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- [发明专利]一种光照调节装置及检测系统-CN202211137099.0有效
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谷孝东;陆志娟;曹葵康;骆聪;杨鹏
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苏州天准科技股份有限公司
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2022-09-19
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2022-12-02
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G05D25/02
- 本发明涉及半导体检测技术领域,提供了一种光照调节装置及检测系统,光照调节装置包括多组感应组、位置传感器、致动器、光强检测器和调节处理器;感应组包括横杆、立杆和感应形变端;光强检测器用于检测感应形变端辐射的光强;根据感应形变端的形状变化和感应组的位置变化驱动感应组的位置;检测系统包括多波长激光模块、测量光照模块、涡旋参考模块、对焦光学模块、图像采集模块、数据处理模块、外部输出模块和光强调节模块;该光照调节装置结构简单,每组感应组独立控制,通过位置调节实现缝隙透光调整光照强度的均匀性,提高了检测系统的成像或图像采集的质量,适应于多规格晶圆或光罩的检测,便于在半导体如晶圆或光罩的检测领域推广应用。
- 一种光照调节装置检测系统
- [实用新型]一种钢材加工用导向装置-CN202020042655.6有效
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陆志娟
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陆志娟
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2020-01-09
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2020-12-29
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B65G47/24
- 本实用新型属于钢材加工领域,尤其是一种钢材加工用导向装置,针对现有传送机构大多只能进行传送,无法将凌乱摆放在其上的钢材整齐的传送至加工设备中,人工纠正费时费力的问题,现提出如下方案,其包括两个侧板,两个侧板相互靠近的一侧设有同一个输送带,两个侧板相互靠近的一侧均开设有滑孔,两个滑孔内均滑动安装有移动杆,两个移动杆相互靠近的一端均固定安装有推板,两个推板相适配,两个移动杆相互远离的一端均固定安装有连接杆,两个侧板相互靠近的一侧固定连接有同一个控制座。本实用新型结构合理,操作方便,该传送机构可以进行传送时将凌乱摆放的钢材整齐的传送至加工设备中,纠正省时省力。
- 一种钢材工用导向装置
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