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- [发明专利]一种增强型氮化镓HEMT器件及制造方法-CN202310487637.7在审
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陈孝安
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深圳智慧脑科技有限公司
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2023-04-28
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2023-08-18
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H01L21/335
- 本发明公开了一种增强型氮化镓HEMT器件制造方法,包括以下步骤:外延片的准备,在硅衬底上生长缓冲层,然后在缓冲层表面生长GAN,然后在GAN表面生长ALGAN,所述ALGAN层厚度为8nm至20nm;在ALGAN表面生长由ALN、PEOX、ALN组成的复合层,其中ALN的厚度为1nm至10nm,PEOX的厚度为10nm至200nm;栅极区域的刻蚀,采用光刻、干法刻蚀工艺,去除第一设定区域的ALN、PEOX、ALN复合层和部分ALGAN;所述去除第一设定区域的部分ALGAN,保留的ALGAN的厚度为1nm至10nm,所述第一设定区域为HEMT器件的控制栅即栅极区域,栅极区域宽度为0.3~3.0um,栅极区域在第一设定区域形成栅极开口;本发明提供的一种增强型氮化镓HEMT器件及制造方法具备预防栅极与源极之间通过PGAN侧壁产生漏电等优点。
- 一种增强氮化hemt器件制造方法
- [发明专利]一种碳化硅二极管及其制造方法-CN202310487351.9在审
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陈孝安
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深圳智慧脑科技有限公司
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2023-04-28
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2023-07-25
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H01L21/329
- 本发明公开了一种碳化硅二极管的制造方法,包括以下步骤:采用光刻、刻蚀工艺去除第三设定区域的第四氧化层,以第四氧化层为掩蔽层,采用干法刻蚀工艺在碳化硅外延层之中形成第二沟槽;所述第三设定区域位于器件的元胞区,且与上述第一设定区域完全不重合,即在元胞区的第一设定区域之外形成所述第二沟槽;去除所述第四氧化层,采用湿法腐蚀的工艺去除;生长第五氧化层,采用光刻、刻蚀工艺去除元胞区的第五氧化层;采用物理气相淀积工艺,生长金属钛,采用合金工艺使得金属钛与元胞区的碳化硅外延层表面形成肖特基势垒。本发明提供的一种碳化硅二极管及其制造方法具备提升器件的反向耐压、减小正向压降等优点。
- 一种碳化硅二极管及其制造方法
- [发明专利]曲线磨床-CN201210089143.5有效
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陈孝安
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昆山诺丹舜蒲胶辊有限公司
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2012-03-30
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2013-10-23
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B24B5/37
- 本发明公开了一种曲线磨床,包括床身、左头架、右头架、拖板和砂轮架,左右头架分别固设于床身长度方向的两侧,左右头架相对侧分别设有顶针,拖板能够沿床身长度方向滑动定位于床身上,砂轮架铰接设于拖板垂直床身长度方向的一侧,砂轮架上设有砂轮和驱动砂轮旋转的马达,所述床身沿其长度方向上固设有一弧度能够调节的弧形可调尺,拖板垂直床身长度方向的侧壁与该可调尺的弧面连接,拖板沿床身长度方向的运动轨迹与可调尺弧线保持一致,本发明通过曲线的可调尺和托板配合实现砂轮在沿工件长度方向运动的路线为曲线,确保加工出来的工件母线为与可调尺曲线一致,保证两胶辊在使用过程中无论如何偏摆都是面接触,确保其传送的稳定。
- 曲线磨床
- [发明专利]数控车床轴向可调自动定心中心架-CN201210089141.6无效
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陈孝安
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昆山诺丹舜蒲胶辊有限公司
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2012-03-30
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2013-10-23
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B23Q1/76
- 本发明公开了一种数控车床轴向可调自动定心中心架,包括拖板、连接板、第一、二、三机械爪、第一、二、三动力装置和控制开关,托板能沿车床工作台长度方向滑动设于工作台上,托板上有锁紧装置,锁紧装置能将托板与工作台固定,连接板固定于托板上,第一、二、三机械爪定位于连接板靠近工作台的一端,第一、二、三机械爪相对的侧面之间形成夹持空间,该三个相对侧面的内切圆圆心位于车床头架的轴心线上,第一、二、三动力装置能够同步带动第一、二、三机械爪沿其内切圆径向运动,控制开关能够控制第一、二、三动力装置运动,本发明通过液压缸带动第一、二、三机械爪夹紧工件,无需工人手动调节,夹紧速度快,夹持稳定,使用方便。
- 数控车床轴向可调自动定心中心
- [实用新型]曲线磨床-CN201220127254.6有效
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陈孝安
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昆山诺丹舜蒲胶辊有限公司
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2012-03-30
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2012-12-05
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B24B5/37
- 本实用新型公开了一种曲线磨床,包括床身、左头架、右头架、拖板和砂轮架,左右头架分别固设于床身长度方向的两侧,左右头架相对侧分别设有顶针,拖板能够沿床身长度方向滑动定位于床身上,砂轮架铰接设于拖板垂直床身长度方向的一侧,砂轮架上设有砂轮和驱动砂轮旋转的马达,所述床身沿其长度方向上固设有一弧度能够调节的弧形可调尺,拖板垂直床身长度方向的侧壁与该可调尺的弧面连接,拖板沿床身长度方向的运动轨迹与可调尺弧线保持一致,本实用新型通过曲线的可调尺和托板配合实现砂轮在沿工件长度方向运动的路线为曲线,确保加工出来的工件母线为与可调尺曲线一致,保证两胶辊在使用过程中无论如何偏摆都是面接触,确保其传送的稳定。
- 曲线磨床
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