专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »
钻瓜专利网为您找到相关结果172个,建议您升级VIP下载更多相关专利
  • [发明专利]吸气剂像元及其制备方法、红外焦平面探测器-CN202210853470.7有效
  • 黄立;王雅琴;叶帆;王春水;高健飞 - 武汉高芯科技有限公司
  • 2022-07-20 - 2022-11-04 - B81B7/00
  • 本发明涉及一种吸气剂像元,包括基底、支撑单元、桥腿和吸气剂单元,吸气剂单元包括吸气剂层,支撑单元支承于基底上,桥腿的两端分别与吸气剂层的端部以及支撑单元的顶端连接以致吸气剂单元与基底之间具有悬空间距;于基底上形成有接电结构,通过桥腿和支撑单元实现吸气剂层与接电结构之间的电学导通。另外还涉及该吸气剂像元的制备方法以及采用该吸气剂像元的红外焦平面探测器。本发明使吸气剂单元处于悬空状态,能有效地增大吸气剂面积、提高吸气效果;吸气剂层采用电激活方式,能保证吸气剂材料的激活效果和激活效率。本发明提供的吸气剂像元,可以直接集成在红外焦平面阵列芯片上,能较好地克服阵列级封装的红外焦平面探测器的条件限制。
  • 吸气剂像元及其制备方法红外平面探测器
  • [发明专利]双模探测器像元、非制冷红外探测器及其使用方法-CN202110339507.X有效
  • 黄立;蔡光艳;马占锋;汪超;王春水;高健飞 - 武汉鲲鹏微纳光电有限公司
  • 2021-03-30 - 2022-10-04 - G01J5/48
  • 本发明涉及一种共用读出电路的双模探测器像元,包括双模桥面层、衬底及布设于衬底上的双模读出电路,双模读出电路包括均设有控制开关的一个第一分路以及四个第二分路,双模桥面层的四个角部分别引伸出边部桥腿并且于桥面中心引伸出中心桥腿,其中,第一分路与相对的两个边部桥腿电连接,四个第二分路均与中心桥腿电连接并且一一对应地与四个边部桥腿电连接。另外还涉及采用该双模探测器像元的非制冷红外探测器及该非制冷红外探测器的使用方法。本发明通过对读出电路的特殊设计,同一读出电路能实现两种不同阵列大小和不同像素大小成像的工作模式,有效地扩展了像元及探测器的适用范围,可减少探测器的规格种类,降低制备成本和使用成本。
  • 双模探测器制冷红外探测器及其使用方法
  • [发明专利]一种非制冷红外探测器及其制作方法-CN202210078270.9在审
  • 黄立;蔡光艳;马占锋;高健飞;王春水;汪超;叶帆 - 武汉高芯科技有限公司
  • 2022-01-24 - 2022-06-10 - G01J5/02
  • 本发明涉及红外探测器领域,具体涉及一种非制冷红外探测器及其制作方法,包括读出电路、MEMS器件和盖帽,盖帽的内侧设有第一吸气剂层,读出电路上对应MEMS器件的位置处设有第二吸气剂层;具体是先在读出电路上对应MEMS器件的位置处制作第二吸气剂层,然后旋涂牺牲层,接着刻蚀牺牲层,制作MEMS器件,并在有效元dummy、衬底参考元以及盲元的上方制作第三吸气剂层,最后制作盖帽,并在盖帽的内侧除对应有效元的位置之外的区域制作第一吸气剂层,将盖帽与读出电路键合,完成真空封装。本发明通过在悬空MEMS器件的下面、部分MEMS器件的上面以及盖帽内侧制作吸气剂层,可以有效地增加吸气剂的面积,增加对残余气体的吸收,提高了器件的真空度,增加了器件的使用寿命。
  • 一种制冷红外探测器及其制作方法
  • [发明专利]一种吸气剂悬空的非制冷红外探测器及其制作方法-CN202210136270.X有效
  • 黄立;马占锋;王颖;王春水;高健飞 - 武汉高芯科技有限公司
  • 2022-02-15 - 2022-06-10 - H01L27/146
  • 本发明涉及半导体领域,具体涉及一种吸气剂悬空的非制冷红外探测器及其制作方法,包括如下步骤:S1、在读出电路上制作金属层并图形化,在非像元区形成两个金属电极;S2、在读出电路和金属电极上制作牺牲层并图形化;S3、在步骤S2制作完成的结构上沉积吸气剂材料;S4、去除所需吸气剂图形之外的部分吸气剂材料,形成所需的吸气剂;S5、在读出电路上的像元区制作像元结构;S6、将牺牲层释放,使吸气剂悬空;S7、采用电激活的方式激活吸气剂,再进行封装。本发明将吸气剂集成到芯片端,并将吸气剂设计为悬空结构,且采用电激活,可以有效避免热激活时的高温对热敏材料的影响,还可以避免激活时产生的热对芯片的影响。
  • 一种吸气悬空制冷红外探测器及其制作方法
  • [发明专利]一种用于红外探测器小孔腐蚀的腐蚀液及方法-CN202110692055.3有效
  • 黄立;李胜利;马占锋;高健飞;黄晟;罗学强 - 武汉高芯科技有限公司
  • 2021-06-22 - 2022-05-31 - C09K13/04
  • 本发明提供了一种用于红外探测器小孔腐蚀的腐蚀液,包括作为溶剂的水,以及溶于水中的溶质,所述溶质包括盐酸、醋酸和氯化锌。另外,本发明还提供了红外探测器小孔腐蚀方法,包括在衬底牺牲层上沉积硫化锌层,作为增透膜;在硫化锌层上沉积非晶硅层,作为红外透过层和硫化锌湿法腐蚀的硬掩模版;对非晶硅层进行光刻、干法刻蚀和去胶,得到释放孔前驱体;用上述腐蚀液对硫化锌层进行单片式湿法腐蚀,得到所需要的小孔。该发明以盐酸作为腐蚀剂,并在盐酸中引入水、醋酸和氯化锌分别作为稀释剂、缓冲剂和保护剂,有效避免了硫化锌湿法腐蚀过程中的浮胶现象,显著改善了硫化锌侧向钻蚀严重的问题,解决了微尺寸孔湿法腐蚀的难题。
  • 一种用于红外探测器小孔腐蚀方法

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top