专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种卧式生产太阳能集热板的镀膜装置-CN201310536230.5有效
  • 魏海波;龚肖南 - 魏海波;龚肖南
  • 2013-11-01 - 2014-09-10 - C23C14/22
  • 本发明公开一种卧式生产太阳能集热板的镀膜装置,包括有依次连接的上片台、防尘加热室、进片区、镀膜区、出片区、下片台、抽空系统和传动机构;所述镀膜区由多个镀膜室组成,每个镀膜室内设有多个间隔板,通过间隔板在镀膜室内形成多个镀膜腔、通过间隔板于镀膜室内两端镀膜腔的外侧分别形成第一排气腔和第二排气腔;在同一镀膜室内第一排气腔或第二排气腔的外侧形成隔离腔;每个镀膜腔设有两个靶极和等离子体光谱检测装置。所述间隔板上与靶极对应侧对称设有两个水冷结构的“L”型调节挡板;并在两个“L”型调节挡板折弯处设有进气管,且两个进气管的进气方向相反。本发明涂层均匀、理化性能好、寿命长,生产效率,生产成本低,不会产生污染。
  • 一种卧式生产太阳能集热板镀膜装置
  • [实用新型]卧式生产太阳能集热板的镀膜装置-CN201320689385.8有效
  • 魏海波;龚肖南 - 魏海波;龚肖南
  • 2013-11-01 - 2014-04-23 - C23C14/22
  • 本实用新型公开一种卧式生产太阳能集热板的镀膜装置,包括有依次连接的上片台、防尘加热室、进片区、镀膜区、出片区、下片台、抽空系统;所述镀膜区由多个镀膜室组成,每个镀膜室内设有多个间隔板,通过间隔板在镀膜室内形成多个镀膜腔、通过间隔板于镀膜室内两端镀膜腔的外侧分别形成第一排气腔和第二排气腔;在同一镀膜室内第一排气腔或第二排气腔的外侧形成隔离腔;每个镀膜腔设有两个靶极和等离子体光谱检测装置。所述间隔板上与靶极对应侧对称设有两个水冷结构的“L”型调节挡板;并在两个“L”型调节挡板折弯处设有进气管,且两个进气管的进气方向相反。本新型涂层均匀、理化性能好、寿命长,生产效率高,生产成本低,不产生污染。
  • 卧式生产太阳能集热板镀膜装置
  • [发明专利]连续式太阳能集热板芯片真空磁控溅射镀膜生产线系统-CN201010576321.8无效
  • 魏海波;龚肖南 - 魏海波;龚肖南
  • 2010-12-07 - 2011-03-16 - C23C14/34
  • 一种连续式太阳能集热板芯片真空磁控镀膜生产线系统,它包括有上片台、防尘加热室、进片区、镀膜区、出片区、下片台、抽空装置和贯穿整条生产线系统的传动机构,其技术要点是:所述各部件依次连接,抽空系统设置在生产线系统的两侧。本发明采用模块式结构,水平卧式运送整板集热芯片,实现由大气状态到真空镀膜再到大气状态的连续式镀膜生产。它可在大面积整板太阳能芯片上获得理想的光谱选择性涂层,并且膜层均匀、理化性能好、寿命长。本发明还实现了大面积、大批量工业化生产集热板芯片选择性吸收涂层,提高生产效率,降低成本,生产过程中不会产生任何污染。
  • 连续太阳能集热板芯片真空磁控溅射镀膜生产线系统

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