被输出到PEM控制电路(24)，PEM控制电路(24)进行基于反馈信号和前馈信号的运算处理，来向PEM驱动器(18)输出调制控制量信号。
相位差控制装置

[发明专利]反射型的偏振光分离衍射元件以及具备该元件的光学测定装置-CN201980103062.6在审
发明人：福田隆史;江本显雄;成田贵人;早川广志;三好有一 -专利权人：日本分光株式会社;国立研究开发法人产业技术综合研究所
申请日： 2019-12-16 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本发明提供一种能够在包括紫外区的宽波长范围内使用的反射型的偏振光分离衍射元件以及具备该元件的光学测定装置。反射型的偏振光分离衍射元件具备：基板(1)；反射面(2)，其形成于基板(1)的表面；以及光栅状结构体(3)，其设置在反射面(2)上，呈现出结构性双折射(Δn*)。光栅状结构体(3)由4个图案的光栅状结构体(3A、3B、3C及3D)构成，所述4个图案的光栅状结构体具有各不相同的方位角的光栅状结构。多个图案的光栅状结构体(3A、3B、3C及3D)以使光栅状结构的方位角进行结构周期性的变化的方式在反射面2上沿规定方向进行排列。
反射偏振光分离衍射元件以及具备光学测定装置

[发明专利]圆二色性测定装置以及圆二色性测定方法-CN201980094139.8在审
发明人： 三好有一;近藤吉朗 -专利权人：日本分光株式会社
申请日： 2019-07-17 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： G01N21/19 文献下载
摘要：不需要基于标准试样进行校准作业的圆二色性测定装置具备：试样部(4)，其具有试样；PEM(3)，其对向试样部(4)的入射光或来自试样部(4)的出射光的偏振状态进行调制；光检测器(5)，其检测来自试样部(4)的出射光的光强度的变化；放大器(7)，其放大来自光检测器(5)的检测信号；AD转换器(8)，其将由放大器(7)放大后的检测信号转换为数字信号；以及数字处理装置(10)，其对来自AD转换器(8)的数字信号进行信号处理，来获取试样的圆二色性的测定值。AD转换器(8)构成为将在包含以与PEM(3)的调制频率相同的频率进行变化的光强度的AC成分和DC成分的状态下被放大后的检测信号转换为数字信号。
圆二色性测定装置以及方法