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[发明专利]一种晶圆键合装置及晶圆键合系统-CN202311213895.2在审
发明人：冯林;高涌佳;熊弘毅;张鹏;赵嘉伟 -专利权人：微纳动力（北京）科技有限责任公司
申请日： 2023-09-20 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明属于晶圆键合领域，具体涉及到一种晶圆键合装置及晶圆键合系统，包括压合机构、连接机构、上基台、下基台和支撑机构，压合机构固定在支撑机构内壁的上侧，压合机构的下端通过连接机构铰接上基台，下基台设置在支撑机构内壁的下侧；所述的支撑机构包括基台支撑件，支撑机构底座、支撑机构侧柱和支撑机构顶盖，基台支撑件，基台支撑件固定在支撑机构底座上，支撑机构底座通过多个支撑机构侧柱固定支撑机构顶盖；压合机构固定在支撑机构顶盖上；本发明的有益效果为可以保证芯片在键合时受到的压力足够均匀，提高了键合良品率，大大降低了键合装置的复杂度与成本。
一种晶圆键合装置系统

[发明专利]一种阳极键合的光电镊芯片-CN202311195462.9在审
发明人：冯林;熊弘毅;赵嘉伟;张鹏;王海喜;高涌佳 -专利权人：微纳动力（北京）科技有限责任公司
申请日： 2023-09-18 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本发明涉及生物芯片领域，更具体的说是一种阳极键合的光电镊芯片，包括流道顶部ITO层、玻璃透光层、流道层、光电薄膜层和下极板层；玻璃层、流道层、光电薄膜层和下极板层组成包封液体的密封立方体结构；优选的，所述流道层设置在玻璃透光层内，流道层是通过在玻璃透光层上刻蚀加工制成；优选的，所述光电薄膜层的材质是光电薄膜材料；优选的，所述光电薄膜层可以是一种NPN型光电晶体管；本发明的有益效果为通过刻蚀技术制造的光电镊流道图案，并且实现了微流道与上极板的集成，使键合步骤仅需要一步，减少了传统光电镊芯片需要两步键合的缺点。
一种阳极光电芯片

[发明专利]一种检测系统-CN202180002766.1在审
发明人：古乐;姚文亮;赵莹莹;樊博麟;魏秋旭;高涌佳;杨莉 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方传感技术有限公司
申请日： 2021-09-29 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： G01N27/00 文献下载
摘要：一种检测系统，应用于微流控芯片检测，包括：检测芯片(1)，检测芯片(1)包括衬底基板(11)、电极层(12)和用于容纳具有磁珠(A)的样本溶液(B)的微流控通道层(13)；衬底基板(11)具有一承载面，电极层(12)形成于承载面；微流控通道层(13)位于电极层(12)背离衬底基板(11)的一侧；电极层(12)包括多个电极(121)，多个电极(121)具有至少一个强磁电极(1211)和多个驱动电极(1212)；磁场装置(2)，磁场装置(2)位于衬底基板(11)背离电极层(12)一侧，且具有与强磁电极(1211)一一对应的强磁区；驱动机构(3)，驱动机构(3)与磁场装置(2)连接，且驱动机构(3)驱动磁场装置(2)沿垂直于承载面的方向靠近或远离检测芯片(1)动作；用于在检测芯片(1)中实现样本溶液(B)的自动化分离纯化和富集。
一种检测系统

[发明专利]数字微流控芯片及其驱动方法、数字微流控装置-CN202180003119.2在审
发明人：赵莹莹;古乐;樊博麟;姚文亮;魏秋旭;高涌佳;杨莉 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方传感技术有限公司
申请日： 2021-10-27 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本公开实施例提供了一种数字微流控芯片及其驱动方法、数字微流控装置。数字微流控芯片包括相对设置的第一基板(1)和第二基板(2)，第一基板(1)上设置有用于驱动液滴移动的多个驱动区域，至少一个驱动区域包括驱动晶体管(50)、驱动电极(60)和存储电容，驱动电极(60)分别与驱动晶体管(50)和存储电容连接，存储电容被配置为在驱动晶体管(50)导通时充电，在驱动晶体管(50)断开时保持驱动电极(60)上的电压信号。
数字微流控芯片及其驱动方法装置

[发明专利]用于飞行时间质谱检测的芯片及其制备方法-CN202111561581.2在审
发明人： 高涌佳;魏秋旭;姚文亮;杨莉;赵莹莹;古乐;樊博麟 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方传感技术有限公司
申请日： 2021-12-20 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01N27/626 文献下载
摘要：本发明公开一种用于飞行时间质谱检测的芯片及其制备方法，用于飞行时间质谱检测的芯片包括：基底层，基底层的一侧设有导电层，基底层背离导电层的一侧设有疏水层，疏水层具有阵列排布的多个通孔；基底层包括玻璃基底，玻璃基底背向导电层的一面经羟基化处理形成亲水层；或者，基底层包括层叠设置的玻璃基底和亲水层，亲水层位于导电层和玻璃基底之间。本发明中芯片采用玻璃基底，成本低；其中导电层确保该芯片可用于质谱检测；在玻璃基底背向导电层的一侧依次设有亲水层和疏水层，设置在疏水层上的通孔露出亲水层，可以稳定承载基质溶液和待测样品，该芯片结构简单、成本低且为一次性使用，能够有效避免样品污染影响质谱结果的问题。
用于飞行时间检测芯片及其制备方法

[发明专利]微流控芯片和微流控系统-CN202080002111.X有效
发明人：魏秋旭;赵莹莹;姚文亮;樊博麟;古乐;高涌佳 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2020-09-25 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：一种微流控芯片，包括：第一基板(2)，第一基板(2)包括：第一基底(3)、位于第一基底(3)上的第一电极层，第一电极层包括：沿第一方向间隔排布的多个第一电极(4)，第一电极(4)平行于第一基底(3)的截面形状为中心对称图形，截面形状包括：在第一方向上相对设置第一边界(4a)和第二边界(4b)；第一边界(4a)的形状为呈中心对称的曲线，第一边界(4a)的两个端点在第二方向上的距离小于第一边界(4a)的长度，第二方向与第一方向垂直；第二边界(4b)与第一边界(4a)的形状和长度均相同，且两者在第一方向上平行设置。还提供了一种包括该微流控芯片的微流控系统。
微流控芯片系统

[发明专利]微流控基板、微流控芯片及微流控系统-CN202180002431.X在审
发明人：樊博麟;姚文亮;赵莹莹;古乐;高涌佳;魏秋旭;杨莉 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方传感技术有限公司
申请日： 2021-09-02 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：一种微流控基板、微流控芯片及微流控系统，其中，微流控基板包括第一直行区、第二直行区和转向区；转向区大致呈扇环形，转向区包括相对的第一弧边和第二弧边。微流控基板包括：位于第一直行区的第一直行驱动电极、位于第二直行区的第二直行驱动电极、位于转向区的多个转向驱动电极；每个转向驱动电极的边界包括与第一弧边重合的至少一个第一参考点，和与第二弧边重合的至少一个第二参考点；其中，第一弧边的半径大于或等于参考电极的第一尺寸的倍，第二弧边的半径大于或等于参考电极的第一尺寸的倍。
微流控基板微流控芯片系统

[发明专利]一种微流控芯片和微流控系统-CN202080000185.X有效
发明人：樊博麟;赵莹莹;姚文亮;古乐;廖辉;赵楠;高涌佳;李月 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方传感技术有限公司
申请日： 2020-02-28 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：一种微流控芯片和微流控系统。微流控芯片包括：相对设置的第一基板(1)和第二基板(2)，以及位于第一基板(1)和第二基板(2)之间的液滴容纳空间(3)。其中，液滴容纳空间(3)包括用于生成子液滴的工作区(S1)。第一基板(1)包括第一衬底(11)；多个驱动单元(12)，间隔设置在第一衬底(11)靠近第二基板(2)一侧，且设置在第一衬底(11)对应工作区(S1)的区域。第二基板(2)包括第二衬底(21)，能够随着温度的升高发生形变；多个温控单元(22)，其与驱动单元(12)一一对应，温控单元(22)用于使第二衬底(21)对应温度单元(22)所在处温度升高而产生形变，从而第二衬底(21)形变处挤压液滴容纳空间(3)中的液滴使其分裂为至少两个子液滴。微流控系统包含微流控芯片。
一种微流控芯片系统

[发明专利]数字微流控装置及其驱动方法-CN202110855985.6在审
发明人：魏秋旭;姚文亮;高涌佳;樊博麟;赵莹莹;古乐;杨莉 -专利权人：北京京东方传感技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2021-07-28 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本公开示例性实施例提供了一种数字微流控装置及其驱动方法。所述数字微流控装置包括数字微流控芯片、热控制装置和弹性支撑装置；所述数字微流控芯片设置有液滴通道，所述液滴通道被配置为供液滴在其间移动；所述热控制装置设置在所述数字微流控芯片的一侧，被配置为在所述液滴通道内生成至少两个独立且互不干涉的热区，并控制所述热区的温度；所述弹性支撑装置设置在所述热控制装置远离所述数字微流控芯片的一侧，所述弹性支撑装置被配置为驱动所述热控制装置贴设在所述数字微流控芯片的表面上。本公开通过在数字微流控芯片上形成多个独立且互不干涉的热区，液滴在多个热区间循环往复移动即可实现液滴的快速变温。
数字微流控装置及其驱动方法

[发明专利]微流控芯片-CN202110626780.0有效
发明人：姚文亮;赵莹莹;古乐;魏秋旭;高涌佳;樊博麟;杨莉 -专利权人：北京京东方传感技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2021-06-04 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本发明提供一种微流控芯片，微流控芯片包括盖板、控制层和基板，所述盖板、控制层和基板依次叠放设置；盖板包括进样口、试剂进口和微液滴取出口；控制层包括储液槽，每条储液槽包括第一区域和第二区域，第一区域和第二区域相通，样品微液滴通过所述进样口流入第一区域，试剂微液滴通过所述试剂进口流入第二区域，第二区域与微液滴取出口相通；基板包括微液滴驱动模块，微液滴驱动模块包括驱动电极，微液滴驱动模块通过改变驱动电极与微液滴之间的电势，以驱动微液滴在储液槽中流动。基于电介润湿原理实现对微液滴操控，在一张芯片上实现液体的移动、混合和分离等操作，速度快，人工操作少，成本低。
微流控芯片

[发明专利]一种微流控芯片-CN202110081632.5有效
发明人：魏秋旭;姚文亮;赵莹莹;古乐;樊博麟;高涌佳 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方传感技术有限公司
申请日： 2021-01-21 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本发明提供一种微流控芯片，属于芯片技术领域。本发明提供的一种微流控芯片包括多个微流控单元，多个微流控单元能够拼接形成微流控芯片；每个微流控单元包括工作区，和位于工作区至少一侧的过渡区，任意两个相邻的微流控单元的过渡区彼此紧邻且相对设置；每个微流控单元包括：第一基板，和设置在第一基板上的第一电极层；第一电极层对应工作区的位置包括多个第一子电极；第一电极层对应过渡区的位置包括至少一个第二子电极。
一种微流控芯片

[发明专利]微流控芯片的制备方法及制备装置-CN202010107021.9有效
发明人：廖辉;赵莹莹;姚文亮;赵楠;樊博麟;高涌佳;庞凤春;李月;陈国伟 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方传感技术有限公司
申请日： 2020-02-21 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本发明提供一种微流控芯片的制备方法及制备装置，属于微流控芯片技术领域。本发明的微流控芯片的制备方法，将形成有图案化的粘合层的转印基板与目标基板相对盒，其中，所述图案化的粘合层在所述目标基板上的投影位于所述目标基板的非流道区域上；将所述转印基板去除，以使所述图案化的粘合层转印在所述目标基板上，并将盖板与所述图案化的粘合层相对盒，以使所述目标基板和所述盖板的键合，形成微流控芯片。
微流控芯片制备方法装置

[发明专利]基板、微流控装置、驱动方法和制造方法-CN202080003662.8在审
发明人：樊博麟;古乐;赵莹莹;姚文亮;高涌佳;魏秋旭 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方传感技术有限公司
申请日： 2020-12-25 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：用于微流控装置的基板、微流控装置、微流控装置的驱动方法、以及制作用于微流控装置的基板的方法。第一基板（102）包括：位于第一衬底（180）上的第一电极层（183），第一电极层（183）包括多个驱动电极（170）；其中多个驱动电极（170）在第一基板（102）中限定至少一个流道（128、121、132、142、154、162）以及至少一个功能区（112、120、130、140、150、160），至少一个功能区（112、120、130、140、150、160）包括试剂区（112），试剂区（112）包括试剂区储液部（204）和液滴形状变化部（205），液滴形状变化部（205）与试剂区流道（206）相邻，试剂区储液部（204）位于液滴形状变化部（205）远离试剂区流道（206）的一侧，并且其中试剂区储液部（204）、液滴形状变化部（205）以及试剂区流道（206）配置成从试剂区储液部（204）生成一滴覆盖液滴形状变化部（205）的中间液滴，并且配置成使中间液滴形状发生变化以在试剂区流道（206）中生成试剂液滴。
基板微流控装置驱动方法制造

[发明专利]微流控基板、微流控装置及其驱动方法-CN202080003636.5在审
发明人：樊博麟;高涌佳;赵莹莹;古乐;姚文亮;魏秋旭 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方传感技术有限公司
申请日： 2020-12-25 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本公开涉及微流控基板、微流控装置及其驱动方法。该微流控基板包括第一区，第一区包括用于生成液滴的第一模块，第一模块包括第一电极对和第二电极对，其中，第一电极对与第二电极对呈十字交叉布置，第一电极对包括第一电极和第二电极，第二电极对包括第三电极和第四电极。
微流控基板微流控装置及其驱动方法

[发明专利]用于液滴驱动的基板及其制造方法、微流控装置-CN202080003655.8在审
发明人：樊博麟;古乐;赵莹莹;姚文亮;高涌佳;魏秋旭 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方传感技术有限公司
申请日： 2020-12-25 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本公开提供了一种用于液滴驱动的基板及其制造方法、微流控装置。该基板包括：第一衬底；多条引线，位于所述第一衬底上；多个驱动电极，位于所述多条引线远离所述第一衬底的一侧；以及屏蔽电极，位于所述多条引线远离所述第一衬底的一侧且接地。所述多条引线中的每一条与所述多个驱动电极中的至少一个电连接，所述屏蔽电极在所述第一衬底上的正投影与所述多条引线中的至少一条在所述第一衬底上的正投影至少部分重叠，并且所述屏蔽电极与所述多个驱动电极电绝缘。
用于驱动及其制造方法微流控装置

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