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[发明专利]用于椭偏量测系统的拟合优化方法和相关装置-CN202210885421.1有效
发明人：杨峰;韩景珊;庄源 -专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
申请日： 2022-07-26 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G06F17/14 文献下载
摘要：本公开提供了一种用于椭偏量测系统的拟合优化方法及其相关装置。该方法包括：使用所述椭偏量测系统对参考样品进行M次测量，以获取对应的M个光谱信号；获取依赖于所述参考样品的理论材料模型的理论灵敏度函数；基于所述信噪比函数和所述理论灵敏度函数，获得适用于待测样品的实际测得的目标拟合函数的拟合权重函数，所述待测样品的类型与所述参考样品的类型相同；以及基于所述理论材料模型，使用所述拟合权重函数并以所述待测样品的目标待测量为变量，对所述待测样品的所述实际测得的目标拟合函数进行拟合。利用本公开的方法，可以显著地提高椭偏量测系统的测量精度和灵敏度。
用于椭偏量测系统拟合优化方法相关装置

[发明专利]用于椭偏量测系统的自动聚焦装置-CN202210956090.6有效
发明人： 韩景珊;王瑜;杨峰 -专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
申请日： 2022-08-10 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本公开涉及一种用于椭偏量测系统的自动聚焦装置(100)。该自动聚焦装置(100)适于被布置在所述椭偏量测系统的从样品(204)反射的光束的光路上，并且包括：反射型聚焦镜，被构造成具有反射表面和通光孔(111)，所述反射表面适于反射所述光束的第一部分至所述椭偏量测系统中的光谱仪，所述通光孔(111)适于透过所述光束的第二部分，其中所述第一部分所占光束的能量的比例大于所述第二部分所占光束的能量的比例；多象限探测器(103)，被布置成用于接收从所述通光孔(111)所透过的所述光束的所述第二部分，并且产生与所述样品(204)偏离所述椭偏量测系统的入射光束的焦面的距离有关的探测信号；以及处理器，被配置成基于所述探测信号，产生用于使所述样品(204)移动至所述焦面的控制信号。
用于椭偏量测系统自动聚焦装置

[发明专利]一种光谱椭偏测量系统和一种光谱椭偏测量方法-CN202310317770.8有效
发明人：王瑜;杨峰;吕彤欣;韩景珊 -专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
申请日： 2023-03-29 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种光谱椭偏测量系统和光谱椭偏测量方法。该光谱椭偏测量系统包括：光源，用于提供偏振态的入射光；至少一组反射式投影物镜，被配置为：根据目标尺寸，调节自身的位置和/或焦距；根据该位置及该焦距，将该入射光会聚到待测样品的表面，以形成该目标尺寸的光斑；以及从该待测样品的表面获取该光斑的反射光，并根据该位置及该焦距对该反射光进行准直处理；以及探测器，获取该反射式投影物镜输出的反射光，并根据该反射光的偏振态参数确定该待测样品表面的薄膜厚度。本发明能够根据晶圆的图形尺寸，灵活调节聚焦到晶圆表面的光斑尺寸大小，从而准确测量出晶圆表面的薄膜厚度。
一种光谱测量系统测量方法

[发明专利]一种光谱椭偏测量系统-CN202310321985.7在审
发明人：王瑜;杨峰;吕彤欣;韩景珊 -专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
申请日： 2023-03-29 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供一种光谱椭偏测量系统，包括：光源，用于提供偏振态的入射光；第一反射式投影物镜，位于光源与待测样品之间的光路内，用于将入射光会聚到待测样品的表面，以形成检测光斑；第二反射式投影物镜，对称第一反射式投影物镜地设置于待测样品与分光器之间的光路，用于从待测样品的表面获取光斑的反射光，并对反射光进行准直处理；分光器，获取第二反射式投影物镜输出的反射光，并对反射光进行关于入射角度的分光，以输出多束基于部分入射角度的分光光束；以及至少一台探测器，获取分光器输出的多束分光光束，并根据多束分光光束的偏振态参数确定待测样品表面的薄膜信息。
一种光谱测量系统

[发明专利]椭偏测量装置和用于获取待测对象的表面信息的方法-CN202310188020.5在审
发明人：王瑜;杨峰;吕彤欣;韩景珊 -专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G01N21/21 文献下载
摘要：本公开的实施例提供一种椭偏测量装置和用于获取待测对象的表面信息的方法。其中椭偏测量装置包括：偏振光束提供装置，用于提供多个平行的偏振光束；第一离轴抛物面镜，用于将多个平行的偏振光束反射以便多个被反射后的第一光束聚焦在待测对象的表面上的目标点，每一个偏振光束与对应的第一光束之间的夹角为锐角；第二离轴抛物面镜，用于将被反射后的第一光束经由待测对象的表面反射后形成的多个第二光束反射，以形成多个平行的第三光束，每一个第二光束与对应的第三光束之间的夹角为锐角；以及验偏装置，用于对多个平行的第三光束验偏。本公开的实施例能够显著减小偏振光束入射至离轴抛物面镜的入射角度，从而有效保证偏振光束的偏振态。
测量装置用于获取对象表面信息方法

[发明专利]光谱椭偏测量方法、系统及存储介质-CN202310325048.9在审
发明人： 韩景珊;王瑜;杨峰;吕彤欣 -专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
申请日： 2023-03-29 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01N21/21 文献下载
摘要：本发明提供一种光谱椭偏测量方法、系统及存储介质。所述方法包括以下步骤：获取多组基于不同入射角度照射待测样品，并经由所述待测样品反射采集的实测光谱数据；将各组所述实测光谱数据代入预先建立的理论光谱模型，以分别确定基于各所述入射角度的实测椭偏函数值；改变所述理论光谱模型的膜层厚度参数，以分别获得对应各所述入射角度及多种候选膜层厚度的理论椭偏函数值；将关于各所述入射角度的理论椭偏函数值，分别与对应的实测椭偏函数值进行对比及误差分析，以确定光谱拟合误差；以及根据所述光谱拟合误差，确定所述待测样品表面的薄膜信息。
光谱测量方法系统存储介质

[发明专利]用于确定晶圆传输设备的定位精度的方法-CN202310209495.8有效
发明人：全鹏飞;邱青菊;韩景珊 -专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
申请日： 2023-03-06 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本公开各实施例提供了一种确定晶圆传输设备的定位精度的方法，该方法包括：a）使用晶圆承载与运动平台从设备前端模块EFEM接收单个目标晶圆；b）使用成像设备获取所述单个目标晶圆在第一预定位置的第一图像；c）使用晶圆承载与运动平台将所述单个目标晶圆从所述第一预定位置移动至第二预定位置；d）使用所述晶圆承载与运动平台将所述单个目标晶圆从所述第二预定位置返回至所述第一预定位置；e）重复执行b）、c）和d）的步骤n次，从而获得对应的n个第一图像，其中n为远大于1的整数；以及f）基于n+1个所述第一图像，获得所述晶圆承载与运动平台在X和Y方向上的平台误差。
用于确定传输设备定位精度方法

[发明专利]基于脉冲激光的椭偏量测装置及相关的光操作方法-CN202211590013.X有效
发明人：吕彤欣;韩景珊;杨峰 -专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本公开提供了一种基于脉冲激光的椭偏量测装置以及相关的光操作方法。该装置被配置为能够操作选择地在椭偏量测模式下工作，所述椭偏量测装置特别地包括：锁相放大模块，其被配置成接收来自于样品的第一检测信号，并且基于所述第一调制信号作为参考信号，以通过对所述第一检测信号的锁相放大，来产生经噪声处理的第一检测信号；以及控制和处理模块，其被配置成基于所述经噪声处理的第一检测信号，获得与所述样品的特性相关的信息。
基于脉冲激光椭偏量测装置相关操作方法

[发明专利]用于椭偏量测系统的自动聚焦方法-CN202210956119.0在审
发明人： 韩景珊;王瑜;杨峰 -专利权人：睿励科学仪器（上海）有限公司
申请日： 2022-08-10 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本公开涉及一种用于椭偏量测系统的自动聚焦方法。该自动聚焦方法包括：将具有反射表面和通光孔的反射型聚焦镜定位在所述椭偏量测系统的从样品反射的光束的光路上，以使得：所述反射表面反射所述光束的第一部分至所述椭偏量测系统中的光谱仪，以及所述通光孔透过所述光束的第二部分，其中所述第一部分所占光束的能量的比例大于所述第二部分所占光束的能量的比例；使用多象限探测器接收从所述通光孔所透过的所述光束的所述第二部分，以产生与所述样品偏离所述椭偏量测系统的入射光束的焦面的距离有关的探测信号；以及使用处理器，以基于所述探测信号产生用于使所述样品移动至所述焦面的控制信号。
用于椭偏量测系统自动聚焦方法

[发明专利]冷原子团的非绝热转移装置及其转移方法-CN201210137801.3有效
发明人：王育竹;韩景珊;张海潮;许忻平 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2012-05-04 - 公布日： 2012-09-19 - 主分类号： G04F5/14 文献下载
摘要：一种冷原子团的非绝热转移装置及其方法，装置包括带有原子源的真空腔、两对反向亥姆霍兹线圈、偏置磁场线圈组、真空泵系统、光学系统、基于LabVIEW的线圈电流控制系统和CCD探测系统。用作转移冷原子团的磁四极阱由两对反向亥姆霍兹线圈产生，该磁四极阱中心位置的速度通过改变线圈电流来控制。本发明通过调制产生磁四极阱的线圈电流，对磁四极阱的转移速度进行调制，避免了对冷原子团的加热效应和其质心运动模式的激发，具有转移速度快，耗能小，不损伤电子器件的特点。
原子团绝热转移装置及其方法

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