“长友涉”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果6个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]图案匹配装置、图案测定系统、图案匹配程序-CN202080101855.7在审
发明人：李良;长友涉;安部雄一 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2020-07-09 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： H01J37/22 文献下载
摘要：本公开提出一种图案匹配装置，特别是即使在包含重复图案的半导体图案中，也能够实现将具有学习功能作为特征的匹配处理。本公开的图案匹配装置具备学习器，该学习器推定具有表示第一图像与第二图像之间的相关性的数值作为像素值的第一相关图像，所述图案匹配装置计算具有表示从所述第一图像生成的派生图像与所述第一图像之间的相关性的数值作为像素值的第二相关图像，所述学习器以减小所述第一相关图像与所述第二相关图像之间的差分的方式进行学习(参照图1)。
图案匹配装置测定系统程序

[发明专利]扫描型电子显微镜装置以及使用它的摄影方法-CN201210135364.1有效
发明人：宫本敦;长友涉;松冈良一;诸熊秀俊 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2007-02-08 - 公布日： 2012-10-31 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：本发明为扫描型电子显微镜装置以及使用它的摄影方法，在使用SEM用于摄影试样的摄影方案的自动生成中，会有以下情况：（1）当需要检查的地方增多时，摄影方案的生成需要庞大的劳力和时间；（2）生成的摄影方案的正确性、以及生成时间成为问题；（3）由于制作时不能预想的现象，通过制作好的摄影方案的摄影或者处理失败。在本发明中，做成：（1）从CAD数据自动计算用于进行观察的摄影点的个数、坐标、尺寸·形状、摄影顺序、摄影位置变更方法、摄影条件、摄影顺序的一部分或者全部。（2）能够任意设定为生成摄影方案的输入信息、输出信息的组合。（3）伴随对于任意的摄影点中的摄影或者处理的成功与否判定，在判定为失败的场合进行变更摄影点或者摄影顺序来使摄影或者处理成功的救援处理。
扫描电子显微镜装置以及使用摄影方法

[发明专利]扫描型电子显微镜装置以及使用它的摄影方法-CN201210135414.6有效
发明人：宫本敦;长友涉;松冈良一;诸熊秀俊 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2007-02-08 - 公布日： 2012-10-31 - 主分类号： G01N23/225 文献下载
摘要：本发明为扫描型电子显微镜装置以及使用它的摄影方法，在使用SEM用于摄影试样的摄影方案的自动生成中，会有以下情况：（1）当需要检查的地方增多时，摄影方案的生成需要庞大的劳力和时间；（2）生成的摄影方案的正确性、以及生成时间成为问题；（3）由于制作时不能预想的现象，通过制作好的摄影方案的摄影或者处理失败。在本发明中，做成：（1）从CAD数据自动计算用于进行观察的摄影点的个数、坐标、尺寸·形状、摄影顺序、摄影位置变更方法、摄影条件、摄影顺序的一部分或者全部。（2）能够任意设定为生成摄影方案的输入信息、输出信息的组合。（3）伴随对于任意的摄影点中的摄影或者处理的成功与否判定，在判定为失败的场合进行变更摄影点或者摄影顺序来使摄影或者处理成功的救援处理。
扫描电子显微镜装置以及使用摄影方法

[发明专利]扫描型电子显微镜装置以及使用它的摄影方法-CN201210135356.7有效
发明人：宫本敦;长友涉;松冈良一;诸熊秀俊 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2007-02-08 - 公布日： 2012-10-31 - 主分类号： G01N23/225 文献下载
摘要：本发明为扫描型电子显微镜装置以及使用它的摄影方法，在使用SEM用于摄影试样的摄影方案的自动生成中，会有以下情况：（1）当需要检查的地方增多时，摄影方案的生成需要庞大的劳力和时间；（2）生成的摄影方案的正确性、以及生成时间成为问题；（3）由于制作时不能预想的现象，通过制作好的摄影方案的摄影或者处理失败。在本发明中，做成：（1）从CAD数据自动计算用于进行观察的摄影点的个数、坐标、尺寸·形状、摄影顺序、摄影位置变更方法、摄影条件、摄影顺序的一部分或者全部。（2）能够任意设定为生成摄影方案的输入信息、输出信息的组合。（3）伴随对于任意的摄影点中的摄影或者处理的成功与否判定，在判定为失败的场合进行变更摄影点或者摄影顺序来使摄影或者处理成功的救援处理。
扫描电子显微镜装置以及使用摄影方法

[发明专利]扫描型电子显微镜装置以及使用它的摄影方法-CN201210134252.4有效
发明人：宫本敦;长友涉;松冈良一;诸熊秀俊 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2007-02-08 - 公布日： 2012-09-19 - 主分类号： G01N23/225 文献下载
摘要：本发明涉及扫描型电子显微镜装置以及使用它的摄影方法。在使用SEM用于摄影试样的摄影方案的自动生成中，会有以下情况：(1)当需要检查的地方增多时，摄影方案的生成需要庞大的劳力和时间；(2)生成的摄影方案的正确性、以及生成时间成为问题；(3)由于制作时不能预想的现象，通过制作好的摄影方案的摄影或者处理失败。在本发明中，做成：(1)从CAD数据自动计算用于进行观察的摄影点的个数、坐标、尺寸·形状、摄影顺序、摄影位置变更方法、摄影条件、摄影顺序的一部分或者全部。(2)能够任意设定为生成摄影方案的输入信息、输出信息的组合。(3)伴随对于任意的摄影点中的摄影或者处理的成功与否判定，在判定为失败的场合进行变更摄影点或者摄影顺序来使摄影或者处理成功的救援处理。
扫描电子显微镜装置以及使用摄影方法

[发明专利]半导体图形形状评价装置及形状评价方法-CN200610144417.0无效
发明人： 长友涉;宫本敦;松冈良一 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2006-11-07 - 公布日： 2007-05-30 - 主分类号： G06F17/50 文献下载
摘要：本发明，做成为了：在使用了测长SEM的半导体图形的形状评价装置中，不需要传统上所必需的与半导体制造的各工序相配的数据变换，并统一管理保有数据，这样，就能够容易从保有数据中选择利用于各工序的有效数据，另外，即使在形成图形的形状存在时间变动的情况下，也可以根据时间序列数据进行拍摄方案的修正，能够生成可稳定计测的拍摄方案，在使用测长SEM的半导体图形的形状评价装置中，为了统一管理被存储在数据库301内的多种数据，使多种数据间的坐标系相对应并任意选择多种数据的一部分或全部，再用选择出来的数据生成测长SEM中用来观察半导体图形的拍摄方案。
半导体图形形状评价装置方法