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- [发明专利]涂胶显影机及涂胶方法-CN202310685462.0在审
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张建;程虎;陈兴隆
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上海芯源微企业发展有限公司
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2023-06-09
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2023-08-15
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G03F7/30
- 本发明提供了一种涂胶显影机及涂胶显影方法,包括相连接的片盒模块和工艺模块组,其中,所述片盒模块包括在竖直方向上设置的层间机械手组,所述层间机械手组用于装载晶圆在所述片盒模块和所述工艺模块组之间传输,所述工艺模块组包括在竖直方向上设置的N个加工工艺层,N为正整数,以及与所述加工工艺层数相匹配的层内机械手组和M个接口单元,M为正整数;本发明通过缩减片盒模块和工艺模块之间的层间工艺模块,从而无需在片盒模块和工艺模块之间设置双向穿墙传动系统,进而缩短了该涂胶显影机的长度,减小了占地面积,利于设备的装配和运输,同时,缩短了晶圆的传输路径,有利于产能的提升。
- 涂胶显影方法
- [发明专利]晶圆传送装置-CN202310184918.5在审
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李舒驰;吴天尧;陈兴隆;苗涛
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沈阳芯源微电子设备股份有限公司
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2023-03-01
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2023-06-27
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H01L21/677
- 本发明提供了一种晶圆传送装置,包括座体和活动设置于所述座体顶部的夹持执行部、排液部,所述排液部包括:顶部接液部,设置于所述座体顶部,并与所述夹持执行部相对;间隙接液部,围设于所述座体侧壁的至少一侧,并与所述夹持执行部的运动路径相对应;第一导液部,连通所述顶部接液部并贯穿所述座体;第二导液部,连通所述间隙接液部,贯穿所述座体并于所述第一导液部交汇。本发明提供的晶圆传送装置同时具备了主动排液和对积液检测的功能,降低了去胶液腐蚀晶圆传送装置的机率,大大提高了晶圆传送装置可靠性,从而提高晶圆传送装置的传送效率,以及提高晶圆生产的产能。
- 传送装置
- [发明专利]晶圆抓取装置及晶圆传送装置-CN202310186937.1在审
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李舒驰;吴天尧;陈兴隆;苗涛
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沈阳芯源微电子设备股份有限公司
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2023-03-01
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2023-06-23
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H01L21/687
- 本发明提供了一种晶圆抓取装置及晶圆传送装置,其中所述晶圆抓取装置包括夹持执行器,所述夹持执行器包括固定夹持部和活动夹持部;所述固定夹持部和所述活动夹持部相对设置,所述固定夹持部具有固定端部,所述活动夹持部具有活动端部,所述活动端部可沿所述固定夹持部的延伸方向移动以使所述固定端部和所述活动端部形成夹持区域用于夹持晶圆。本发明公开的实施例晶圆抓取装置通过采用固定夹持部和活动夹持部配合抓取晶圆,提高了晶圆抓取的可靠性,并且固定夹持部和活动夹持部上下间隔设置,通过活动端部沿固定夹持部的延伸方向移动的方式实际对晶圆的夹持,使夹持执行器的整体结构紧凑,避免占用空间,提高了操作的便捷性。
- 抓取装置传送
- [实用新型]应用于堆垛机上的载货台-CN202223536131.0有效
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段徽庆;陈兴隆;梁字辉
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江苏科瑞恩科技股份有限公司
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2022-12-29
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2023-06-20
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B65G1/04
- 本实用新型属于智能仓储技术领域,公开了一种应用于堆垛机上的载货台。该应用于堆垛机上的载货台包括承载座、推拉座和动力单元,推拉座设置于承载座上,由动力单元推动其伸缩;推拉座上设置有推拉机构,推拉机构包括链轮、张紧于两个链轮的链条,设置于链条侧边的拉钩,托盘的侧边设置有勾部,拉钩能够通过钩挂勾部带动托盘向货格的外侧或内侧移动。本实用新型所提供的应用于堆垛机上的载货台,采用推拉座、承载座和驱动承载座水平移动的动力单元组合使用,用拉钩将货格中的物料拉入推拉座中,或者将推拉座中的物料推入货格中,降低了物料搬运的难度,提高了堆垛机搬料的灵活性,且搬料顺畅,方便物料进出库,提高了堆垛效率。
- 应用于堆垛载货
- [发明专利]一种单向阀-CN202111500543.6在审
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陈兴隆;周体尧;俞宏伟;姬泽敏;张群;崔鹏
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中国石油天然气股份有限公司
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2021-12-09
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2023-06-13
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F16K15/06
- 本发明公开了一种单向阀,其属于油田开发用阀门技术领域,包括阀体、密封座、密封体、限位环和弹性件。阀体内设置有两端具有开口的容置腔,容置腔的两个开口分别为进气口和出气口;密封座包括密封面,密封面位于容置腔内;密封体设于容置腔内且能够沿阀体的轴线方向往复移动以使得密封体的首端与密封面抵紧或者分离,从而使得单向阀关闭或者打开,密封体的尾端设置有限位槽,限位槽与阀体同轴设置;限位环设于容置腔内且靠近出气口设置,限位环的内圈与出气口同轴设置;弹性件一端设置于限位槽内且弹性件的外侧与限位槽的内侧面抵接,另一端套设于限位环的外侧面。本发明的单向阀在关闭时的气体密封性良好。
- 一种单向阀
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