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[发明专利]一种晶圆缺陷检测装置的承片系统-CN202310176388.X在审
发明人： 丁睿哲;熊伟;周佐达;瞿顶军;李志伟;金伟;罗海燕 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供了一种晶圆缺陷检测装置的承片系统，其中：真空吸附气路分别经对应的气管接至承载台与调整台；承载台包括同轴组装的Z轴升降台、转台和固定吸附台；固定吸附台依靠真空吸附气路提供吸附力吸附固定待检测的晶圆，能够随转台绕中轴线同步回转，并可由Z轴升降台驱动与转台同步升降；调整台包括调整吸附台和XYZ三轴平台；调整吸附台能够依靠真空吸附气路提供吸附力相适配地吸附在被固定的晶圆外缘底部；XYZ三轴平台通过驱动调整吸附台运动带动晶圆位移。本发明集成真空吸附、高速旋转、Z向辅助调焦、晶圆自动对准等多种关键功能，能够满足晶圆缺陷检测过程中绝大部分承片需求。
一种缺陷检测装置系统

[发明专利]晶圆检测装置、方法、计算机可读储存介质以及电子设备-CN202211728412.8在审
发明人：熊伟;周佐达;罗海燕;魏来;瞿顶军;丁睿哲;李志伟;金伟;洪津 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种晶圆检测装置、方法、计算机可读储存介质以及电子设备，属于光学检测技术领域。晶圆检测装置，包括测量组件、检测电路以及扫描台，测量组件包括照明单元以及反射测量单元，照明单元用于为晶圆探测区域提供照明聚焦光，反射测量单元用于接收晶圆表面的反射光，并将反射光划分为第一检测光以及第二检测光；检测电路用于根据测量组件的反射光检测晶圆表面缺陷以及膜厚，检测电路包括加法器以及除法器，加法器用于将第一检测光的模拟信号与第二检测光的模拟信号相加，除法器用于将第一检测光的模拟信号与第二检测光的模拟信号相除；扫描台用于放置晶圆。该晶圆检测装置能够快速且同时完成晶圆表面缺陷检测以及膜厚检测。
检测装置方法计算机可读储存介质以及电子设备

[发明专利]一种晶圆表面缺陷检测装置和方法-CN202210690874.9在审
发明人：周佐达;熊伟;罗海燕;瞿顶军;丁睿哲;金伟;李志伟;洪津 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2022-06-17 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆表面缺陷检测装置和方法，激光器的光源出射激光，通过光源调制组件的调制以后，聚焦到检测晶圆表面待测位置；聚焦光斑的散射光进入散射测量通道，经过散射调制组件调制以后汇聚到PMT探测器，进行散射能量探测；聚焦光斑的反射光进入反射测量通道，经过反射调制组件调制以后汇聚到四象限探测器；检测晶圆吸附于扫描运动机构上方，扫描运动机构与升降台上端连接；解决点散射能量法缺陷探测时离焦问题，增加反射功率测量通道；整套系统结构简单，光源和反射测量通道都复用到了缺陷探测和离焦测量中；缺陷探测和离焦测量系统共用一套光源系统，测量中，避免了缺陷探测光源和离焦测量系统光源相互干扰，保证二者测量的是同一位置。
一种表面缺陷检测装置方法

[发明专利]一种连续油管切口复原修复装置-CN201810200060.6有效
发明人： 丁睿哲 -专利权人：金程泽
申请日： 2018-03-12 - 公布日： 2020-06-12 - 主分类号： E21B29/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种连续油管切口复原修复装置。其技术方案是：过渡连接套的上部通过连接螺栓连接上压帽，上压帽的下方安放键套，键套设有内键槽，通过内键槽与修复口外套的外键配合，修复口外套的下部设有T型槽，所述修复口内模的底部为圆锥体结构，且设有多个注气孔，通过注气孔与修复口内模内腔的单向阀连通，有益效果是：通过全封闸板和过渡连接套、键套、修复口外套、修复口内模和上压帽的配合，对有毒气体进行了有效的控制，避免了大量泄漏，而且也避免了自喷或溢出，并且，实现了一字型切口的扩孔修复，使出液量或出气量得到大幅度的提升，解决了连续油管目前使用中的问题，更进一步的推动了连续油管的应用。
一种连续油管切口复原修复装置

[发明专利]一种连续油管切口复原修复装置的使用方法-CN201810200030.5有效
发明人： 丁睿哲 -专利权人：东营市龙为机电设备有限公司
申请日： 2018-03-12 - 公布日： 2020-05-12 - 主分类号： E21B29/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种连续油管切口复原修复装置的使用方法。其技术方案是：过渡连接套的上部通过连接螺栓连接上压帽，上压帽的下方安放键套，键套设有内键槽，通过内键槽与修复口外套的外键配合，修复口外套的下部设有T型槽，所述修复口内模的底部为圆锥体结构，且设有多个注气孔，通过注气孔与修复口内模内腔的单向阀连通，有益效果是：通过全封闸板和过渡连接套、键套、修复口外套、修复口内模和上压帽的配合，对有毒气体进行了有效的控制，避免了大量泄漏，而且也避免了自喷或溢出，并且，实现了一字型切口的扩孔修复，使出液量或出气量得到大幅度的提升，解决了连续油管目前使用中的问题，更进一步的推动了连续油管的应用。
一种连续油管切口复原修复装置使用方法

[发明专利]一种无焊接输油管线堵漏装置-CN201810113401.6有效
发明人： 丁睿哲 -专利权人： 丁睿哲
申请日： 2018-02-05 - 公布日： 2019-01-08 - 主分类号： F16L55/168 文献下载
摘要：本发明涉及一种无焊接输油管线堵漏装置。其技术方案是：输油管线的泄露点处缠绕多圈遇油膨胀橡胶，在遇油膨胀橡胶外侧缠绕包裹住过渡加强胶线，再缠绕未硫化的橡胶片，在所述的橡胶片外侧安装内模，内模包括左内模和右内模，通过外模将内模连接固定在一起，所述的外模的内腔设有电加热管组，通过电加热管组加热实现硫化的温度，通过增压活塞装置加压至硫化所需的压力，使内模与输油管线之间形成耐腐蚀耐压橡胶。有益效果是：通过对输油管线的泄露点进行预处理，再通过特制的硫化装置对输油管线进行橡胶的硫化，形成耐腐蚀耐压橡胶实现堵漏，避免了输油管线需要焊接来修复的问题，消除了安全隐患。
输油管线内模硫化缠绕遇油膨胀橡胶橡胶电加热管堵漏装置耐腐蚀无焊接橡胶片耐压外模泄露增压活塞装置预处理安全隐患连接固定硫化装置未硫化右内模左内模堵漏多圈加热胶线内腔焊接加压修复

[发明专利]一种无焊接管线堵漏装置及方法-CN201811108757.7在审
发明人： 丁睿哲 -专利权人： 丁睿哲
申请日： 2018-02-05 - 公布日： 2018-12-25 - 主分类号： F16L55/168 文献下载
摘要：本发明涉及一种无焊接管线堵漏装置及方法。其技术方案是：输油管线的泄露点处缠绕多圈遇油膨胀橡胶，在遇油膨胀橡胶外侧缠绕包裹住过渡加强胶线，再缠绕未硫化的橡胶片，在所述的橡胶片外侧安装内模，内模包括左内模和右内模，通过外模将内模连接固定在一起，所述的外模的内腔设有电加热管组，通过电加热管组加热实现硫化的温度，通过增压活塞装置加压至硫化所需的压力，使内模与输油管线之间形成耐腐蚀耐压橡胶。有益效果是：通过对输油管线的泄露点进行预处理，再通过特制的硫化装置对输油管线进行橡胶的硫化，形成耐腐蚀耐压橡胶实现堵漏，避免了输油管线需要焊接来修复的问题，消除了安全隐患。
输油管线内模硫化缠绕遇油膨胀橡胶橡胶电加热管管线堵漏耐腐蚀无焊接橡胶片耐压外模泄露预处理增压活塞装置安全隐患连接固定硫化装置未硫化右内模左内模堵漏多圈胶线内腔加热焊接加压修复

[发明专利]一种无焊接管线堵漏装置-CN201811110105.7在审
发明人： 丁睿哲 -专利权人： 丁睿哲
申请日： 2018-02-05 - 公布日： 2018-11-30 - 主分类号： F16L55/168 文献下载
摘要：本发明涉及一种无焊接管线堵漏装置。其技术方案是：输油管线的泄露点处缠绕多圈遇油膨胀橡胶，在遇油膨胀橡胶外侧缠绕包裹住过渡加强胶线，再缠绕未硫化的橡胶片，在所述的橡胶片外侧安装内模，内模包括左内模和右内模，通过外模将内模连接固定在一起，所述的外模的内腔设有电加热管组，通过电加热管组加热实现硫化的温度，通过增压活塞装置加压至硫化所需的压力，使内模与输油管线之间形成耐腐蚀耐压橡胶。有益效果是：通过对输油管线的泄露点进行预处理，再通过特制的硫化装置对输油管线进行橡胶的硫化，形成耐腐蚀耐压橡胶实现堵漏，避免了输油管线需要焊接来修复的问题，消除了安全隐患。
输油管线内模硫化缠绕遇油膨胀橡胶橡胶电加热管管线堵漏耐腐蚀无焊接橡胶片耐压外模泄露预处理增压活塞装置安全隐患连接固定硫化装置未硫化右内模左内模堵漏多圈胶线内腔加热焊接加压修复

[发明专利]一种无焊接输油管线堵漏装置的使用方法-CN201810113402.0在审
发明人： 丁睿哲 -专利权人： 丁睿哲
申请日： 2018-02-05 - 公布日： 2018-05-08 - 主分类号： F16L55/172 文献下载
摘要：本发明涉及一种无焊接输油管线堵漏装置的使用方法。其技术方案是：输油管线的泄露点处缠绕多圈遇油膨胀橡胶，在遇油膨胀橡胶外侧缠绕包裹住过渡加强胶线，再缠绕未硫化的橡胶片，在所述的橡胶片外侧安装内模，内模包括左内模和右内模，通过外模将内模连接固定在一起，所述的外模的内腔设有电加热管组，通过电加热管组加热实现硫化的温度，通过增压活塞装置加压至硫化所需的压力，使内模与输油管线之间形成耐腐蚀耐压橡胶。有益效果是：通过对输油管线的泄露点进行预处理，再通过特制的硫化装置对输油管线进行橡胶的硫化，形成耐腐蚀耐压橡胶实现堵漏，避免了输油管线需要焊接来修复的问题，消除了安全隐患。
一种焊接输油管线堵漏装置使用方法

[实用新型]一种语文教学辅助用具-CN201620904564.2有效
发明人： 丁睿哲 -专利权人： 丁睿哲
申请日： 2016-08-19 - 公布日： 2017-06-27 - 主分类号： B41K1/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种语文教学辅助用具。其技术方案是图章标签、趣味评语装置，在第一套筒、第二套筒、第三套筒、第四套筒、第五套筒内分别设有圆柱形趣味评语装置，趣味评语装置的顶部设有图章标签，所述的趣味评语装置包括顶盖、加油柱、外壳、评语图章、底盖，在外壳的顶部套有顶盖，在顶盖的外壁设有弧形凸块，在外壳的下部设有评语图章，在评语图章的下部套有底盖，在外壳内设有加油柱，加油柱的底端与评语图章连接。本实用新型的有益效果是该装置设有趣味评语装置，通过评语图章的方式，该评语方式一目了然，且该评语方式更符合学生的心理，能够使学生去关注老师给的评语，努力做到更好，提高成绩，起到评语积极的作用。
一种语文教学辅助用具

[实用新型]一种扩容插排-CN201420135578.3有效
发明人： 丁睿哲 -专利权人： 丁睿哲
申请日： 2014-03-19 - 公布日： 2014-08-27 - 主分类号： H01R13/514 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种扩容插排，包括固定插座，还包括与所述固定插座相邻且相对设置的移动插座；所述移动插座的滑轨卡和在所述滑槽中；移动插座的顶部设置插孔，其底部设置触头；移动插座的下方设置有PCB电路板，所述PCB电路板为多层板结构，每层板上铺设有三条金属导电带，金属导电带的一端连接焊盘，另一端连接汇流条；与所述汇流条距离最远的移动插座，其对应的金属导电带铺设在PCB电路板的底层，与所述汇流条距离最近的移动插座，其对应的金属导电带铺设在PCB电路板的顶层。本实用新型的扩容插排，既保证了插排上插座之间的紧凑设计，对于非通用型号插头，可以滑动移动插座，以调整插座间的位置。
一种扩容

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