专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种低温检测氮氧化物气敏元件的制备方法-CN201310498458.X无效
  • 胡明;马双云;崔珍珍;李明达;曾鹏 - 天津大学
  • 2013-10-21 - 2014-01-15 - G01N27/00
  • 本发明公开了一种低温(150oC)检测氮氧化物气敏元件的制备方法:首先采用p型单晶硅作为基底,利用双槽电化学的方法在基底表面制备多孔硅层;其次以金属钨作为耙材,利用磁控溅射的方法在多孔硅表面沉积金属钨薄膜;然后,在水平管式炉中采用热退火金属钨薄膜的方法制备多孔硅/氧化钨纳米线复合结构;最后,在多孔硅/氧化钨纳米线复合结构表面沉积铂电极,制得低温检测氮氧化物气敏元件,其在低温且对低浓度NOx气体具有高灵敏度、高选择性以及良好响应恢复特性。该方法具有设备简单、操作方便、工艺参数易于控制、成本低的优点,具有重要的实践与研究意义。
  • 一种低温检测氧化物元件制备方法

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