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[发明专利]负载腔室及其使用该负载腔室之多腔室处理系统-CN201610153803.X有效
发明人：周仁;范川;吕光泉;张孝勇;方仕彩;廉杰;门恩国 -专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
申请日： 2016-03-16 - 公布日： 2020-04-24 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明所揭露之内容为一种负载腔室，包括一腔室本体，该腔室本体包括：至少一对腔室，用于承载一或多个晶圆基板；及至少一内部管线，设置于该对腔室的两者之间并连接该对腔室，以提供该对腔室之气体回填或抽取。所述负载腔室具有多层结构，而该等多层结构之任一者包含该对腔室。所述腔室本体包含一框架，该框架具有复数个内壁，该等内壁定义该对腔室。所述腔视本体更包含复数个盖板，该等盖板以可拆卸的方式结合至该框架，并且该等盖板与该框架的内壁定义出该对腔室。
负载及其使用之多处理系统

[发明专利]用于半导体设备内的晶圆缓存装置-CN201410286996.7有效
发明人：张爽;王继周;门恩国 -专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
申请日： 2014-06-24 - 公布日： 2017-11-28 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明属于半导体行业晶圆处理领域，具体地说是一种用于半导体设备内的晶圆缓存装置，包括第一晶圆盒、第二晶圆盒、第一气缸、第二气缸及底板，其中第一气缸及第二气缸分别安装在底板上，所述第一晶圆盒与第二晶圆盒分别连接于第一气缸及第二气缸的输出端，并分别由所述第一气缸及第二气缸驱动、交替移动至所述机械手取送晶圆的工位，即所述第一晶圆盒或第二晶圆盒移动至所述机械手取送晶圆的工位，所述第二晶圆盒或第一晶圆盒位于空位。本发明结构简单，使用方便，多个晶圆盒通过直线导轨，提供机械手同一工位取送晶圆的功能，能够减轻机械手的负担，减少机械手因工位较多而运动时间增加的弊端，缩短了工艺所需时间，提高了工作效率。
用于半导体设备缓存装置

[发明专利]一种自动清除半导体生产过程中废液排放管路堵塞的装置-CN201410240506.X有效
发明人： 门恩国;王继周 -专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
申请日： 2014-05-30 - 公布日： 2017-09-22 - 主分类号： B08B9/032 文献下载
摘要：本发明涉及半导体生产过程中废液的排放设备，具体地说是一种自动清除半导体生产过程中废液排放管路堵塞的装置，包括废液收集箱、清洗液供给泵、清洗液控制阀、清洗液槽、废液排放箱、排液控制阀、废液收集槽及清洗废液收集槽，废液收集箱的一个入口依次与清洗液供给泵、清洗液控制阀、清洗液槽连通，另一个入口处设有可开关的废液收集箱密封挡板，废液收集箱的出口通过废液排放管与废液排放箱的入口相连通；废液排放箱的一个出口处设有可开关的废液排放箱密封挡板，另一个出口与排液控制阀连通，清洗液槽内的清洗液由清洗废液收集槽收集，废液由废液收集槽收集。本发明可自动清洗废液排放管路，防止管路堵塞，无需将管路拆除进行清洗，节省工作时间。
一种自动清除废液排放管路堵塞装置

[发明专利]一种真空腔体盖板的开合机构-CN201510685620.8在审
发明人： 门恩国;杜广宇 -专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
申请日： 2015-10-21 - 公布日： 2017-05-03 - 主分类号： H01J37/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种真空腔体盖板的开合机构，该机构包括撑杆、铰链座、杠杆约束杆a、杠杆约束杆b、杠杆销轴、杠杆、盖板连接件、气体弹簧、盖板和把手。所述杠杆一端通过杠杆销轴连接在铰链座的长条孔位置，杠杆销轴可沿长条孔中心线方向移动；杠杆约束处通过杠杆约束杆a、杠杆约束杆b及销轴与铰链座连接；气体弹簧两端分别通过销轴与铰链座和杠杆连接；盖板通过盖板连接件与杠杆连接。所述机构可实现盖板在一定角度的开启和关闭，在盖板关闭有真空吸附盖板时，所述机构可补偿盖板由真空力作用发生的位移，在盖板打开过程中，气体弹簧可提供部分开启盖板所需的开启力，可减轻劳动强度。
一种空腔盖板机构

[发明专利]一种腔体进气流速调节装置-CN201510712212.7在审
发明人： 门恩国 -专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
申请日： 2015-10-27 - 公布日： 2017-05-03 - 主分类号： F16K17/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种进气流速调节装置，具体是在一种半导体制造中，可随腔体进气流量的变化而改变进气速度的调节装置。该装置可调节进气流速，可使进气速度随着进气量增加而减小。该装置包括气缸进气管、压力调节阀、小孔挡片、气缸、活塞、弹簧、活塞杆、连杆、阀体、阀片杆、阀片及进气管，分别组成气缸执行部分和阀体部分。进气量的增加可改变活塞位移，活塞杆通过连杆、阀片杆使阀片转动，阀片的转动可调节进气的流动速度。当腔体内气体排放或被抽出，腔体内气压稳定后，活塞及阀片可回到初始位置。所述装置可使腔体进气速度变化平缓，使进气量容易控制，进气过程时间缩短，提高设备产能。
一种腔体进气流速调节装置

[发明专利]一种机械手碰撞保护装置-CN201310437065.8有效
发明人： 门恩国;王继周 -专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
申请日： 2013-09-22 - 公布日： 2015-03-25 - 主分类号： B25J13/08 文献下载
摘要：本发明涉及半导体制造过程中搬运晶圆的机械手，具体地说是一种机械手碰撞保护装置，包括手指部分、检测装置及安装在所述机械手手臂上的手臂连接板，手指部分通过弹簧夹片与手臂连接板夹持连接，受到外力碰撞的手指部分可相对所述手臂连接板移动；在所述手指部分及手臂连接板上安装有检测手指部分与手臂连接板相对移动的检测装置。本发明在机械手与其他物体发生碰撞时，通过传感器检测手指连接板与手臂连接板之间的相对移动，控制机械手紧急停止运动，可以对机械手和与机械碰撞的物体起到保护作用，减少碰撞造成的损失；在机械手手指发生碰撞后，不需更换零部件，拆下弹簧夹片，经调整定位片与定位孔之间的位置后，机械手可恢复正常使用状态。
一种机械手碰撞保护装置

[发明专利]一种半导体制造设备的自动移动装置-CN201210460563.X有效
发明人：王继周;门恩国;胡延兵;张爽 -专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
申请日： 2012-11-14 - 公布日： 2014-05-21 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明属于半导体行业晶圆涂胶显影生产领域，具体地说是一种半导体制造设备的自动移动装置，可用于TRACK与光刻机相连接的接口单元，固定架安装在基础上，在固定架上设有通过伺服电机驱动的传动装置，滑动底座位于固定架的上方，滑动底座的一端与传动装置相连，另一端设有凸圆台；伺服电机安装在固定架的一端，固定架的另一端设有与凸圆台相对应的凹圆台，滑动座前轮通过连杆安装在滑动底座上、随滑动度座移动，在滑动底座与连杆之间铰接有调节滑动座前轮高度的螺旋顶杆。本发明可自动控制接口单元的移出及复位处理，有效提高作业精度，节约作业时间，降低人为因素造成设备破损风险。
一种半导体制造设备自动移动装置

[发明专利]保持接口单元内部洁净度装置-CN201210425780.5在审
发明人：王继周;张爽;胡延兵;门恩国 -专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
申请日： 2012-10-30 - 公布日： 2014-05-14 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明属于半导体行业晶圆涂胶显影生产领域，具体地说是一种保持接口单元内部洁净度装置。所述装置设置于与TRACK及光刻机连接的接口单元两侧开口部处，包括遮蔽挡板和与其连接的驱动装置，所述遮蔽挡板通过驱动装置驱动关闭或打开接口单元与TRACK及光刻机相连接的开口部。所述驱动装置设置于接口单元的框架的内壁上。所述遮蔽挡板与接口单元的开口部框架内壁结合处设置密封装置。本发明有效地解决接口单元两侧开口部直接暴露于生产环境中而导致内部洁净度下降，大幅提升实际生产的效率。
保持接口单元内部洁净装置

[发明专利]一种前开式晶片盒-CN201210380149.8无效
发明人：张爽;王继周;门恩国 -专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
申请日： 2012-10-09 - 公布日： 2014-04-09 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明涉及半导体制造设备中的晶片盒，具体地说是一种可自动防止晶片在设备移动过程中滑出的前开式晶片盒，包括片盒体、带电磁阀的回转气缸及挡杆，其中片盒体为半开放式结构，片盒体内设有多个容置晶片的插槽；所述回转气缸安装在片盒体上，挡杆与回转气缸的输出端相连，通过该回转气缸带动回转、阻挡晶片滑出。本发明结构简单，使用方便，满足安全、无污染的存储和运输晶片的要求，而且可以自动地实现在设备移动过程中防止晶片滑出，无需打开设备的门，保证了设备内的洁净度。
一种前开式晶片

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