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[发明专利]一种加速度计灵敏度的测试装置与方法-CN201910757111.X有效
发明人： 鲍海飞;刘民;宋朝辉;李昕欣 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2019-08-16 - 公布日： 2021-09-03 - 主分类号： G01P21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种加速度计灵敏度的测试装置，包括金属框架，该金属框架的顶端设有固定滑环，细线穿过所述固定滑环，且细线的一端通过一微环与一金属杆的顶端连接，所述金属杆的中部加工有一凹口，所述凹口上安装有待测加速度计和应变计，待测加速度计和应变计与放大器相连，放大器与计算机相连。本发明还提供一种测试方法。本发明的测试装置基于应变计和自由落杆冲击法，设备便于操作，使用方便，且速度可以较为准确得到，将显著提高加速度计灵敏度的测试精度；此外，由于本发明的冲击型加速度计灵敏度的测试装置的凹口加工于金属杆的中部而非两自由端处，因此更适合于平面粘贴型的加速度计的安装与测试，或扁平型加速度计的安装测试。
一种加速度计灵敏度测试装置方法

[发明专利]一种冲击型加速度计灵敏度的测试装置与测试方法-CN201910761795.0有效
发明人： 鲍海飞;刘民;宋朝辉;李昕欣 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2019-08-16 - 公布日： 2021-09-03 - 主分类号： G01P21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种冲击型加速度计灵敏度的测试装置，包括：一金属框架，其顶端设有一固定滑环，一细线穿过所述固定滑环，且细线的一端通过一微环与一金属杆的顶端连接，所述金属杆的顶端加工有第一凹口，第一凹口上安装有一待测加速度计，所述金属杆上还设有与该第一凹口间隔开的第二凹口，该第二凹口上安装有一应变计，所述待测加速度计和应变计与一放大器相连，该放大器通过信号线与一计算机相连。本发明还提供一种测试方法。本发明的冲击型加速度计灵敏度的测试装置结合应变计提取金属杆中的应变及该位置处质点的粒子速度或加速度，并以该粒子速度作为依据用以计算待测试加速度计的灵敏度，简洁、高效并具有较高的准确性。
一种冲击加速度计灵敏度测试装置方法

[实用新型]一种新型RH炉顶枪结构-CN202021285122.7有效
发明人：周勇;赵一凡;钱建中;陈德;李忠平;徐国庆;陈才昌;尤益蒂;焦燕虹;谢庆林;邹双全;陈春晖;鲍海飞;徐陈;许斌斌 -专利权人：江阴兴澄特种钢铁有限公司
申请日： 2020-07-03 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： C21C7/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种新型RH炉顶枪结构，属于RH精炼炉技术领域。包括顶枪枪体，所述顶枪枪体内设有主气管和燃烧氧气管，所述主气管设于顶枪枪体中心，所述燃烧氧气管设于主气管上方，所述主气管上开设惰性气体孔，所述惰性气体孔与惰性气体管连接，使得惰性气体经所述惰性气体管流至主气管内，所述顶枪枪体内还设有冷却进水管和冷却出水管。所述惰性气体管设有控制阀，用于控制惰性气体管的通断。所述惰性气体管为软管。本申请不仅减少了氧气消耗，节约生产成本，而且避免了因真空室内垃圾堆积过多而需要进行长时间的燃烧融化处理，进而避免了燃烧融化流渣过程钢渣喷溅产生的安全隐患，保证了生产节奏。
一种新型 rh 炉顶结构

[发明专利]自谱分时段傅里叶变换高量程加速度计共振频率提取方法-CN201711042279.X有效
发明人： 鲍海飞;刘民;宋朝辉;陈方;李昕欣 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2017-10-30 - 公布日： 2019-11-12 - 主分类号： G01P21/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种自谱分时段傅里叶变换高量程加速度计共振频率提取方法，包括以下步骤：获取待测加速度传感器及其系统在瞬时冲击过程中响应输出电压与时间的关系，即传感器受到瞬时冲击的时域谱；将冲击过程所记录的曲线按时间顺序划分出来，其中至少包含三个以上明显不同的响应特征部分；提取所述待检测加速度传感器在所述三个以上不同时间段的电压与时间关系数据曲线；依次对每一个时间段的数据分别进行傅里叶变换，提取每一个时间域上经过傅里叶变换后的明显典型信号峰；比较上述不同时段信号峰，确定加速度传感器的共振频率峰及其频率。本发明通过一次测试即可识别和确定噪声信号峰和加速度传感器的一阶固有频率峰。
时段傅里叶变换量程加速度计共振频率提取方法

[发明专利]噪声可识别的高量程加速度传感器共振频率的提取方法-CN201610833591.X有效
发明人： 鲍海飞;宋朝辉;李昕欣 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2016-09-20 - 公布日： 2019-09-13 - 主分类号： G01P21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种噪声可识别的高量程加速度传感器共振频率的提取方法，包括以下步骤：获取待测加速度传感器系统的电噪声频率谱；获取所述待检测加速度传感器系统的冲击频率谱；依据所述冲击频率谱及所述电噪声频率谱确定所述加速度传感器的共振频率。本发明采用两步测试法，分别得到电噪声频率谱和冲击频率谱，通过对电噪声频率谱的识别，可以较为准确地确定加速度传感器的共振频率；本发明在测试的过程中，采用金属杆自由落体与地面金属砧相互碰撞的方法获取较高的加速度，具有操作简单方便的特点；本发明即可以确定加速度传感器的共振频率，又可以确定加速度传感器系统的电噪声。
噪声识别量程加速度传感器共振频率提取方法

[发明专利]一种双面胶粘性力学行为的温度特性测试装置及测试方法-CN201810580967.X在审
发明人： 鲍海飞;宋朝辉;刘民;李昕欣 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2018-06-07 - 公布日： 2018-12-11 - 主分类号： G01N3/30 文献下载
摘要：本发明涉及一种双面胶粘性力学行为的温度特性测试装置，包括一金属杆，该金属杆由一支撑结构支撑并可轴向自由移动；该金属杆一端为冲击端，该冲击端与一冲击摆锤相对中；另一端则通过待测双面胶固定一目标加速度计并置于温控箱内；所述金属杆上还设有与目标加速度计间隔开的参考双面胶，并由该双面胶固定一参考加速度计；目标加速度计和参考加速度计分别通过导线连接到一信号放大器，信号放大器通过导线连接到一计算机。本发明还涉及一种新的测试方法。本发明具有使测试简捷和直观的特点。
加速度计金属杆双面胶温度特性测试装置双面胶粘性信号放大器导线连接力学行为测试参考轴向自由移动冲击摆锤支撑结构温控直观计算机支撑

[发明专利]一种冲击型加速度计热灵敏度漂移的测试装置及测试方法-CN201810096772.8在审
发明人： 鲍海飞;刘民;宋朝辉;李昕欣 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2018-01-31 - 公布日： 2018-08-21 - 主分类号： G01P21/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种冲击型加速度计灵敏度随温度变化的测试装置，包括温控箱、金属杆、气动系统、加速度计信号放大器、激光干涉测速装置、和用于数据采样及数据处理的计算机，金属杆由一支撑结构水平支撑并可轴向自由移动，其一端与气动系统相对中，另一端固定待测加速度计并置于温控箱内，所述加速度计的输出信号通过导线输入信号放大器；所述激光干涉测速装置发射激光到金属杆上并接受反射的激光，加速度计信号放大器和激光测速装置输出信号均通过数据导线分别与计算机相连接。通过绝对法得到待测加速度计灵敏度输出随温度的变化关系。本发明具有冲击加速度大、直接和较为准确的特点。
加速度计金属杆放大器加速度计灵敏度加速度计信号测试装置测速装置激光干涉气动系统输出信号冲击型激光漂移激光测速装置轴向自由移动信号放大器变化关系导线输入热灵敏度数据采样数据导线水平支撑支撑结构数据处理绝对法温控箱计算机温控反射测试输出发射

[发明专利]一种高冲击加速度计热灵敏度漂移的测试装置与方法-CN201711033844.6在审
发明人： 鲍海飞;宋朝辉;刘民;李昕欣 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2017-10-30 - 公布日： 2018-05-15 - 主分类号： G01P21/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种高冲击加速度计热灵敏度漂移的测试装置，包括温控箱、金属杆、第一信号放大电路、第二信号放大电路和计算机，所述金属杆一端用于固定待测加速度计，另一端用于固定参考加速度计，所述用于固定待测加速度计的一端置于温控箱内，用于固定参考加速度计的一端置于温控箱外；所述第一信号放大电路用于放大所述待测加速度计的输出信号，所述第二信号放大电路用于放大参考加速度计的输出信号；所述计算机分别与第一信号放大电路和第二信号放大电路输出端相连，通过比较法得到待测加速度计灵敏度输出随温度的变化关系。本发明还涉及测试方法。本发明具有冲击加速度大、直接、快速、安全可靠和较为准确的特点。
一种冲击加速度计灵敏度漂移测试装置方法

[发明专利]在（100）单硅片上制作宽频带高量程加速度传感器的方法-CN201410562370.4有效
发明人：张鲲;李昕欣;鲍海飞;宋朝辉 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2014-10-21 - 公布日： 2018-03-23 - 主分类号： G01P15/12 文献下载
摘要：本发明提供一种在（100）单硅片上制作宽频带高量程加速度传感器的方法，所制作的宽频带高量程加速度传感器由四个纵截面为五边形规则的作为压阻敏感电阻的微梁以及一块弹性板构成，工作时微梁仅沿硅<110>晶向产生直拉或直压的应变，使得传感器具有高的灵敏度和较高的一阶振动频率，拓宽了工作频率带宽，保证传感器在高冲击响应过程中能够测量到较宽范围的频率信号，确保测量信号准确不失真；微梁由各向异性腐蚀溶液KOH溶液腐蚀，由硅（111）晶面作为腐蚀终止面，自动终止所述微梁的腐蚀，整个过程容易控制，可以精确控制微梁的尺寸，成品率大大提高，适于批量生产；传感器的体积较小，抗冲击能力比较大，有益于生产成本的降低。
100 硅片制作宽频量程加速度传感器方法

[发明专利]冲击加速度传感器交叉轴响应的空间分波测试方法-CN201410723691.8有效
发明人： 鲍海飞;宋朝辉;李昕欣;张鲲 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2014-12-03 - 公布日： 2017-12-05 - 主分类号： G01P21/00 文献下载
摘要：本发明提出一种冲击加速度传感器交叉轴响应的空间分波测试方法，采用具有一定长径比金属杆，有利于实现扭转波和纵波的自动分离，从而使扭转波不对主波产生影响，排除了非本征的干扰因素，获得器件固有的交叉轴响应；根据纵波和扭转波具有不同的波速而将两种波在空间上分离开，给出扭转波、纵波和主波在空间上分离的时间判据，排除扭转波等对加速度传感器产生的非本征影响；在测试的过程中选择不同的机械滤波材料，如不同型号的双面胶，对产生的波起到滤波和整形的作用，有利于抑制高频波，消除干扰，有利于对扭转波的识别和分离，又可以获得加速度传感器不同频率下的交叉轴响应。
冲击加速度传感器交叉响应空间测试方法

[发明专利]抑制横向干扰的三维集成微机械加速度传感器及制作方法-CN201410548950.8有效
发明人：宋朝辉;张鲲;李昕欣;鲍海飞 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2014-10-16 - 公布日： 2015-01-14 - 主分类号： G01P15/12 文献下载
摘要：本发明提供一种抑制横向干扰的三维集成微机械加速度传感器由三个相互独立的加速度传感单元集成为一体，三个方向的信号不会相互耦合干扰，每个方向的加速度信号都能准确地输出提取；Z轴方向的加速度传感单元由相互平行设置的单端固支的固支板和位于固支板固支端的相互垂直的敏感电阻构成，有效地抑制了X轴、Y轴方向的加速度引起的横向干扰；并且通过对敏感结构的关键尺寸进行适当的设计修改，可以获得1万g~20万g的不同量程的具有抑制横向干扰的三维集成微机械加速度传感器；三个方向的加速度传感单元在结构上存在相似之处，在工艺上均为制作微机械加工的常规工艺，在工艺上能够相互兼容，易于集成，制作成本较低，容易实现大规模生产。
抑制横向干扰三维集成微机加速度传感器制作方法

[发明专利]高量程加速度传感器横向响应波的自跟踪识别方法及系统-CN200910200312.6有效
发明人： 鲍海飞;李昕欣;宋朝辉 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2009-12-11 - 公布日： 2010-06-23 - 主分类号： G01P15/08 文献下载
摘要：本发明提供一种高量程加速度传感器的横向响应波的跟踪识别方法和使用的系统。其特征在于利用摩擦和碰撞等过程产生的电信号作为跟踪触发信号，同时利用声波在一定结构材料中传播时间是一固定常数进行时域上的尺度分析，可以对加速度传感器横向响应波信号进行跟踪和识别。本发明提供的自跟踪的方法无需外加触发装置或者传感器、应变计等，而只有一个加速度传感器。
量程加速度传感器横向响应跟踪识别方法系统

[发明专利]压阻加速度传感器的模态共振频率的半桥测试方法-CN200910049634.5有效
发明人： 鲍海飞;李昕欣;宋朝辉;刘民 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2009-04-21 - 公布日： 2009-09-23 - 主分类号： G01P21/00 文献下载
摘要：本发明涉及提供一种压阻加速度传感器的模态共振频率的测试方法。其特征在于在保持压阻加速度传感器原有全桥电路连接结构的基础上，利用金属碰撞冲击产生丰富的频谱作为激励源，通过适当的外接电路，采用半桥输出的形式，以获得加速度传感器模态的共振频率信息，利用获得的原始数据进行频谱分析，获得微结构的模态共振频率。加速度传感器模态的共振频率包括器件在敏感方向和非敏感方向的同一结构的不同共振频率。通过确定加速度传感器不同模态的一阶共振频率，还可以获取微结构加工制造的结构参数，验证结构尺寸设计的正确性，可用来分析器件工作状态。测试方法适合于具有全桥结构的高量程压阻、电容等类型的加速度传感器、压力传感器等。
加速度传感器共振频率测试方法

[发明专利]中高量程加速度传感器敏感方向灵敏度的测试方法-CN200910049633.0无效
发明人： 鲍海飞;李昕欣;宋朝辉;陆德仁 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2009-04-21 - 公布日： 2009-09-23 - 主分类号： G01P21/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种中高量程加速度传感器动态灵敏度的肩并肩式测试方法，其特征在于将已知灵敏度的高量程加速度传感器作为参考加速度传感器，同被测试的灵敏度未知的加速度传感器安装在同一金属杆两侧，金属杆自由下落碰撞金属砧产生高幅值的脉冲波，金属砧表面放置机械滤波用的缓冲滤波材料对两个传感器输出波形整形，利用得到的两个半正弦波形输出的电压峰值来比较和计算被测试加速度传感器的敏感方向的灵敏度；本发明不需要知道绝对的冲击加速度数值，且所述的两个加速度传感的安装方式相同，均在敏感方向安装。
中高量程加速度传感器敏感方向灵敏度测试方法

[发明专利]一种高量程压阻加速度传感器共振频率的测试方法-CN200810200112.6有效
发明人： 鲍海飞;宋朝辉;李昕欣;姜伟 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2008-09-19 - 公布日： 2009-01-28 - 主分类号： G01H13/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种高量程压阻加速度器共振频率的测试方法，特征在于利用金属端面之间碰撞产生较高的加速度和频率成份分布丰富的波作为激励源，当激励源中某些频率的波与高量程压阻加速度传感器的固有模态的频率等于或者接近时，器件高量程压阻加速度传感器发生共振，利用共振激发的方式以获得高量程压阻加速度传感器的共振频率：具体是高量程加速度传感器器件的管脚输出与放大器连接，从放大器输出的信号通过电缆线连接到计算机的输入端，记录金属端面之间碰撞过程产生应变波，从对应变波的时域或频域的分析测出共振频率是一种简单、经济、快速的测试方法。
一种量程加速度传感器共振频率测试方法

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