|
钻瓜专利网为您找到相关结果 10个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]铝合金表面DLC防护薄膜制备方法-CN201810895336.7有效
-
宫声凯;高伟庆;彭徽;张恒
-
北京航空航天大学
-
2018-08-08
-
2020-05-29
-
C23C16/26
- 本发明公开了一种铝合金表面的DLC防护薄膜及其制备方法,所述薄膜是由过渡层和含H的DLC层组成,所述过渡层是沉积在7075铝合金上的SiC和Si‑DLC混合过渡层或是SiC、Si‑DLC双层过渡层,所述DLC层是直接生成的含H的DLC层;所述薄膜均使用CVD的方法进行制备,首先对7075铝合金进行预处理,然后利用空心阴极电子枪加上下聚焦线圈辅助作为TMS(四甲基硅烷)气体和/或乙炔的离化源,在基体上加负偏压进行沉积,最后利用氢气和作为碳源的乙炔气体沉积生成含H的DLC;本发明的铝合金表面DLC防护薄膜具有良好的摩擦学性能,表面光滑,膜基结合力高,硬度高,且工艺简单,成本低廉。
- 铝合金表面dlc防护薄膜制备方法
|