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[发明专利]一种红外探测器吸气剂模块及真空封装结构-CN202310751660.2在审
发明人：黄晟;黄立;王雅琴;江致兴;叶帆;汪超;王春水;高健飞 -专利权人：武汉高芯科技有限公司
申请日： 2023-06-25 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明属于MEMS器件的高真空封装技术领域，具体涉及一种红外探测器的吸气剂模块及真空封装结构。本发明提供的一种红外探测器吸气剂模块及真空封装结构，通过设计一种局部吸气剂加热模块，使吸气剂材料在高温状态下得到激活而不影响其它结构，解决了吸气剂激活温度受功能模块区域耐温低限制的技术问题。
一种红外探测器吸气模块真空封装结构

[发明专利]一种用于轨道车辆的疏散装置及轨道车辆-CN202310795108.3在审
发明人： 高健飞;高健;刘舒嘉;罗秋阳;黄莉莉;李斌;徐白羽;韦方;付广磊 -专利权人：中车南京浦镇车辆有限公司
申请日： 2023-06-30 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： B61D23/02 文献下载
摘要：本申请实施例中的用于轨道车辆的疏散装置及轨道车辆，疏散装置包括固定组件、疏散楼梯、第一驱动件和第二驱动件。固定组件用于连接轨道车辆的安装梁架，安装梁架设于轨道车辆的底架上；疏散楼梯具有展开状态和折叠状态，疏散楼梯与固定组件连接，并可相对固定组件转动；第一驱动件连接固定组件与疏散楼梯，第一驱动件用于驱动疏散楼梯相对固定组件转动；第二驱动件设于疏散楼梯上，第二驱动件用于驱动疏散楼梯处于展开状态或折叠状态。疏散楼梯处于展开状态时，疏散楼梯能够供乘客进出轨道车辆，从而实现人流疏散的作用。第一驱动件与第二驱动件相互配合，能够实现疏散楼梯的展开或折叠，操作便捷，能够实现快速疏散。
一种用于轨道车辆疏散装置

[发明专利]用于小像元微测辐射热计的天线耦合微桥结构及制备方法-CN202310057759.2在审
发明人：赖建军;杨静;黄立;高健飞;王春水;汪超;叶帆 -专利权人：华中科技大学;武汉高芯科技有限公司
申请日： 2023-01-18 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： G01J5/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于小像元微测辐射热计的天线耦合微桥结构及制备方法，属于光电探测技术领域。本发明将螺旋天线与电极桥腿相间排布，提高了小像元微桥结构热隔离支撑桥腿的占比，使桥腿延长热导率降低，提升了微测辐射热计的温升；采用螺旋式天线臂耦合热敏单元接收红外辐射时，光能量的吸收能够更集中于热敏单元，在器件总光吸收率相近的情况下，进一步提高了热敏单元的温升，等效于增加了微桥结构的有效吸收面积，与传统微测辐射热计相比能更好地收集能量，提高探测效率；在获得低热导和高吸收率的同时，降低了微桥结构的热质量；代替传统的上层吸收层和下层热隔离层的双层微桥结构，简化了制备工艺，可以降低器件制造成本。
用于小像元微测辐射热天线耦合结构制备方法

[发明专利]一种非制冷红外探测器及其制作方法-CN202211090841.7在审
发明人：黄立;蔡光艳;高健飞;王春水;汪超;叶帆 -专利权人：武汉高芯科技有限公司
申请日： 2022-09-07 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01J5/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种非制冷红外探测器及其制作方法，该非制冷红外探测器包括衬底、微桥结构、第一电容，微桥结构布置在衬底上方；第一电容用于存储红外探测器输出的电荷，所述第一电容设置在衬底上端，且位于微桥结构的桥面层下方。本发明利用MEMS制造技术将读出电路用于存储电信号的存储电容与红外探测器的微桥结构集成于一个像元，减少读出电路器件，增加读出电路面阵布线空间，优化读出电路整体布局布线，采集的信号就地存储，减少布局走线，降低信号串扰，提高探测器性能，大幅降低了探测器芯片的面积，同时降低了探测器的成本。
一种制冷红外探测器及其制作方法

[实用新型]读出电路芯片的信号存储模块集成的非制冷红外探测器-CN202023276252.7有效
发明人：蔡光艳;黄立;马占锋;汪超;王春水;高健飞 -专利权人：武汉鲲鹏微纳光电有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及红外探测器芯片制造技术领域，为读出电路芯片的信号存储模块集成的非制冷红外探测器，包括MEMS器件及读出电路芯片，所述MEMS器件包括安装孔区及空置区，所述安装孔区设有焦平面阵列电路，所述空置区设有信号存储电路，所述空置区上设有用于将所述MEMS器件与所述信号存储电路连接的导孔。将读出电路芯片中信号存储的电容通过通孔接触的方式引入上层MEMS工艺中完成。降低读出电路芯片的芯片尺寸，增加芯片个数，降低探测器成本；优化读出电路芯片的布局布线，重要的信号线可以缩短，从而优化读出电路芯片性能；充分利用MEMS的虚焊电路，使之平整化。
读出电路芯片信号存储模块集成制冷红外探测器

[发明专利]三明治结构的五氧化二钒热敏薄膜及其制备方法-CN202110273580.1有效
发明人：黄立;陆浩;马占锋;汪超;方明;蔡光艳;王春水;高健飞;黄晟 -专利权人：武汉高芯科技有限公司
申请日： 2021-03-15 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： C23C28/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种三明治结构的五氧化二钒热敏薄膜及其制备方法，该热敏薄膜包括由下至上依次设置的衬底层、缓冲层以及热敏层，所述热敏层包括至少两层V2O5层以及位于每相邻两层V2O5层之间的载流子浓度提高层。本发明通过载流子浓度提高层提高V2O5热敏薄膜的载流子浓度，显著地降低V2O5热敏薄膜室温下的电阻值，有效解决V2O5热敏薄膜在室温下电阻极大、热敏性不高的问题，提高V2O5热敏薄膜的热敏性，使其用作器件时响应率增大；且可以通过调节V2O5层以及载流子浓度提高层的厚度比例来调节电阻大小，满足不同的实际需求；多层膜结构可用CVD与PVD法实现，与硅基半导体工艺兼容，制备方式可控。
三明治结构氧化热敏薄膜及其制备方法

[发明专利]双模式非制冷红外探测器热敏层结构及其制备方法-CN202110443599.6有效
发明人：黄立;陆浩;马占锋;汪超;方明;蔡光艳;王春水;高健飞;黄晟 -专利权人：武汉高芯科技有限公司
申请日： 2021-04-23 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： H01L31/09 文献下载
摘要：本发明提供了一种双模式非制冷红外探测器热敏层结构及其制备方法，该热敏层结构包括保护层以及位于保护层上方的热敏薄膜层，所述热敏薄膜层包括分两侧设置的非晶锗硅薄膜和VOx薄膜。本发明可以用于双模式非制冷红外探测器，在需要NETD低的场景，VOx薄膜投入工作，探测器进入VOx基红外探测模式；在需要响应率高的场景，非晶锗硅薄膜投入工作，探测器进入非晶锗硅基红外探测模式；需要高质量静态红外场景拍摄时，VOx薄膜和非晶锗硅薄膜同时投入工作，两种模式共同工作；因此本发明适用于不同的工作场景，应用范围广，成本低。
双模制冷红外探测器热敏结构及其制备方法

[发明专利]低1/f噪声探测器及其像元以及降低非制冷探测器1/f噪声的方法-CN202110339272.4有效
发明人：黄立;蔡光艳;马占锋;汪超;王春水;高健飞;黄晟 -专利权人：武汉高芯科技有限公司
申请日： 2021-03-30 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： G01J5/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种低1/f噪声探测器像元及采用该像元的非制冷探测器，该像元包括衬底和有效元，有效元包括桥面层，桥面层包括自上而下层设的顶面吸收层和多层热敏感层，相邻两层热敏感层之间通过绝缘层分隔，各热敏感层联接形成有效元电阻结构，有效元电阻结构的阻值与有效元设计阻值匹配。另外还涉及一种降低非制冷探测器1/f噪声的方法，包括：对非制冷探测器的至少部分像元进行降噪处理，对像元的降噪处理包括增大其有效元的敏感材料电阻有效面积；和/或，增大盲元的敏感材料电阻有效面积，以对盲元进行降噪处理。本发明通过增加热敏感层数量，在满足探测器设计要求的前提下，可以增大有效元的敏感材料电阻有效面积，达到对像元和探测器降噪的效果。
噪声探测器及其以及降低制冷方法

[发明专利]一种红外探测器芯片封装结构-CN202210847331.3有效
发明人：黄立;周黄鹤;赵祺;万欢;魏禹;王春水;高健飞;蔡静 -专利权人：武汉高芯科技有限公司
申请日： 2022-07-19 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种红外探测器芯片封装结构，包括红外探测器芯片、封装盖板和疏离层，红外探测器芯片上设有红外敏感材料区，封装盖板的板体至少部分为可容红外光透过的红外窗口区，疏离层夹设于封装盖板与红外探测器芯片之间并且三者配合围合形成封装腔，疏离层为中空结构以容许红外窗口区透过的红外光能够入射至红外敏感材料区，于封装腔内设有吸气剂单元。本发明通过设置疏离层以增大红外探测器芯片与封装盖板之间的间距，可降低封装盖板内、外表面缺陷及封装盖板外表面灰尘对红外探测器成像的影响，从而提高封装良率和用户体验。
一种红外探测器芯片封装结构

[发明专利]一种红外探测器及其制备方法-CN202211191662.2在审
发明人：黄立;王雅琴;张明光;叶帆;王春水;高健飞 -专利权人：武汉高芯科技有限公司
申请日： 2022-09-28 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明属于真空封装方式的结构设计与制备方法，具体涉及一种非制冷红外探测器的阵列及其真空封装方法，通过沉积、图形化、旋涂、刻蚀、镀膜等技术的使用使得微盖支撑层和增透膜层共同形成密闭微盖，在中空锚柱孔内形成支撑柱，支撑柱对微盖形成支撑，像元阵列结构整体封装在密闭微盖内，微盖内为满足探测器结构工作的真空环境，有效避免的微型真空腔腔内无支撑的问题，解决了真空腔易破裂的问题，提高了阵列级真空封装的可靠性，具有良好的应用前景。
一种红外探测器及其制备方法

[发明专利]一种非制冷红外探测器的晶圆级封装结构-CN202211023229.8在审
发明人：黄立;蔡光艳;高健飞;王春水;汪超;叶帆 -专利权人：武汉高芯科技有限公司
申请日： 2022-08-25 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明属于半导体封装技术领域，具体提出一种非制冷红外探测器的晶圆级封装结构，在晶圆级封装探测器沿晶圆级焊料环内侧位置和/或基板晶圆背面的划片槽区域形成的多圈或纵横交叉分布的应力释放槽。在整片晶圆封装工艺按压键合时，键合时的应力会沿着应力释放槽释放键合应力，从而减小键合按压时对焦平面阵列结构的影响，保证探测器焦平面阵列器件结构的稳固。
一种制冷红外探测器晶圆级封装结构

[发明专利]一种刮粪机-CN202211167778.2在审
发明人： 高健飞;卫中华;落安鑫 -专利权人： 高健飞
申请日： 2022-09-23 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： A01K1/01 文献下载
摘要：本发明公开一种刮粪机，凹型侧护板对称设有一组且之间通过V型支架和一字型支架连接，第一刮板和第二刮板的两端均通过传动轴安装在凹型侧护板上，传动轴贯穿凹型侧护板且在端部套设有传动齿轮，每个凹型侧护板上的传动齿轮相互啮合，一字型牵引体两端均设有牵引装置，连接杆延伸置于一字型牵引体内且在端部设有移动板，移动板置于长条导向孔，移动板与一字型牵引体端部之间的连接杆上套设有缓冲弹簧，转轴贯穿牵引头，转轴一端套设有棘轮，棘轮对应位置的牵引头上转动设有棘爪，转轴另一端套设有蜗轮，蜗轮啮合蜗杆，蜗杆端部套设有手轮。本发明优点有：延长停机等待时间，减少耗电，减少故障发生，增加使用寿命和清理干净。
一种刮粪机

[发明专利]一种非制冷红外探测器吸气剂电激活结构及其制备方法-CN202211023372.7在审
发明人：黄立;蔡光艳;高健飞;王春水;汪超;叶帆 -专利权人：武汉高芯科技有限公司
申请日： 2022-08-25 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明属于吸气剂激活技术领域，公开了一种非制冷红外探测器吸气剂电激活结构及其制备方法，包括探测器内部形成的封装腔，所述封装腔内设有吸气剂，封装腔内设有位于吸气剂下方的加热电阻，所述封装腔的外侧设有第一电激活加压焊盘以及第二电激活加压焊盘，加热电阻的两端引出封装腔外与第一电激活加压焊盘和第二电激活加压焊盘连接；所述封装腔内设有像元区域，所述吸气剂环绕所述像元区域设置。本发明还公开了一种上述吸气剂电激活结构的制备方法。本发明制作方便，而且在布置时整体体积较小，占用空间小，结构稳定，布置方式灵活，可以很好的保证真空器件工作区域的真空度，提高电子元器件的使用寿命。
一种制冷红外探测器吸气激活结构及其制备方法

[发明专利]像素级封装的非制冷红外探测器及其制作方法-CN202110126919.5有效
发明人：黄立;王雅琴;蔡光艳;王春水;马占锋;高健飞;黄晟 -专利权人：武汉高芯科技有限公司
申请日： 2021-01-29 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： G01J5/10 文献下载
摘要：本发明提供了一种像素级封装的非制冷红外探测器及其制作方法，该非制冷红外探测器包括读出电路、位于读出电路上的MEMS器件以及盖封于MEMS器件上的像素封装盖帽，MEMS器件包括金属反射镜、桥面、桥柱以及第一桥腿，金属反射镜设于读出电路的上表面，桥面悬空位于金属反射镜的正上方，桥柱位于桥面侧边，其支撑在读出电路上且与读出电路之间通过电学接触金属电连接，第一桥腿连接于桥面与桥柱之间，MEMS器件还包括与桥柱连接且向外延伸的第二桥腿，像素封装盖帽上设有释放孔，第二桥腿延伸至释放孔下方，释放孔处设有密封释放孔的密封膜层，密封膜层堆积在第二桥腿上。本发明能够降低密封膜层生长的工艺难度。
像素封装制冷红外探测器及其制作方法

[实用新型]超声扫查装置及系统-CN202121129154.2有效
发明人：李邱达;贺志清;薛新才;查萌;张维;方江;袁光华;许锋;郁梅;厉建文;冯杰;丁嘉盈;高健飞;梅兰 -专利权人：中核核电运行管理有限公司;核电秦山联营有限公司;国核电站运行服务技术有限公司
申请日： 2021-05-25 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： G01N29/04 文献下载
摘要：本公开属于核电技术领域，具体涉及一种超声扫查装置及系统。本公开的环状链条结构可以便于安装不同尺寸和规格的相控阵探头，使得超声波探头在检测的过程中较好的与待检测管道外侧壁相贴合，且运动轨迹稳定，极大地提高了检测效率和检测结果的可靠性，可以通用增减链条的连接块来调节链条的长度，灵活的适用不同直径大小的管道，尤其适用于对小径管超声扫查。此外，由于编码器连接的滚轮与其他各滚轮同步旋转，编码器产生的角位移数据可以用于反映所述超声扫查数据所对应的周向位置，有利于定位和分析超声扫查结果。减少了人因失误，缺陷定位准确。
超声装置系统

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