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[发明专利]一种柔性四结太阳电池及其制备方法与应用-CN202310019246.2在审
发明人： 黄辉廉;彭赛男;王兵;张小宾;刘雪珍 -专利权人：中山德华芯片技术有限公司
申请日： 2023-01-06 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H01L31/0725 文献下载
摘要：本发明公开了一种柔性四结太阳电池及其制备方法与应用。上述柔性四结太阳电池包括以下结构；AlxGaInyP子电池层/AlzGaAs子电池层/GakIn1‑kAsmP1‑m子电池层/InhGaAs子电池层；其中，x＝0～～0.22，y＝0.48～1，z＝0～0.12，k＝0.12～0.16，m＝0.28～0.42，h＝0.50～0.55。本发明的柔性四结太阳电池，具体涉及了多种电池组合与相应的结构，实现了太阳电池中各子电池之间的晶格匹配和光电流的匹配，使得本发明的柔性四结太阳电池的光电转换效率可以达到35.1％，功率质量比可以达到0.728KW/Kg。
一种柔性太阳电池及其制备方法应用

[发明专利]一种外延片自动上下片设备及制造工艺-CN202211308843.9在审
发明人：王兵;胡丹;黄辉廉;彭赛男;朱志超 -专利权人：中山德华芯片技术有限公司
申请日： 2022-10-25 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种外延片自动上下片设备及制造工艺，外延片自动上下片设备包括：洁净仓，包括相连通的中转仓和操作仓，中转仓与操作仓之间设有能够启闭的隔离门，操作仓内设有用于喷出惰性气体的喷口，中转仓内设有用于放置带有晶圆的卡塞的卡塞放置位；载盘上下料装置，设置于操作仓内，用于承载载盘，并能够放入或取出载盘至外延炉内；晶圆上下料装置，设置于洁净仓内，能够转移中装仓内的晶圆至操作仓内，并定位晶圆，晶圆上下料装置设有晶圆吸附抓取机器手，晶圆吸附抓取机器手设有吸附端，吸附端上设有同向设置的超声波发生器和真空吸盘，真空吸盘能够吸取晶圆，超声波发生器于其近场区，吸附端用于转移定位的晶圆至操作仓内的载盘上。
一种外延自动下片设备制造工艺

[发明专利]一种高质量四结空间太阳电池及其制备方法-CN202011331408.9有效
发明人：黄珊珊;刘建庆;黄辉廉;刘恒昌;刘雪珍;杨文奕 -专利权人：中山德华芯片技术有限公司
申请日： 2020-11-24 - 公布日： 2022-05-20 - 主分类号： H01L31/0304 文献下载
摘要：本发明公开了一种高质量四结空间太阳电池及其制备方法，包括Ge衬底，在Ge衬底上按照层状叠加结构由下至上依次设有Ge子电池、GaInP成核层、GaInAs缓冲层、第一隧穿结、组分渐变缓冲层、DBR反射层、GaInAs子电池、第二隧穿结、AlGaInAs子电池、第三隧穿结、AlGaInP子电池；AlGaInAs子电池和AlGaInP子电池的基区与发射区之间形成耗尽层，基区和发射区为带隙渐变结构，通过在含Al子电池中引入带隙渐变结构，提高了耗尽层的材料质量，降低光生载流子主要产生区域的少子复合速率，提高光生载流子收集效率，同时，渐变的带隙具有辅助背场的作用，使远离耗尽层的光生载流子向耗尽层漂移，远离耗尽层的Al组分使含Al子电池的有效带隙更宽，有利于获得更高开路电压。
一种质量空间太阳电池及其制备方法

[发明专利]一种MOCVD反应室及其应用-CN202110223326.0有效
发明人：黄珊珊;黄辉廉;刘雪珍;刘建庆;杨文奕 -专利权人：中山德华芯片技术有限公司
申请日： 2021-03-01 - 公布日： 2022-05-20 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明公开了一种MOCVD反应室及其应用，该反应室包括反应室腔体(1)、上承载盘(2)、下承载盘(3)、氢化物气源进气口(4)、有机化合物气源进气口(5)、挡板(6)和出气口(7)；其中，所述上承载盘(2)中还设有上加热丝；所述下承载盘(3)中还设有下加热丝和高度调整装置；所述下承载盘(3)能够上下移动；所述挡板(6)能够上下移动。其用于原位双面生长，通过将有机化合物气源及氢化物气源进气口分开并用挡板隔离开来，避免了预反应，降低反应室内附着物、颗粒物等产生的几率，改善了外延片的表观。
一种 mocvd 反应及其应用

[发明专利]一种超晶格材料、制备方法及应用-CN202110515702.3有效
发明人： 黄辉廉;黄珊珊;刘恒昌;刘雪珍;杨文奕 -专利权人：中山德华芯片技术有限公司
申请日： 2021-05-12 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： H01L31/0304 文献下载
摘要：本发明公开了一种超晶格材料、制备方法及应用，属于半导体技术领域。一种超晶格材料，包括：InAs/GaSb复合层，厚度为1μm～3μm，由数量相等的若干层GaSb层和InAs层依次交替设置形成；柔性衬底，设置于InAs/GaSb复合层的InAs层一侧表面，为电镀铜膜或聚酰亚胺膜中的至少一种。本发明提出的超晶格材料，通过合理的控制超晶格材料的厚度以及衬底的柔韧性，能够实现上述超晶格材料的柔性化，使其适用于更多场景。
一种晶格材料制备方法应用

[发明专利]一种具有全角反射镜的超薄太阳电池芯片及其制备方法-CN202011487937.8有效
发明人：刘雪珍;刘建庆;高熙隆;刘恒昌;黄珊珊;黄辉廉;杨文奕 -专利权人：中山德华芯片技术有限公司
申请日： 2020-12-16 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： H01L31/056 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有全角反射镜的超薄太阳电池芯片及其制备方法，以p型Ge为衬底制作外延片，在外延片的正面制备减反膜ARC和正面电极，将外延片正面匀胶保护，减薄外延片，在外延片的背面蒸镀图形化的全角反射镜ODR和背面电极，且全角反射镜ODR和背面电极的图形互补，背面电极所占面积不超过整颗芯片面积的10％。本发明可提升Ge子电池电流，解决多结电池的Ge子电池限流问题，同时提升太阳电池的功率质量比，还有效改善了电池片翘曲问题。
一种具有全角反射超薄太阳电池芯片及其制备方法

[发明专利]一种三色探测器及其制作方法-CN202110168698.8有效
发明人：黄珊珊;黄辉廉;刘恒昌;高熙隆;杨文奕 -专利权人：中山德华芯片技术有限公司
申请日： 2021-02-07 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： H01L31/101 文献下载
摘要：本发明公开了一种三色探测器及其制作方法，三色探测器，包括依次层叠设置的：GaN衬底；AlGaN子探测器，所述AlGaN子探测器与所述GaN衬底之间设置有第一缓冲层；InGaAs子探测器，与所述AlGaN子探测器之间通过键合层连接；InGaNAs子探测器，与所述InGaAs子探测器之间设置有隧穿结，所述InGaNAs子探测器上设置有第二缓冲层。通过在深度方向上垂直集成紫外/可见光/红外多个波段的探测结构，分别利用GaN材料响应365nm紫外波段信息，利用InGaAs材料响应365~1700nm波段信息，利用InGaNAs材料响应1700~3000nm中红外波段的信息，实现紫外/可见光/红外波段的同时探测，获得目标的“彩色”图像，更丰富、更精确、更可靠地得到目标的信息。
一种三色探测器及其制作方法

[发明专利]一种柔性太阳电池串焊机及柔性太阳电池的串焊方法-CN202110583482.8有效
发明人：杨文奕;王兵;王硕;杜伟;何键华;黄辉廉;朱志超 -专利权人：中山德华芯片技术有限公司
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2021-10-26 - 主分类号： B23K26/21 文献下载
摘要：本发明公开了一种柔性太阳电池串焊机，包括真空吸附平台水平放置；第一料带用于传输太阳电池；第二料带用于传输互连片；光学定位模块用于识别位于真空吸附平台上太阳电池的定位点；第一吸嘴装置和第二吸嘴装置均设置在真空吸附平台的上方，能够在真空吸附平台与第一料带之间以及真空吸附平台与第二料带之间移动；下压探头底部为平面，中间区域镂空，下压探头能沿真空吸附平台表面的垂直方向移动，以将太阳电池压紧；激光器能够发射激光束，以穿过下压探头的镂空区域对太阳电池进行焊接；本发明的柔性太阳电池串焊机，能够实现自动化生产，焊接牢固且一致性高，形成的太阳电池串整齐，生产质量可控，效率高。
一种柔性太阳电池串焊机方法

[发明专利]路面测量用卷尺表面效果加强处理设备-CN202110683334.3在审
发明人： 黄辉廉 -专利权人： 黄辉廉
申请日： 2021-06-21 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： B21D28/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种路面测量领域，尤其涉及一种路面测量用卷尺表面效果加强处理设备。本发明要解决的技术问题是：提供一种路面测量用卷尺表面效果加强处理设备。技术方案为：一种路面测量用卷尺表面效果加强处理设备，包括有加厚系统和消泡系统等；加厚系统与消泡系统进行传动连接。本发明对卷尺进行环氧树脂涂覆，结合卷尺边缘接触测量物的时间最长的特点，对卷尺的边缘处进行加厚涂覆，利用抽取空气的方式进行卷尺表面气泡的消泡处理，并对消除气泡的位置进行树脂补充，避免卷尺拱形面上出现凹坑；冲孔系统对卷尺打孔处的孔洞两侧进行预先固定，随后利用金属冲压的方式实现卷尺端部的打孔。
路面测量卷尺表面效果加强处理设备

[发明专利]一种柔性太阳电池的串焊方法-CN202110583936.1有效
发明人：杨文奕;王兵;王硕;杜伟;何键华;黄辉廉;朱志超 -专利权人：中山德华芯片技术有限公司
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2021-09-03 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种柔性太阳电池的串焊方法，包括真空吸附平台水平放置；第一料带用于传输太阳电池；第二料带用于传输导电胶膜；光学定位模块设置在真空吸附平台的上方，用于识别位于真空吸附平台上太阳电池的定位点；吸嘴装置能够吸取太阳电池和导电胶膜，能够在真空吸附平台与第一料带之间以及真空吸附平台与第二料带之间移动；点胶管设置在真空吸附平台的上方，能够对吸附在真空吸附平台上的太阳电池点胶；下压探头设置在真空吸附平台的上方，下压探头能沿真空吸附平台表面的垂直方向移动，以将太阳电池压紧；本发明的柔性太阳电池的串焊方法，能够实现自动化生产，焊接牢固且一致性高，生产质量可控，效率高。
一种柔性太阳电池方法

[发明专利]一种柔性砷化镓太阳能电池芯片及其制作方法-CN202011604325.2有效
发明人：魏婷婷;王兵;杜伟;黄辉廉;何键华 -专利权人：中山德华芯片技术有限公司
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2021-08-27 - 主分类号： H01L31/0216 文献下载
摘要：本发明公开了一种柔性砷化镓太阳能电池芯片及其制作方法，柔性砷化镓太阳能电池芯片包括：外延层；依次层叠设置于所述外延层下表面的第一电极、铜衬底及碳纳米管薄膜；覆盖于所述外延层上表面的减反射膜与接触层；第二电极，设置于所述接触层上表面。通过在铜衬底表面制备了一层碳纳米管薄膜，利用碳纳米管薄膜的材料特性，既保证了铜衬底的导电性，同时提升了铜的抗氧化能力，并对柔性芯片翘曲度有一定改善。
一种柔性砷化镓太阳能电池芯片及其制作方法

[发明专利]一种石墨盘及其制备方法和应用-CN202110578410.4在审
发明人：刘恒昌;王硕;高熙隆;刘雪珍;黄珊珊;黄辉廉;周伟秀 -专利权人：中山德华芯片技术有限公司
申请日： 2021-05-26 - 公布日： 2021-08-20 - 主分类号： C04B41/88 文献下载
摘要：本发明公开了一种石墨盘及其制备方法和应用，涉及低压MOCVD(石墨盘)外延生长领域，尤其涉及一种减少预反应的新方法。本发明所述石墨盘的表层有一层改性薄膜，所述改性薄膜热辐射系数低于0.2W/(kg·K)。本发明通过对石墨盘进行改性，降低了预反应区所在区域的气体温度，从而达到减缓预反应发生的效果。
一种石墨及其制备方法应用

[发明专利]一种提升磷化铟中锌掺杂浓度的方法-CN202110367279.7有效
发明人： 黄辉廉;黄珊珊;张小宾;黄彦泽;杨文奕 -专利权人：中山德华芯片技术有限公司
申请日： 2021-04-06 - 公布日： 2021-07-27 - 主分类号： H01L21/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种提升磷化铟中锌掺杂浓度的方法，属于半导体材料技术领域。一种提升磷化铟中锌掺杂浓度的方法，包括在完成锌扩散的磷化铟表面生长ZnSe层，之后进行退火处理，并除去ZnSe层。本发明设置的ZnSe层，在退火处理过程中，阻碍了Znim+逸出磷化铟基体，因此，Znim+被激活，进而转化为替代位ZnS‑的几率提升，最终提升了磷化铟中锌掺杂的浓度。
一种提升磷化铟中锌掺杂浓度方法

[发明专利]一种光电阴极及其制备方法与应用-CN202110110372.X在审
发明人：黄珊珊;黄辉廉;刘雪珍;刘建庆;杨文奕 -专利权人：中山德华芯片技术有限公司
申请日： 2021-01-27 - 公布日： 2021-06-11 - 主分类号： H01J1/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种光电阴极及其制备方法与应用，该光电阴极包括衬底层和在衬底层表面刻蚀形成的纳米柱阵列；所述纳米柱阵列表面有量子点和金属纳米颗粒。有效接收了来自不同入射方向的光，量子点增加了吸光面积，阵列化光陷阱增强了光吸收；在径向可提供给光电子一条直接的传输通道，光电子能轻易从阴极体内运行到表面；其具有较大的表面积，可有效提高光电子的表面逸出几率，展现出了较大的光电流以及较快的响应速度等特性；同时表面修饰金、银等金属颗粒，在量子点表面产生等离子体效应，促进了光的吸收；金属颗粒还会与量子点形成异质结，促进了光电子的传递，有效提高了光电阴极的光电性能。
一种光电阴极及其制备方法应用

[发明专利]一种柔性反极性红光发光二极管及其制作方法-CN202010933126.X在审
发明人：王兵;刘建庆;杜伟;何键华;黄辉廉 -专利权人：中山德华芯片技术有限公司
申请日： 2020-09-08 - 公布日： 2020-12-08 - 主分类号： H01L33/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种柔性反极性红光发光二极管及其制作方法，柔性反极性红光发光二极管包括按照从下往上的顺序依次层叠的N型接触层、N型限制层、多量子阱、P型限制层、P型窗口层；P型窗口层上表面依次设有透明导电层、金属反射层、金属阻挡层、金属支撑衬底；N型接触层下表面设有N电极和钝化层。本发明通过将原衬底转移至较薄金属衬底，可以保证衬底的全柔性红光，并与柔性红光封装基板良好贴合，同时引入了热解膜工艺，在衬底转移时，热解膜可将LED晶圆牢固的固定在平整的刚性衬底上，在原衬底剥离过程中，避免了翘曲引起的过烧蚀，可大幅提升衬底剥离的生产良率。
一种柔性极性红光发光二极管及其制作方法

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