专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种半导体器件检测的可循环仓储装置-CN202123329386.5有效
  • 饶炯辉;雷畅 - 武汉人和睿视科技有限公司
  • 2021-12-28 - 2022-08-12 - B65G1/137
  • 本发明公开了一种半导体器件检测的可循环仓储装置,包括仓储单元、控制器和控制开关,所述仓储单元包括料仓组、推送机构、升降机构,所述料仓组包括左右并列设置的第一料仓和第二料仓,所述控制开关设置于所述料仓组上,推送机构包括设置于所述第一料仓顶部的第一推送机构和所述第二料仓底部的第二推送机构,升降机构包括多个用于放置载盘的托盘、设置于所述第一料仓的第一升降器、第一升降驱动器,设置于所述第二料仓的第二升降器、第二升降驱动器。其有益效果为:通过两个料仓可循环不间断的给抓取装置提供载盘,既增加了载盘的仓储数量,又提高了半导体器件的检测效率,托盘槽的设计便于托盘的放入和取出。
  • 一种半导体器件检测循环仓储装置
  • [实用新型]一种COS封装激光器的检测装置-CN202121193577.0有效
  • 饶炯辉;雷畅 - 武汉人和睿视科技有限公司
  • 2021-05-31 - 2022-01-11 - G01D21/02
  • 本发明公开了一种COS封装激光器的检测装置,包括检测台、第一CCD相机、第二CCD相机、第一光谱共焦位移传感器和控制组件,所述检测台包括激光器吸附组件和激光器移动组件,所述激光器吸附组件安装于激光器移动组件上,所述第一CCD相机竖直设置于激光器吸附组件上方,所述第二CCD相机水平设置于激光器吸附组件的一侧,所述第一光谱共焦位移传感器位于检测台的一侧,所述第一光谱共焦位移传感器用于测量激光器出光面和热沉端面的高度差值,所述控制组件与检测台、第一CCD相机、第二CCD相机和第一光谱共焦位移传感器电连接。实现了半导体器件的微米级的高精度检测。
  • 一种cos封装激光器检测装置
  • [实用新型]一种用于激光器封装的检测装置-CN202121196602.0有效
  • 饶炯辉;雷畅 - 武汉人和睿视科技有限公司
  • 2021-05-31 - 2022-01-11 - G01N21/84
  • 本发明公开了一种用于激光器封装的检测装置,包括底座、调节板和紧固件,所述调节板上沿竖直方向设有多组相互平行的调节孔,所述紧固件穿过调节孔与底座的侧面连接,所述调节板的顶部设有环形光源,所述调节板位于环形光源的下方设有用于CCD相机镜头穿过的U型槽,所述CCD相机安装于底座的顶部,所述CCD相机的视场穿过环形光源的中部进行机器视觉检测。调节板安装于底座侧面,调节环形光源上下位置的过程中与其他部件不产生干涉;同时调节板的宽度与两块竖板的宽度,调节后安装时保持调节板与竖板的边沿对齐,避免环形光源出现偏斜。
  • 一种用于激光器封装检测装置
  • [实用新型]一种用于机器视觉检测的调节装置-CN202121196596.9有效
  • 饶炯辉;雷畅 - 武汉人和睿视科技有限公司
  • 2021-05-31 - 2021-11-19 - F16M11/24
  • 本发明公开了一种用于机器视觉检测的调节装置,包括固定板、移动板和两块竖板,所述固定板水平安装于两块相互平行设置的竖板之间,所述移动板沿X轴与固定板活动连接,所述移动板上设有相机固定架,所述相机固定架上安装有CCD相机;所述相机固定架沿X轴的两侧均设有固定条,所述固定条上设有固定孔,所述固定孔内安装有用于固定相机固定架的固定螺栓;所述相机固定架沿Y轴的两侧均设有第一定位板,所述第一定位板上设有第一定位螺纹孔,所述第一定位螺纹孔内安装有第一螺栓,所述第一螺栓的前端与相机固定架的外侧紧密贴合。通过第一螺栓和第二螺栓可对CCD相机的位置进行水平调整,便于对机器视觉检测的CCD相机装调。
  • 一种用于机器视觉检测调节装置
  • [实用新型]一种半导体器件的自动检测装置-CN202120471328.7有效
  • 饶炯辉;雷畅 - 武汉人和睿视科技有限公司
  • 2021-03-04 - 2021-11-19 - G01N21/95
  • 本发明公开了一种半导体器件的自动检测装置,包括检测台、第一显微镜、第二显微镜和控制组件,所述第一显微镜和第二显微镜相互垂直设置,所述检测台用于承载半导体器件位于第一显微镜和第二显微镜的视场交点,所述检测台包括半导体吸附组件和半导体移动组件,所述控制组件用于控制半导体移动组件对半导体吸附组件的平移和旋转,以及控制所述第一显微镜和第二显微镜采集半导体器件的表面图像、并判断和记录检测数据,所述第二显微镜为微分干涉显微镜。通过第二显微镜发出偏振光至待检测半导体器件的侧面,再反射至第二显微镜的CCD成像系统得到了数字图像,通过算法提取出半导体器件的侧面缺陷,实现对半导体器件的高精度检测。
  • 一种半导体器件自动检测装置
  • [发明专利]一种半导体器件的找正和检测方法及应用-CN202110912471.X在审
  • 饶炯辉;雷畅 - 武汉人和睿视科技有限公司
  • 2021-08-10 - 2021-11-09 - G01B11/26
  • 本发明公开了一种半导体器件的找正和检测方法及应用,包括以下步骤:S1、将半导体器件置于吸附组件上吸附固定,第一CCD相机采集半导体器件顶面的第一图像信息,移动组件根据第一图像信息移动吸附组件,使半导体器件的侧面位于水平设置的第一光学位移传感器量程内;S2、第一光学位移传感器测量距半导体器件侧面的第一点A,移动组件沿Y轴移动距离L,第一光学位移传感器测量距半导体器件侧面的第二点B;S3、根据A、B两点的高度差值和距离L,计算半导体器件置于吸附组件上的偏转角α,移动组件旋转偏转角α使半导体器件处于正交状态。利用传感器高精度测距的特点,实现对半导体器件的精准找正,可用于对半导体器件进行高精度检测。
  • 一种半导体器件检测方法应用
  • [实用新型]一种半导体器件的中转平台-CN202120469472.7有效
  • 饶炯辉;雷畅 - 武汉人和睿视科技有限公司
  • 2021-03-04 - 2021-11-05 - H01L21/677
  • 本实用新型公开了一种半导体器件的中转平台,包括水平移动机构、吸附板、控制器、控制阀和真空发生器,所述吸附板固定安装于水平移动机构上方,所述吸附板上设有用于吸附载盘的吸附单元,所述吸附单元位于载盘的吸气孔下方,所述吸附单元依次与控制阀和真空发生器连通,所述控制器与控制阀的控制端电连接,所述控制器用于控制控制阀供吸附单元对载盘吸附和释放。通过吸附板上的吸附单元再对载盘吸附固定的同时,载盘上的硅胶膜也被吸附,便于下一工序的机械手抓取载盘上的半导体器件。吸附板上设置多个吸附单元且分别进行控制,保证吸附板上可实现持续具有载盘被吸附,进而保证中转平台持续具有半导体器供应至下一工序。
  • 一种半导体器件中转平台
  • [实用新型]一种用于半导体器件的送料装置-CN202120471329.1有效
  • 饶炯辉;雷畅 - 武汉人和睿视科技有限公司
  • 2021-03-04 - 2021-11-05 - B65G47/90
  • 本实用新型公开了一种用于半导体器件的送料装置,包括水平移动机构、垂直移动机构和抓取机构,所述抓取机构包括安装板和伸缩组件,所述垂直移动机构沿垂直方向的一端与水平移动机构连接,所述垂直移动机构沿垂直方向的另一端与安装板的顶面连接,所述安装板的底面安装有伸缩组件,所述伸缩组件沿水平方向的两端设有夹持板,所述伸缩组件通过伸缩动作驱动夹持板夹持和释放托盘。机械式结构的抓取机构具有较高的可靠性,便于抓取机构对托盘进行单个抓取后送料;通过在安装板上设置限位凸起和滑轨槽,便于抓取机构的装配,减少滑轨和滑块的安装调试时间,提高安装精度。
  • 一种用于半导体器件装置
  • [实用新型]一种半导体器件检测的仓储装置-CN202120471333.8有效
  • 饶炯辉;雷畅 - 武汉人和睿视科技有限公司
  • 2021-03-04 - 2021-11-05 - H01L21/673
  • 本实用新型公开了一种半导体器件检测的仓储装置,包括仓储单元和控制器,所述仓储单元包括料仓、升降机构,所述料仓内设有用于承载多个载盘的托板,所述料仓上设有用于监测托板顶部载盘的料位开关,所述升降机构的升降器与托板固定连接,所述控制器与料位开关和所述升降机构的升降驱动器电连接,所述升降驱动器驱动升降器升降运动。所述料仓的侧面设有仓储口,所述托板的横向断面为“L”型,所述托板竖直段的外侧面与升降器连接。通过料仓可一次仓储多个载盘,最顶部的载盘被抓取装置抓取后,该空缺位置可自动及时补充,便于下一周期再次抓取。
  • 一种半导体器件检测仓储装置
  • [发明专利]一种半导体器件的自动检测装置和方法及应用-CN202110241938.2在审
  • 饶炯辉;雷畅 - 武汉人和睿视科技有限公司
  • 2021-03-04 - 2021-06-01 - G01N21/95
  • 本发明公开了一种半导体器件的自动检测装置和方法及应用,包括检测台、第一显微镜、第二显微镜和控制组件,所述第一显微镜和第二显微镜相互垂直设置,所述检测台用于承载半导体器件位于第一显微镜和第二显微镜的视场交点,所述检测台包括半导体吸附组件和半导体移动组件,所述控制组件用于控制半导体移动组件对半导体吸附组件的平移和旋转,以及控制所述第一显微镜和第二显微镜采集半导体器件的表面图像、并判断和记录检测数据,所述第二显微镜为微分干涉显微镜。通过第二显微镜发出偏振光至待检测半导体器件的侧面,再反射至第二显微镜的CCD成像系统得到了数字图像,通过算法提取出半导体器件的侧面缺陷,实现对半导体器件的高精度检测。
  • 一种半导体器件自动检测装置方法应用

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