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- [发明专利]观察半导体零件的装置-CN01116634.7有效
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陈廷国;俞笃豪;黄启业;黎明舜
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华邦电子股份有限公司
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2001-04-17
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2002-11-27
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H01L21/66
- 本发明涉及一种观察半导体零件的装置,它包括一观测装置及一观测平台。本发明的特点是所述观测装置具有一放大倍率,且所述放大倍率在四佰内,以及一可移动的观测平台,连接所述观测装置,用来放置一半导体零件,借以观察所述半导体零件。本发明除了克服现有技术中放大倍率过小、调整不易的缺点外,另将载物台设计成可移动的结构,并增加所述载物台的耐重度,以利调整欲观察对象的观测位置,且造价便宜。
- 观察半导体零件装置
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