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[发明专利]一种全自动硅片倒角加工设备及其加工工艺-CN201811292630.5有效
发明人：万喜增;严云;黄笑容;郑六奎 -专利权人：浙江中晶新材料研究有限公司
申请日： 2018-11-01 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： B24B9/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种全自动硅片倒角加工设备及其加工工艺，该全自动硅片倒角加工设备通过分片上料装置和传输自定心装置实现堆叠的硅片的单片分片和自定心，之后由抓取装置将自定心完成的硅片抓取并在硅片转移装置的移动下实现向倒角装置上进行放片，并在倒角装置上实现硅片的倒角后由自动取片装置进行取片后向硅片收集盒内进行硅片的收集，实现一个转移机构配合多台倒角设备的加工方式，节约了人力资源，解决倒角设备中未实现完全自动化、工作效率低下的技术问题；该全自动硅片倒角加工工艺通过利用硅片分片工序与硅片定位工序，实现硅片的快速单片分片和自定心，并利用硅片运输和硅片放片，实现硅片运输至多台倒角设备处进行倒角加工。
一种全自动硅片倒角加工设备及其工艺

[发明专利]硅片倒角砂轮修整装置-CN202210377924.8有效
发明人：文东辉;程美娇;吴晓峰;黄笑容;徐浩哲;汤炉滨;傅远韬 -专利权人：浙江工业大学;浙江中晶科技股份有限公司
申请日： 2022-04-12 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： B24B53/065 文献下载
摘要：本发明涉及一种硅片倒角砂轮修整装置，属于砂轮修整技术领域，它包括工作台和间隔设于工作台上的工件放置机构和修整机构，所述工件放置机构至少包括竖直向上延伸的放置转轴和用于驱动放置转轴自转的第一驱动件，所述放置转轴顶部形成有供砂轮套装于放置转轴上的固定部，所述放置转轴上设有位于固定部下方的对槽辅助部，所述修整机构至少包括能上下升降且能沿放置转轴的径向水平移动的移动部，所述移动部上固定有上下间隔设置的砂轮修整器和对槽检测部。本发明能够有效防止修整时砂轮修整器损坏砂轮槽槽壁上的磨粒结构，延长砂轮的使用寿命下降，同时能够保证修整的效果，从而保证砂轮后续倒角加工的质量。
硅片倒角砂轮修整装置

[发明专利]一种硅片研磨料浆循环装置-CN202210630676.3在审
发明人：文东辉;徐浩哲;黄笑容;吴晓峰;程美娇 -专利权人：浙江工业大学;浙江中晶科技股份有限公司
申请日： 2022-06-06 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： B01F27/90 文献下载
摘要：本发明属于硅片磨削加工技术领域，具体涉及一种硅片研磨料浆循环装置，包括：粗过滤器，用于对硅片研磨料浆进行粗过滤；料浆收集桶，用于收集经过粗过滤的硅片研磨料浆；皮带式过滤机构，用于对料浆收集桶内的硅片研磨料浆进行精过滤；料浆输出桶，用于收集经过精过滤的硅片研磨料浆；其中，料浆输出桶具有料浆输出口，用于输出硅片研磨料浆以对硅片进行研磨加工。本发明的硅片研磨料浆循环装置，将过滤环节分解为粗过滤与精过滤两道工序，其中，精过滤环节设计的皮带式过滤机构，使得过滤网通过皮带式的转动进行循环，不停更新进行过滤的滤孔，减少堵塞的问题发生。
一种硅片研磨循环装置

[实用新型]一种硅片倒角旋转工作台-CN202123384115.X有效
发明人：程美娇;吴晓峰;徐浩哲;黄笑容 -专利权人：浙江中晶新材料研究有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种硅片倒角旋转工作台，包括底座，旋转载台机构，所述旋转载台机构安装于所述底座上；驱动机构，所述驱动机构安装于所述底座上并驱动所述旋转载台机构进行转动；还包括：定位机构，所述定位机构安装于所述底座上并辅助控制所述旋转载台机构进行间歇转动旋转载台机构；本实用新型由驱动机构控制进行间歇运动，同时通过设置棘轮结构的定位机构，当驱动机构停转后通过棘爪与棘轮齿槽的卡合限位作用，辅助控制旋转载台机构迅速停转，从而能够快速精准的实现间歇运动，解决了现有技术中存在的载台定位不够精准、易震动、吸盘气孔分布不合理等技术问题。
一种硅片倒角旋转工作台

[实用新型]一种硅片倒角吸盘-CN202123162667.6有效
发明人：吴晓峰;程美娇;黄笑容;孙新利 -专利权人：浙江中晶新材料研究有限公司
申请日： 2021-12-16 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种硅片倒角吸盘，包括：吸盘本体以及吸附道孔，所述吸附道孔沿吸盘本体的吸附面均布设置，且设置为与硅片的形状相适配的中心对称结构，该吸附道孔包括沿吸盘本体径向分布的若干分气道和气孔，以及呈同心环状且与气孔连通的槽道，以沿硅片的径向和圆周方向均匀施加吸附力，减少倒角时破片、翘曲问题发生，解决了现有技术中存在的吸盘气孔分布不合理等技术问题。
一种硅片倒角吸盘

[实用新型]一种超薄硅片倒角用吸盘-CN202123162033.0有效
发明人：吴晓峰;程美娇;黄笑容;孙新利 -专利权人：浙江中晶新材料研究有限公司
申请日： 2021-12-16 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型提供了半导体技术领域中的一种超薄硅片倒角用吸盘，包括：基体；以及设于所述基体上方的上盖；所述上盖上均匀布置有微孔；所述基体与上盖相通，使得上盖上表面形成吸附区域。本实用新型通过在上盖上均匀布置的微孔，使基体产生的吸附力均匀的分散至上盖底部各位置处的微孔，而后吸力均匀的分散至上盖上表面，并形成吸附区域，对放置的硅片进行吸附，保证了硅片装放后硅片表面受力的均匀性，解决了因硅片吸力集中而导致的硅片破损、翘曲等，具有装载超薄硅片稳定性高、倒角精度高等优点。
一种超薄硅片倒角吸盘

[实用新型]一种高温碱腐蚀加热槽-CN202020269820.1有效
发明人：陈功;马俊;徐一俊;黄笑容 -专利权人：浙江中晶科技股份有限公司
申请日： 2020-03-07 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： C30B33/10 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种高温碱腐蚀加热槽，包括槽体，所述槽体的底部设置有加热管，所述加热管的上方铺设有钢丝网，所述钢丝网上可放置花篮，所述槽体内还设置有自动补液管道、液位传感器以及温度传感器，通过在槽内设置加热管、传感器及自动补液管道，在与外部控制器连通后，可实现碱腐蚀过程工艺参数的自动监测和调整，加热管根据温度传感器的温度反馈进行加热，自动补液管道根据液位传感器的液位反馈进行补液，钢丝网的设置在放置花篮的同时利于槽内热量的充分交换，解决了现有技术中存在的腐蚀槽功能单一、碱腐蚀工序较大依赖人工、生产效率低的技术问题。
一种高温腐蚀加热

[发明专利]一种重掺硼硅片双次碱腐蚀加工工艺-CN202010154125.5在审
发明人：陈功;马俊;徐一俊;黄笑容 -专利权人：浙江中晶科技股份有限公司
申请日： 2020-03-07 - 公布日： 2020-06-26 - 主分类号： H01L21/306 文献下载
摘要：本发明提供了一种重掺硼硅片双次碱腐蚀加工工艺，包括初级碱腐蚀、预超洗、HCL中和、快排水洗、二级碱腐蚀、预超洗、HCL中和、快排水洗及甩干，通过采用两次碱腐蚀工艺，即先采用中高温初级腐蚀，消除重掺硼硅片表面脏污色块和硅粉分布不均匀层(3‑5um)，再采用高温二级腐蚀迅速去除硅片表面损伤层(10‑15um)，使得形成的腐蚀片表面更加均匀，消除脏污类的影响更加明显，能够有效降低硅片表面加工过程的损伤层对硅片表面的腐蚀速度的影响，有效提高硅片表面腐蚀平整度，从而实现高良率重掺硼单晶硅化腐片生产。
一种重掺硼硅片双次碱腐蚀加工工艺

[实用新型]一种硅片连续式自定位传输机构-CN201821788005.5有效
发明人：万喜增;严云;黄笑容;郑六奎 -专利权人：浙江中晶新材料研究有限公司
申请日： 2018-11-01 - 公布日： 2019-07-12 - 主分类号： B65G13/11 文献下载
摘要：本实用新型涉及硅片加工技术领域，尤其涉及一种硅片连续式自定位传输机构，包括传片机构、第一定位机构及第二定位机构，通过在传片机构末端分别设置第一定位机构及第二定位机构，并预先设定第一定位机构及第二定位机构所调整的坐标位置，使通过传片机构传送至第一定位机构及第二定位机构处的硅片在传送过程中完成三点自定心调整，实现硅片自动化精准稳定定位，确保硅片的中心与后续转移吸附机构精确配合，节省后续倒角加工前的自调心步骤，实现批量硅片连续式自动定位，工艺连续性好，自动化程度高，大大节省人力，且可通过调整第一定位机构及第二定位机构的坐标参数，实现实现对不同尺寸的硅片进行定位，满足工业生产的多种需要。
定位机构硅片传片机构连续式传输机构自定位自动化本实用新型传送过程倒角加工硅片加工稳定定位吸附机构自动定位坐标参数坐标位置自调心自定心传送配合

[实用新型]一种多工位硅片转移系统-CN201821787995.0有效
发明人：万喜增;严云;黄笑容;郑六奎 -专利权人：浙江中晶新材料研究有限公司
申请日： 2018-11-01 - 公布日： 2019-07-12 - 主分类号： B65G47/91 文献下载
摘要：本实用新型涉及硅片加工技术领域，尤其涉及一种多工位硅片转移系统，包括传送机构、旋转机构、升降机构及吸附机构，由吸附机构将硅片吸取，由升降机构驱动吸附机构沿竖直方向运动，将硅片提起，由旋转机构驱动升降机构旋转，带动硅片做圆周转动，实现位置转移，由传送机构驱动升降机构沿水平方向做往复运动，从而将硅片转移到加工工位上进行后续加工，整个过程自动化操作、设备结构紧凑、传送过程流畅快捷，实现一个转移机构配合多台加工工位，将代加工硅片分别传送至多个加工工位上，工作效率高，解决了现有技术中存在的传送流程长、耗费时间、无法精准定位、单个转移装置无法对接多台加工工位、工作效率低下、设备结构复杂等问题。
硅片加工工位升降机构吸附机构传送机构设备结构旋转机构转移系统多工位驱动传送竖直方向运动本实用新型工作效率高过程自动化升降机构沿传送过程工作效率硅片加工后续加工精准定位位置转移圆周转动转移机构转移装置紧凑加工配合

[实用新型]一种硅片自动分片送料装置-CN201821788003.6有效
发明人：万喜增;严云;黄笑容;郑六奎 -专利权人：浙江中晶新材料研究有限公司
申请日： 2018-11-01 - 公布日： 2019-07-12 - 主分类号： B65G59/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及硅片加工技术领域，尤其涉及一种硅片自动分片送料装置，包括硅片升降机构、硅片承载机构、发片卷轮机构及硅片传送机构，硅片升降机构和硅片承载机构通过滑块连接，实现硅片承载机构可在竖直方向上做往复运动，硅片在硅片承载机构上升的过程中进行补料，同时在硅片承载机构正上方设置发片卷轮机构将单片硅片分离出来，并在发片卷轮机构的输出端设置硅片传送机构对分片后的硅片进行传送，实现硅片的自动分片及送料，全过程自动化操作，设备结构紧凑，操作过程连贯顺畅，稳定性好，解决了现有技术中的操作麻烦、稳定性差、耗时长、结构复杂等技术问题。
硅片承载硅片轮机构片卷硅片传送机构硅片升降机构送料装置本实用新型自动化操作操作过程单片硅片硅片加工设备结构输出端补料滑块竖直送料连贯紧凑耗时传送

[实用新型]一种硅片自分片传送定位系统-CN201821788014.4有效
发明人：万喜增;严云;黄笑容;郑六奎 -专利权人：浙江中晶新材料研究有限公司
申请日： 2018-11-01 - 公布日： 2019-07-12 - 主分类号： B65G59/06 文献下载
摘要：本实用新型提供一种硅片自分片传送定位系统，包括安装架、上料提升机构、分片机构、传输机构及自定心机构，上料提升机构设置于安装架上，上料提升机构用于带动内部堆叠放置有若干硅片的片盒向上移动；分片机构设置于所述上料提升机构的后侧；传输机构设置于所述分片机构的后方；自定心机构设置于传输机构一端的上方；通过设置上料提升机构并在硅片承载台上形成硅片堆叠区，若干硅片自然堆叠在硅片堆叠区内并自下而上进行移动至分片机构下方，分片机构与硅片进行接触实现硅片的自动分片，同时由传输机构逐一连续式传输至自定心处实现自定心，解决了现有技术中采用手工放片的方式，工作效率较低，在人力和物力上浪费大的技术问题。
硅片分片机构提升机构上料传输机构自定心机构定位系统安装架自定心堆叠传送本实用新型堆叠放置工作效率硅片承载向上移动堆叠区连续式片盒传输移动

[实用新型]一种全自动硅片倒角加工设备-CN201821787994.6有效
发明人：万喜增;严云;黄笑容;郑六奎 -专利权人：浙江中晶新材料研究有限公司
申请日： 2018-11-01 - 公布日： 2019-06-25 - 主分类号： B24B9/06 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种全自动硅片倒角加工设备，该全自动硅片倒角加工设备通过分片上料装置和传输自定心装置实现堆叠的硅片的单片分片和自定心，之后由抓取装置将自定心完成的硅片抓取并在硅片转移装置的移动下实现向倒角装置上进行放片，并在倒角装置上实现硅片的倒角后由自动取片装置进行取片后向硅片收集盒内进行硅片的收集，实现一个转移机构配合多台倒角设备的加工方式，节约了人力资源，解决倒角设备中未实现完全自动化、工作效率低下的技术问题；该全自动硅片倒角加工工艺通过利用硅片分片工序与硅片定位工序，实现硅片的快速单片分片和自定心，并利用硅片运输和硅片放片，实现硅片运输至多台倒角设备处进行倒角加工。
硅片倒角加工设备倒角设备自定心倒角加工倒角装置单片硅片转移装置自动取片装置本实用新型自定心装置抓取定位工序工作效率硅片分片人力资源上料装置抓取装置转移机构收集盒倒角堆叠后向取片运输自动化传输节约移动加工配合

[实用新型]一种半自动硅片倒角生产设备-CN201821788004.0有效
发明人：万喜增;严云;黄笑容;郑六奎 -专利权人：浙江中晶新材料研究有限公司
申请日： 2018-11-01 - 公布日： 2019-06-25 - 主分类号： B24B9/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种半自动硅片倒角生产设备，包括：机架，所述机架设置有第一安装区域，第二安装区域和第三安装区域；倒角组件，所述倒角组件安装设置在所述第一安装区域上；横向驱动组件，所述横向驱动组件安装设置在所述第三安装区域上；纵向驱动组件，所述纵向驱动组件滑动设置在所述横向驱动组件上；以及吸附组件，所述吸附组件连接设置在所述纵向驱动组件上；所述左右定位组件与所述位置感应组件之间形成归零区域；本实用新型解决了通过成型刀具的移动对硅片进行倒角，过于笨重，无法保证硅片的倒角精度的技术问题，其倒角精度高，自动化程度高，结构巧妙，操作方便，节省劳动力输出，提高了工作效率，减少了生产成本。
安装区域倒角硅片横向驱动组件纵向驱动组件本实用新型倒角组件生产设备吸附组件成型刀具定位组件工作效率滑动设置连接设置位置感应归零生产成本自动化输出移动保证

[发明专利]一种硅片自分片传送定位系统-CN201811292666.3在审
发明人：万喜增;严云;黄笑容;郑六奎 -专利权人：浙江中晶新材料研究有限公司
申请日： 2018-11-01 - 公布日： 2019-02-15 - 主分类号： B65G59/06 文献下载
摘要：本发明提供一种硅片自分片传送定位系统，包括安装架、上料提升机构、分片机构、传输机构及自定心机构，上料提升机构设置于安装架上，上料提升机构用于带动内部堆叠放置有若干硅片的片盒向上移动；分片机构分片机构设置于所述上料提升机构的后侧；传输机构设置于所述分片机构的后方；自定心机构设置于传输机构一端的上方；通过设置上料提升机构并在硅片承载台上形成硅片堆叠区，若干硅片自然堆叠在硅片堆叠区内并自下而上进行移动至分片机构下方，分片机构与硅片进行接触实现硅片的自动分片，同时由传输机构逐一连续式传输至自定心处实现自定心，解决了现有技术中采用手工放片的方式，工作效率较低，在人力和物力上浪费大的技术问题。
硅片分片机构提升机构上料传输机构自定心机构定位系统安装架自定心堆叠传送堆叠放置工作效率硅片承载向上移动堆叠区连续式片盒传输移动

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