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[发明专利]有机EL设备制造装置-CN201210325673.5无效
发明人：若林雅;韮泽信广;弓场贤治;浅田干夫;落合行雄 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2009-08-17 - 公布日： 2013-02-20 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明提供一种有机EL设备制造装置，其具有在真空腔内将蒸镀材料蒸镀到基板上的蒸发源和将所述基板和蒸镀位置进行定位的掩模罩。具有这样的蒸镀机构：在所述真空腔内内存有N（N为2以上）张基板，在用所述蒸发源蒸镀第1张的第1基板的时段中，将第N张的第N基板搬入所述真空腔内，在用所述蒸发源蒸镀第2张以后的第2基板的时段中，从所述真空腔内搬出所述第1基板；具有2个将所述基板与掩模罩进行定位的定位部，并且，具有将所述定位部的一个中的进行了所述基板和掩模罩的定位后的基板移动至蒸镀位置的移动机构。
有机 el 设备制造装置

[发明专利]有机EL器件制造装置-CN201210185890.9无效
发明人：若林雅;韮泽信广;弓场贤治;落合行雄;浅田干夫 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2009-08-17 - 公布日： 2012-10-03 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明提供一种有机EL器件制造装置，其具有作为真空室的设备组，该设备组具备：具备将蒸镀材料蒸镀在衬底上的处理部的真空处理室；将上述衬底搬入或搬出的交接室；以及将上述衬底在上述交接室和上述处理部之间进行搬运的搬运机构，其中，具有与上述交接室不同的搬入衬底的搬入负载室和搬出衬底的搬出负载室中至少一方，再有，在构成将上述衬底从上述搬入负载室向搬出负载室进行搬运的搬运系统的搬运部中，具有在上述搬运部对所搬运的上述衬底的搬运角度进行修正的修正机构。
有机 el 器件制造装置

[发明专利]有机EL设备制造装置和制造方法及成膜装置和成膜方法-CN201110020657.0有效
发明人：若林雅;韮泽信广;弓场贤治;浅田干夫;落合行雄 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2009-08-17 - 公布日： 2011-08-17 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明提供一种有机EL设备制造装置和制造方法及成膜装置和成膜方法，在该装置和方法中，材料损伤小、经济性好、生产率高、运转率高。本发明的有机EL设备制造装置，其具有搬入基板的搬入装载互锁室、将蒸镀材料蒸镀到所述基板上的至少1台真空腔、搬出所述基板的搬出装载互锁室和从所述搬入装载互锁室向所述搬出装载互锁室搬送所述基板的搬送结构，其特征在于，所述搬送结构将所述基板的蒸镀面作为上表面来进行搬送，在所述搬送结构的至少移动所述基板的结构部中具有握持所述基板的握持单元。
有机 el 设备制造装置方法

[发明专利]有机EL器件制造装置及制造方法和成膜装置及成膜方法-CN201010521855.0无效
发明人：龟山大树;韮泽信广;弓场贤治;落合行雄 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2010-10-25 - 公布日： 2011-05-11 - 主分类号： H05B33/10 文献下载
摘要：本发明提供减少衬底和掩膜的弯曲，从而能够以高精度蒸镀，此外，能够使搬运室小型化，或者通过将驱动部等配置在大气侧来减少真空内的粉尘和气体的产生，生产率高或者运转率高的有机EL器件制造装置及其制造方法和成膜装置及成膜方法。本发明的特征在于，以使具备衬底或者掩膜的下垂体下垂的状态在真空室内进行上述衬底与上述掩膜的对准，在向该衬底蒸镀蒸镀材料时，移动上述下垂体上的接触部，使上述下垂体垂直后向真空室内搬运，安放在上述对位位置，分离上述下垂体的下垂体接触部与上述进行搬运的搬运机构中与上述下垂体接触部接触的搬运接触部，然后进行上述对准。
有机 el 器件制造装置方法

[发明专利]有机EL器件制造装置及其制造方法以及成膜装置及成膜方法-CN200910165275.X无效
发明人：若林雅;韮泽信广;弓场贤治;落合行雄;浅田干夫 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2009-08-17 - 公布日： 2010-03-31 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明提供一种具有设备组构造，能缩短生产线的长度，空间效率高的有机EL器件制造装置或其制造方法，或者成膜装置或成膜方法。其串联设有多个作为真空室的设备组，该设备组具备：具备将蒸镀材料蒸镀在衬底上的处理部的真空处理室，将上述衬底搬入或搬出的交接室，以及将上述衬底在上述交接室和上述多个处理部之间进行搬运的搬运机构；在一个上述真空处理室或多个上述真空处理室中设置多个上述处理部，将上述多个处理部中的至少两个以上的处理部邻接配置在上述搬运机构的一侧；将衬底从搬入负载室搬入，借助于上述设备组，在向搬出负载室搬运的过程中对上述搬运衬底的搬运角度进行修正。
有机 el 器件制造装置及其方法以及

[发明专利]有机EL设备制造装置和其制造方法以及成膜装置和成膜方法-CN200910165277.9无效
发明人：若林雅;韮泽信广;弓场贤治;浅田干夫;落合行雄 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2009-08-17 - 公布日： 2010-03-10 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明提供一种材料损伤小、经济性好、生产率高、运转率高的有机EL设备制造装置和/或其制造方法或成膜装置和/或成膜方法。本发明的有机EL设备制造装置，其特征在于，在真空腔内内存有N(N为2以上)张基板，在用所述蒸发源蒸镀第1张的第1基板的时段中，将第N张的第N基板搬入所述真空腔内，在用所述蒸发源蒸镀第2张的第2基板的时段中，从所述真空腔内搬出所述第1基板，或在蒸镀第1所述基板的时段中，结束第2所述基板的所述定位，通过所述蒸镀时段和同一蒸发源，在蒸镀所述第2基板的时段中，从所述真空腔内搬出所述第1基板。
有机 el 设备制造装置方法以及