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[发明专利]一种改善抗蚀剂层光刻形貌的方法-CN202310860993.9在审
发明人：谢梦婷;李钊;阳黎明;黄永彬 -专利权人：上海积塔半导体有限公司
申请日： 2023-07-13 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本申请提供一种改善抗蚀剂层光刻形貌的方法，涉及半导体技术领域。所述改善抗蚀剂层光刻形貌的方法，在CVD制程中实现以下步骤，包括：S1：通入惰性气体对待成膜表面进行吹扫；S2：通入SiH4气体，待SiH4气体流量稳定后，通入NH3气体，并开启成膜开关；S3：待膜厚达到目标膜厚的预设比例之后，停止通入NH3气体，通入氧化性气体；S4：膜厚达到目标膜厚之后，先停止通入SiH4气体，再关闭成膜开关以及停止通入氧化性气体，改善了PR底部footing严重现象，优化了PR photo后形貌，仅需改动SiN depo recipe，无需额外增加mask掩膜和步骤，既能提升生产效率，提高晶片生产良率进而提升产能，同时又能节约制造成本。
一种改善抗蚀剂层光刻形貌方法

[发明专利]一种高寿命连铸中间包干式料及其制备方法-CN202110785365.X有效
发明人： 阳黎明;刘朝阳;吴一方 -专利权人：张家港市恒乐阳方高温材料有限公司
申请日： 2021-07-12 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C04B35/043 文献下载
摘要：本发明涉及中间包干式料，更具体地，本发明涉及一种高寿命连铸中间包干式料及其制备方法。所述中间包干式料的制备原料按重量份计，包括镁砂、结合剂、结合促进剂、抗氧剂。本发明通过使用硅类结合剂和糖类结合剂共同作用，尤其是含水的偏硅酸盐和蔗糖共同作为结合剂，在避免污染，提高环境保护的同时，还促进了成型脱模的稳定，避免糊模等问题。通过使用本发明提供的镁砂、结合剂、结合促进剂、抗氧剂共同作用，可提高抗蚀性和加工性能，促进中间包使用寿命提高的同时，也有利于避免糖类结合剂残碳等带来的对钢水增碳和增钢的现象，形成的钢材表面光滑，没有孔洞等问题，可用于低碳钢等的加工。
一种寿命中间包干料及制备方法

[发明专利]一种高致密度中间包干式料及其制备方法-CN202110785389.5有效
发明人： 阳黎明;刘朝阳;吴一方 -专利权人：张家港市恒乐阳方高温材料有限公司
申请日： 2021-07-12 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C04B35/043 文献下载
摘要：本发明涉及中间包干式料，更具体地，本发明涉及一种高致密度中间包干式料及其制备方法。所述中间包干式料的制备原料按重量份计，包括：镁砂85～95份、无机烧结剂3～8份、抗氧剂3～6份。本发明通过使用硅酸钠，尤其是低模数的硅酸钠有利于减少金属卤代盐在中温条件下刺激性气味，便于连铸使用，本发明提供了一种新型中间包干式料，可形成致密、低线变化率和高强度的中间包，用于钢水连铸过程中，可减少钢渣等的侵蚀，避免对钢水的污染，提高中温连铸的时间和使用寿命。
一种致密中间包干料及制备方法

[发明专利]一种铸余渣烟气雾化降尘装置-CN202310879309.1在审
发明人： 阳黎明;郭浩东;万裕龙 -专利权人：张家港宏昌钢板有限公司;江苏沙钢集团有限公司
申请日： 2023-07-18 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： B01D47/06 文献下载
摘要：本发明涉及烟气降尘技术领域，尤其是指一种铸余渣烟气雾化降尘装置，包括收尘组件；所述收尘组件包括收尘罩和收尘管；所述收尘管的一端与收尘罩固定连接；所述收尘管上固定连接有喷淋组件；所述喷淋组件包括进水管；所述进水管的下端等间距固定连接有若干个第一支管；所述第一支管的末端固定连接有喷淋头；所述第一支管固定连接在收尘管的上端；所述喷淋组件还包括第一出水管；所述第一出水管的上端等间距固定连接有若干个第二支管；所述第二支管固定连接在收尘管的下端；通过上述连接方式，喷淋头在收尘管中使高压水形成圆形水帘，对进入收尘管内的烟气进行捕集和降尘，同时也对收尘管的内部进行冲刷，防止收尘管内部堵塞。
一种铸余渣烟气雾化降尘装置

[发明专利]一种环保型中间包干式料及其制备方法-CN202110784379.X有效
发明人： 阳黎明;刘朝阳;吴一方 -专利权人：张家港市恒乐阳方高温材料有限公司
申请日： 2021-07-12 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： C04B35/043 文献下载
摘要：本发明涉及中间包干式料，更具体地，本发明涉及一种环保型中间包干式料及其制备方法。所述中间包干式料的制备原料按重量份计，包括镁砂85～90份、糖类结合剂1～3份、酸类促进剂1～3份和金属粉末5～10份。本发明通过使用糖类结合剂，可在中间包干式料中形成三维网络结构，促进结合作用的提高，避免环境污染，且通过和硼酸作用，在中温条件下，促进和镁砂的结合，降低耐压和耐折性能的下降。且本发明通过使用金属粉末，尤其是三氧化二铁等金属粉末时，可促进连续翻包性能，提高使用寿命。
一种环保中间包干料及制备方法

[实用新型]一种用于远大SG系列柜式新风机组专用分风箱-CN202121892787.9有效
发明人：马海红;方慧颖;阳黎明 -专利权人：湖南青石机电科技有限公司
申请日： 2021-08-13 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： F24F7/04 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于远大SG系列柜式新风机组专用分风箱。包括底板与过滤组件，所述底板的上方安装有横板，所述底板的上方且位于两个所述横板的相对一侧安装有竖板，两个所述横板的顶部安装有顶板，两个所述横板的内部开设有第一通孔，两个所述竖板的内部开设有第二通孔，所述顶板与底板的内部均开设有两个第一进风口。本实用新型提供的一种用于远大SG系列柜式新风机组专用分风箱，当用户在使用时需要把格栅板插入到卡板内，使得格栅板与卡板进行连接，这时弹簧则会带着卡杆对格栅板的侧壁进行抵触配合从而使得稳定，这样可以对不同大小的格栅板进行抵触，通过设置有格栅板可以很好的对送进的风进行过滤，从而使得风更加的干净。
一种用于远大 sg 系列新风机组专用风箱

[实用新型]一种高像素大光圈广角镜头-CN202021373950.6有效
发明人：梅纪才;阳黎明 -专利权人：深圳市壹鑫光电科技有限公司
申请日： 2020-07-14 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： G02B13/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高像素大光圈广角镜头，它涉及光学成像技术领域。它包括从物方至像方依次具有负光焦度的第一透镜、具有正光焦度的第二透镜、光阑和具有正光焦度的第三透镜、具有负光焦度的第四透镜、具有正光焦度的第五透镜。所述光阑位于第二非球面透镜与第三球面透镜之间。本实用新型的高像素、大光圈广角镜头具有大视场角、大光圈，高像素，大靶面，低成本的优点。
一种像素光圈广角镜头

[实用新型]沉积腔-CN201120330082.8有效
发明人：刘祥杰;徐亮;阳黎明 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2011-09-05 - 公布日： 2012-05-30 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型的沉积腔包括腔体、设置于所述腔体内的加热台、叉、设置于所述腔体外且与所述腔体连接的第一清洗气体进气通道、以及第二清洗气体进气通道，其中，所述加热台用于承载晶圆的表面上设有沟槽，所述沟槽用于放置所述叉，所述第二清洗气体进气通道设置于所述腔体外，且与所述腔体的侧壁连接。本实用新型的沉积腔能有效清除加热台的沟槽内的聚合物颗粒，防止在晶圆正面产生表面颗粒，从而提高产品良率。
沉积

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