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[发明专利]微机电系统开关及其制造方法-CN202280000242.3在审
发明人：李月;冯昱霖;肖月磊;曹雪;常文博;韩基挏;吴艺凡;周毅;王立会;魏秋旭;安齐昌;曲峰 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方光电科技有限公司
申请日： 2022-02-22 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：本发明提供一种微机电系统开关及其制造方法，该微机电系统开关包括绝缘基底、驱动电极、第一绝缘层、第一信号传输线和第二信号传输线，其中，绝缘基底的第一表面形成有第一区域，且第一区域相对于第一表面更靠近绝缘基底背离第一表面的表面，驱动电极设置于第一区域；第一绝缘层完全覆盖驱动电极；第一信号传输线设置于第一绝缘层背离绝缘基底一侧的表面；第二信号传输线包括连为一体的信号传输段和悬臂段，信号传输段设置于绝缘基底的第一表面，悬臂段悬置于第一信号传输线背离绝缘基底一侧。本发明提供的微机电系统开关及其制造方法，不仅可以简化开关结构、降低工艺复杂程度，而且可以减少悬臂变形和断裂的几率，提高悬臂的可靠性。
微机系统开关及其制造方法

[发明专利]声波谐振滤波器及其制备方法、电子设备-CN202210267766.0在审
发明人：王立会;李月;魏秋旭;肖月磊;冯昱霖;曹雪;韩基挏;常文博;吴艺凡;周毅;安齐昌;曲峰 -专利权人：北京京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2022-03-17 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种声波谐振滤波器及其制备方法、电子设备。声波谐振滤波器包括基底、第二电极、压电层和第一电极；第二电极与基底键合相接，压电层位于第二电极的背向基底的一侧，第一电极位于压电层的背向第二电极的一侧；基底上朝向第二电极和压电层的一侧形成有凹区；压电层分别与第一电极和第二电极电连接。本发明的声波谐振滤波器中，压电层上没有用于进行牺牲层工艺的开孔，压电层的与凹区对应的区域为无孔结构形状，可以使声波谐振滤波器制备过程中的良品率较高，保证声波谐振滤波器的性能；压电层的形状结构完整，具有较高的结构可靠性；压电层上不设置开孔，有助于维持器件的尺寸较小。
声波谐振滤波器及其制备方法电子设备

[发明专利]一种压力传感器及其制备方法-CN202210304418.6在审
发明人：王立会;李月;魏秋旭;肖月磊;冯昱霖;曹雪;韩基挏;常文博;吴艺凡;周毅;安齐昌;曲峰 -专利权人：北京京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2022-03-16 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G01L1/22 文献下载
摘要：本申请属于压力传感器技术领域，尤其涉及一种压力传感器及其制备方法，该压力传感器具体包括：基底；感压芯片，与所述基底相连接；密封罩，内部形成有腔体，并且与所述感压芯片相连接；引线通孔，贯穿于所述密封罩内，并且其内壁面设置有导电层，所述引线通孔位于所述密封罩开口侧的端部与所述感压芯片相连接；以及引线，一端与所述导电层相连接，另一端延伸至所述密封罩外；综上所述，本申请一方面通过密封罩的设计对感压芯片进行保护，从而有效避免外界环境对感压芯片的影响，提升压力传感器的环境适用性，另一方面采用本申请的设计可以对压力传感器实现晶圆级封装，从而提升加工自动化，提升加工效率。
一种压力传感器及其制备方法

[发明专利]一种检测系统-CN202180002766.1在审
发明人：古乐;姚文亮;赵莹莹;樊博麟;魏秋旭;高涌佳;杨莉 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方传感技术有限公司
申请日： 2021-09-29 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： G01N27/00 文献下载
摘要：一种检测系统，应用于微流控芯片检测，包括：检测芯片(1)，检测芯片(1)包括衬底基板(11)、电极层(12)和用于容纳具有磁珠(A)的样本溶液(B)的微流控通道层(13)；衬底基板(11)具有一承载面，电极层(12)形成于承载面；微流控通道层(13)位于电极层(12)背离衬底基板(11)的一侧；电极层(12)包括多个电极(121)，多个电极(121)具有至少一个强磁电极(1211)和多个驱动电极(1212)；磁场装置(2)，磁场装置(2)位于衬底基板(11)背离电极层(12)一侧，且具有与强磁电极(1211)一一对应的强磁区；驱动机构(3)，驱动机构(3)与磁场装置(2)连接，且驱动机构(3)驱动磁场装置(2)沿垂直于承载面的方向靠近或远离检测芯片(1)动作；用于在检测芯片(1)中实现样本溶液(B)的自动化分离纯化和富集。
一种检测系统

[发明专利]数字微流控芯片及其驱动方法、数字微流控装置-CN202180003119.2在审
发明人：赵莹莹;古乐;樊博麟;姚文亮;魏秋旭;高涌佳;杨莉 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方传感技术有限公司
申请日： 2021-10-27 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本公开实施例提供了一种数字微流控芯片及其驱动方法、数字微流控装置。数字微流控芯片包括相对设置的第一基板(1)和第二基板(2)，第一基板(1)上设置有用于驱动液滴移动的多个驱动区域，至少一个驱动区域包括驱动晶体管(50)、驱动电极(60)和存储电容，驱动电极(60)分别与驱动晶体管(50)和存储电容连接，存储电容被配置为在驱动晶体管(50)导通时充电，在驱动晶体管(50)断开时保持驱动电极(60)上的电压信号。
数字微流控芯片及其驱动方法装置

[发明专利]用于飞行时间质谱检测的芯片及其制备方法-CN202111561581.2在审
发明人：高涌佳;魏秋旭;姚文亮;杨莉;赵莹莹;古乐;樊博麟 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方传感技术有限公司
申请日： 2021-12-20 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01N27/626 文献下载
摘要：本发明公开一种用于飞行时间质谱检测的芯片及其制备方法，用于飞行时间质谱检测的芯片包括：基底层，基底层的一侧设有导电层，基底层背离导电层的一侧设有疏水层，疏水层具有阵列排布的多个通孔；基底层包括玻璃基底，玻璃基底背向导电层的一面经羟基化处理形成亲水层；或者，基底层包括层叠设置的玻璃基底和亲水层，亲水层位于导电层和玻璃基底之间。本发明中芯片采用玻璃基底，成本低；其中导电层确保该芯片可用于质谱检测；在玻璃基底背向导电层的一侧依次设有亲水层和疏水层，设置在疏水层上的通孔露出亲水层，可以稳定承载基质溶液和待测样品，该芯片结构简单、成本低且为一次性使用，能够有效避免样品污染影响质谱结果的问题。
用于飞行时间检测芯片及其制备方法

[发明专利]微流控芯片和微流控系统-CN202080002111.X有效
发明人： 魏秋旭;赵莹莹;姚文亮;樊博麟;古乐;高涌佳 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2020-09-25 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：一种微流控芯片，包括：第一基板(2)，第一基板(2)包括：第一基底(3)、位于第一基底(3)上的第一电极层，第一电极层包括：沿第一方向间隔排布的多个第一电极(4)，第一电极(4)平行于第一基底(3)的截面形状为中心对称图形，截面形状包括：在第一方向上相对设置第一边界(4a)和第二边界(4b)；第一边界(4a)的形状为呈中心对称的曲线，第一边界(4a)的两个端点在第二方向上的距离小于第一边界(4a)的长度，第二方向与第一方向垂直；第二边界(4b)与第一边界(4a)的形状和长度均相同，且两者在第一方向上平行设置。还提供了一种包括该微流控芯片的微流控系统。
微流控芯片系统

[发明专利]微流控基板、微流控芯片及微流控系统-CN202180002431.X在审
发明人：樊博麟;姚文亮;赵莹莹;古乐;高涌佳;魏秋旭;杨莉 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方传感技术有限公司
申请日： 2021-09-02 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：一种微流控基板、微流控芯片及微流控系统，其中，微流控基板包括第一直行区、第二直行区和转向区；转向区大致呈扇环形，转向区包括相对的第一弧边和第二弧边。微流控基板包括：位于第一直行区的第一直行驱动电极、位于第二直行区的第二直行驱动电极、位于转向区的多个转向驱动电极；每个转向驱动电极的边界包括与第一弧边重合的至少一个第一参考点，和与第二弧边重合的至少一个第二参考点；其中，第一弧边的半径大于或等于参考电极的第一尺寸的倍，第二弧边的半径大于或等于参考电极的第一尺寸的倍。
微流控基板微流控芯片系统

[发明专利]一种后盖、电子装置和后盖的制作方法-CN202211481706.5在审
发明人：常文博;李月;魏秋旭;王立会;任艳飞;郭伟龙;张韬楠;孙杰;何娜娜;丁丁;曲峰 -专利权人：北京京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2022-11-24 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H05K5/02 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种后盖、电子装置和后盖的制作方法，后盖具有出光区和非出光区，后盖具有出光侧，后盖包括导光板、发光单元和液晶功能层；导光板用于在发光单元点亮时，将发光单元发射的光线传导至液晶功能层；液晶功能层包括第一基板和嵌入第一基板的图案化结构，图案化结构包括聚合物分散液晶，聚合物分散液晶包括多个第一液晶；第一基板为透光材质；液晶功能层在发光单元未点亮时处于透明状态，在发光单元点亮时将导光板传导过来的光线散射至外部形成发光图案。
一种电子装置制作方法

[发明专利]压阻芯片批量测试装置及测试方法-CN202211309855.3在审
发明人：王立会;李月;魏秋旭;任艳飞;张韬楠;郭伟龙;常文博;丁丁 -专利权人：北京京东方传感技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2022-10-25 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本发明公开一种压阻芯片批量测试装置及测试方法，测试装置包括真空组件、压力组件、检测组件、密封腔室以及位于密封腔室内的检测台；检测台，用于放置压阻晶圆，压阻晶圆包括多个压阻芯片；真空组件，用于给检测台提供负压以使压阻晶圆吸附在检测台上，以及给密封腔室的内部提供负压或常压；压力组件，用于给密封腔室的内部提供常压或正压；检测组件，用于在不同压力下检测压阻晶圆中各个压阻芯片的中心变形量。本发明在不同压力下测出压阻芯片的中心变形量作为最大变形量，从而计算出压阻芯片的非线性、迟滞性、重复性，在晶圆层面批量完成对压阻芯片的精度性能测试及筛选，有效降低压力传感器的生产成本，提高压力传感器的良品率。
芯片批量测试装置方法

[发明专利]数字微流控装置及其驱动方法-CN202110855985.6在审
发明人： 魏秋旭;姚文亮;高涌佳;樊博麟;赵莹莹;古乐;杨莉 -专利权人：北京京东方传感技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2021-07-28 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本公开示例性实施例提供了一种数字微流控装置及其驱动方法。所述数字微流控装置包括数字微流控芯片、热控制装置和弹性支撑装置；所述数字微流控芯片设置有液滴通道，所述液滴通道被配置为供液滴在其间移动；所述热控制装置设置在所述数字微流控芯片的一侧，被配置为在所述液滴通道内生成至少两个独立且互不干涉的热区，并控制所述热区的温度；所述弹性支撑装置设置在所述热控制装置远离所述数字微流控芯片的一侧，所述弹性支撑装置被配置为驱动所述热控制装置贴设在所述数字微流控芯片的表面上。本公开通过在数字微流控芯片上形成多个独立且互不干涉的热区，液滴在多个热区间循环往复移动即可实现液滴的快速变温。
数字微流控装置及其驱动方法

[发明专利]微流控芯片-CN202110626780.0有效
发明人：姚文亮;赵莹莹;古乐;魏秋旭;高涌佳;樊博麟;杨莉 -专利权人：北京京东方传感技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2021-06-04 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本发明提供一种微流控芯片，微流控芯片包括盖板、控制层和基板，所述盖板、控制层和基板依次叠放设置；盖板包括进样口、试剂进口和微液滴取出口；控制层包括储液槽，每条储液槽包括第一区域和第二区域，第一区域和第二区域相通，样品微液滴通过所述进样口流入第一区域，试剂微液滴通过所述试剂进口流入第二区域，第二区域与微液滴取出口相通；基板包括微液滴驱动模块，微液滴驱动模块包括驱动电极，微液滴驱动模块通过改变驱动电极与微液滴之间的电势，以驱动微液滴在储液槽中流动。基于电介润湿原理实现对微液滴操控，在一张芯片上实现液体的移动、混合和分离等操作，速度快，人工操作少，成本低。
微流控芯片

[发明专利]压力传感器及其制造方法-CN202211134161.0在审
发明人：王立会;李月;魏秋旭;任艳飞;张韬楠;郭伟龙;常文博;丁丁 -专利权人：北京京东方传感技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2022-09-16 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：本申请公开了一种压力传感器及其制造方法，其中，压力传感器包括衬底，所述衬底包括第一电容区域，所述衬底内于所述第一电容区域的预定深度范围，形成有第一掺杂区，所述第一掺杂区作为第一电容的第一极板，衬底内设置有第一空腔；第二极板，设置于所述衬底的其中一侧，在所述衬底的正投影中，所述第一极板与所述第二极板和所述第一空腔均至少部分重叠，且所述第一空腔位于所述第一极板与所述第二极板之间。上述方案，通过对衬底进行掺杂，以在衬底内形成第一极板，且在衬底内形成第一空腔，相较于现有技术，不需要沉积用于形成第一极板的导电膜层以及用于形成第一空腔的牺牲层，因此，简化了制备工艺步骤，降低了制造成本。
压力传感器及其制造方法

[发明专利]一种微流控芯片-CN202110081632.5有效
发明人： 魏秋旭;姚文亮;赵莹莹;古乐;樊博麟;高涌佳 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方传感技术有限公司
申请日： 2021-01-21 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本发明提供一种微流控芯片，属于芯片技术领域。本发明提供的一种微流控芯片包括多个微流控单元，多个微流控单元能够拼接形成微流控芯片；每个微流控单元包括工作区，和位于工作区至少一侧的过渡区，任意两个相邻的微流控单元的过渡区彼此紧邻且相对设置；每个微流控单元包括：第一基板，和设置在第一基板上的第一电极层；第一电极层对应工作区的位置包括多个第一子电极；第一电极层对应过渡区的位置包括至少一个第二子电极。
一种微流控芯片

[发明专利]基板、微流控装置、驱动方法和制造方法-CN202080003662.8在审
发明人：樊博麟;古乐;赵莹莹;姚文亮;高涌佳;魏秋旭 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方传感技术有限公司
申请日： 2020-12-25 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：用于微流控装置的基板、微流控装置、微流控装置的驱动方法、以及制作用于微流控装置的基板的方法。第一基板（102）包括：位于第一衬底（180）上的第一电极层（183），第一电极层（183）包括多个驱动电极（170）；其中多个驱动电极（170）在第一基板（102）中限定至少一个流道（128、121、132、142、154、162）以及至少一个功能区（112、120、130、140、150、160），至少一个功能区（112、120、130、140、150、160）包括试剂区（112），试剂区（112）包括试剂区储液部（204）和液滴形状变化部（205），液滴形状变化部（205）与试剂区流道（206）相邻，试剂区储液部（204）位于液滴形状变化部（205）远离试剂区流道（206）的一侧，并且其中试剂区储液部（204）、液滴形状变化部（205）以及试剂区流道（206）配置成从试剂区储液部（204）生成一滴覆盖液滴形状变化部（205）的中间液滴，并且配置成使中间液滴形状发生变化以在试剂区流道（206）中生成试剂液滴。
基板微流控装置驱动方法制造

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