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[发明专利]外延晶圆的制造方法-CN202180088195.8在审
发明人： 铃木克佳 -专利权人：信越半导体株式会社
申请日： 2021-12-06 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： C30B25/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种外延晶圆的制造方法，是在单晶硅晶圆上形成单晶硅层的外延晶圆的制造方法，包含以下工序：通过氢氟酸将所述单晶硅晶圆表面的自然氧化膜去除；在已去除所述自然氧化膜的所述单晶硅晶圆的表面形成氧原子层；以及在形成有所述氧原子层的所述单晶硅晶圆的表面上使所述单晶硅层外延生长，其中，使所述氧原子层的氧的平面浓度为1×1015atoms/cm2以下。由此，提供一种能够将氧原子层稳定且简便地导入至外延层，且具有优质的单晶硅外延层的外延晶圆的制造方法。
外延制造方法

[发明专利]半导体装置的制造方法及半导体装置的评价方法-CN201780046457.8有效
发明人：大槻刚;中杉直;竹野博;铃木克佳 -专利权人：信越半导体株式会社
申请日： 2017-07-03 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H01L21/265 文献下载
摘要：本发明是一种半导体装置的制造方法，其特征在于，在半导体硅基板上形成Fin结构部，并向该Fin结构部进行了离子注入后，在半导体硅基板进行恢复热处理，使Fin结构部的硅再结晶化，以使在形成的Fin结构部的侧壁不出现半导体硅的{111}面的端面的方式对Fin结构部进行加工。由此，提供一种半导体装置的制造方法，其在向Fin结构部进行离子注入并进行恢复热处理时，能够防止向Fin结构部引入缺陷。
半导体装置制造方法评价

[发明专利]装置形成方法-CN201780062555.0有效
发明人： 铃木克佳 -专利权人：信越半导体株式会社
申请日： 2017-09-15 - 公布日： 2023-02-21 - 主分类号： H01L21/265 文献下载
摘要：本发明为一种装置形成方法，于单晶硅基板离子注入掺杂物而形成扩散层，并通过激光退火活化扩散层，其中在作为该单晶硅基板而使用该扩散层形成区域的氧浓度未满5ppma的情况下，于通过激光退火活化扩散层之前，进行将该扩散层形成区域的氧浓度予以控制在5ppma以上的步骤。如此一来可提供一种装置形成方法，即便是在扩散层形成区域的氧浓度低的情况下，也能简便地通过激光退火提升掺杂物的活化程度。
装置形成方法

[发明专利]外延片的制造方法及外延片-CN202080092094.3在审
发明人： 铃木克佳;铃木温 -专利权人：信越半导体株式会社
申请日： 2020-11-24 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： H01L21/205 文献下载
摘要：本发明提供一种外延片的制造方法，其为在由包含硅的IV族元素构成的晶圆上形成单晶硅层的外延片的制造方法，其包括：在含氢气氛下，去除所述由包含硅的IV族元素构成的晶圆表面的自然氧化膜的工序；在去除所述自然氧化膜之后，使所述晶圆氧化，从而形成氧原子层的工序；及在形成所述氧原子层之后，使单晶硅在所述晶圆表面进行外延生长的工序，并且在该制造方法中，将所述氧原子层的氧的平面浓度设为4×1014原子/cm2以下。由此，可提供一种能将氧原子层稳定且简便地导入至外延层，并具有优质单晶硅的外延层的外延片的制造方法。
外延制造方法

[发明专利]半导体器件的形成方法-CN202010186554.0在审
发明人： 铃木克佳 -专利权人：信越半导体株式会社
申请日： 2020-03-17 - 公布日： 2020-09-25 - 主分类号： H01L21/265 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种便利性良好，防止离子注入缺陷残留的半导体器件的形成方法。本发明为了达成上述目的而完成，提供一种半导体器件的形成方法，其至少具有在硅基板表面进行碳或含碳分子的离子注入A的工序、与进行掺杂剂的离子注入B的工序，并包含对进行所述离子注入A及所述离子注入B后的所述硅基板进行热处理B，减少所述硅基板的所述掺杂剂的离子注入残留缺陷的工序。
半导体器件形成方法

[发明专利]硅晶圆的制造方法-CN201680006293.1有效
发明人： 铃木克佳;竹野博;江原幸治 -专利权人：信越半导体株式会社
申请日： 2016-01-07 - 公布日： 2020-08-21 - 主分类号： H01L21/322 文献下载
摘要：本发明提供一种硅晶圆的制造方法，透过施加热处理于一被处理硅晶圆，而制造于表层具有无缺陷区域的硅晶圆，制造方法包含：步骤A，透过自上方加热被处理硅晶圆的第一热源，而仅对被处理硅晶圆的上侧的表层以1300℃以上且硅的熔点以下的温度，进行0.01msec以上且100msec以下的第一急速热处理；以及步骤B，透过加热被处理硅晶圆的第二热源所进行的第二急速热处理，而对被处理硅晶圆以1100℃以上且不超过1300℃的温度维持1秒以上且100秒以下，并以30℃/sec以上且150℃/sec以下的降温速度降温。由此，能够于块体能够形成高密度的BMD，TDDB特性良好的单晶硅晶圆。
硅晶圆制造方法

[发明专利]外延片的制造方法-CN201880034863.7在审
发明人：大槻刚;水泽康;铃木克佳;石崎顺也 -专利权人：信越半导体株式会社
申请日： 2018-05-25 - 公布日： 2020-01-10 - 主分类号： H01L21/205 文献下载
摘要：本发明为一种外延片的制造方法，其在硅基板上形成外延层，其具有在所述外延层中形成原子层的工序，所述原子层由选自氧、碳、氮、锗、锡、硼及磷组成的组中的一种元素的原子形成，且厚度为5nm以下，使用SiH
外延层原子层外延片硅基板制造

[发明专利]热辐射光源以及太阳能发电装置-CN201480013123.7有效
发明人：野田進;芝原达哉;M·德佐萨;浅野卓;北野圭辅;铃木克佳;井上卓也;石崎贤司 -专利权人：国立研究开发法人科学技术振兴机构
申请日： 2014-02-28 - 公布日： 2017-09-22 - 主分类号： H02S10/30 文献下载
摘要：本发明提供一种材料的选择余地比以往更大、由此能够容易地得到具有目标的峰值波长的光的热辐射光源。热辐射光源(10)具备热－光转换器，该热－光转换器具有在由本征半导体形成的构件(11)上以同波长比与该本征半导体的带隙相对应的波长短的光共振的方式形成有折射率分布的光学结构。在从外部向热－光转换器供给热时，由于本征半导体的带间吸收而产生在比截止波长短的波段中具有光谱的发光，该波段中的、在光学结构中共振的共振波长(λr)的光被选择性地加强，作为热辐射光而发光。在本发明中，采用材料的选择余地较大的本征半导体，因此能够容易地得到产生具有目标的峰值波长的窄频带的光的热辐射光源。
热辐射光源

[发明专利]监测装置-CN201310727438.5无效
发明人：小林尚史;铃木克佳;奥野伸也;井上博满 -专利权人：日本光电工业株式会社;井上博满
申请日： 2013-12-25 - 公布日： 2014-07-02 - 主分类号： A61B5/00 文献下载
摘要：一种监测装置，包括：存储部，其配置成储存用于识别自身装置与另一个监测装置的识别信息；以及通知部，其配置成将所述识别信息连同指示监测对象满足预定条件的通知信息一起输出。
监测装置

[发明专利]医院内报知系统-CN201310093844.0在审
发明人：小林尚史;山森伸二;铃木克佳;奥野伸也 -专利权人：日本光电工业株式会社
申请日： 2013-03-22 - 公布日： 2013-10-23 - 主分类号： G08B25/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种医院内报知系统，其能够防止发出不必要的护士呼叫。该医院内报知系统包括：医疗设备（11），其具备：发出警报的警报发生功能、将已发出的警报解除的警报解除功能以及向母机发送已发出的警报的发送功能；母机（12），其接收已发出的警报，向子机发送接收到的警报；以及子机（13-1～13-n），其报知被发送的警报，其特征在于，该医院内报知系统具有控制是否将已发出的警报向子机或母机发送的报知控制机构（24）。
医院报知系统

[发明专利]细胞培养箱和培养状态监测系统-CN201210039631.5无效
发明人：大浦光宏;冈野光夫;清水达也;久保宽嗣;铃木克佳;武田朴 -专利权人：日本光电工业株式会社;学校法人东京女子医科大学
申请日： 2012-02-20 - 公布日： 2012-08-22 - 主分类号： C12M3/00 文献下载
摘要：一种细胞培养箱包括：培养细胞容纳部，其容纳要培养的细胞和培养液；以及RFID标签，其装接于培养细胞容纳部，并且该RFID标签构造成响应于从通信设备无线地发送来的信号的接收向通信设备发送预定的信息。
细胞培养培养状态监测系统

[发明专利]血压测量装置-CN201110235947.7有效
发明人：臼田孝史;菊地启阳;平原英昭;小林直树;铃木克佳 -专利权人：日本光电工业株式会社
申请日： 2011-08-16 - 公布日： 2012-03-14 - 主分类号： A61B5/022 文献下载
摘要：一种血压测量装置，其测量活体的血压，该血压测量装置包括：袖带压力控制单元，其控制按压活体的一部分的袖带的袖带压力；振荡信号检测单元，其从袖带压力检测振荡信号；血压指定单元，其从振荡信号指定心脏收缩血压和心脏舒张血压作为活体的血压；以及血压判定单元，其判定心脏收缩血压和心脏舒张血压是否适当。所述袖带压力控制单元控制袖带压力被升高至第一设定值。当袖带压力被升高至第一设定值时所述血压指定单元基于由所述振荡信号检测单元所检测到的振荡信号的变化来指定心脏收缩血压和心脏舒张血压，并且当所述血压判定单元判定心脏收缩血压和心脏舒张血压两者都为适当时，袖带压力控制单元终止袖带压力的升高并且释放袖带压力。
血压测量装置

[发明专利]用于回放记录介质的方法-CN200310121321.9无效
发明人： 铃木克佳;织田洋 -专利权人：宾得株式会社
申请日： 2003-12-11 - 公布日： 2004-06-30 - 主分类号： G11B20/10 文献下载
摘要：在一种用于回放存储至少一个序列的被分割成多个段落的音频信息的记录介质的方法中，当每一个段落的回放被完成的时候，存储在特定区域的指示音频信息如警报音，静音等被再现，以用于通知用户每一个段落的结尾。当指示音频信息的再现完成以后，下一个段落被回放。通过这种回放方法，可使用户可靠的执行重复操作和/或音频转换操作，同时减少用于通知用户每一个段落的结尾所使用的信息/数据的大小。
用于回放记录介质方法

[发明专利]下载系统和下载设备-CN200310117226.1无效
发明人：中山利宏;铃木克佳;中村真太郎 -专利权人：宾得株式会社
申请日： 2003-12-08 - 公布日： 2004-06-23 - 主分类号： G06F17/30 文献下载
摘要：一种下载系统，包括存储多个内容数据的内容服务器，通过预定网络与内容服务器交换数据的下载设备，下载设备能下载多个内容数据的所需的一个内容数据，可拆卸地连接到下载设备的终端设备，终端设备能从下载设备接收多个内容数据的所需的一个内容数据；以及存储表示由终端设备的用户预订的一个内容数据的预订信息的数据库服务器，数据库服务器能与内容服务器交换数据，通过这一结构，当终端设备连接到下载设备时，内容服务器传送对应于预订信息的内容数据，下载设备将从内容服务器接收的内容数据传送到终端设备。
下载系统设备

[发明专利]成象系统-CN98116369.6无效
发明人：铃木実;织田洋;斋藤裕行;铃木克佳;古泽宏一 -专利权人：旭光学工业株式会社
申请日： 1998-07-24 - 公布日： 1999-08-04 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：在成象系统中,使用了具有纸张和微囊层涂敷于纸张上的成象基片。微囊层包含至少一种填充墨水的微囊。每一微囊壳壁由呈现出温度/压力特性的树脂形成,使得每一微囊在被加热到预定温度时在预定的压力下被压碎,从而使染料从壳壁中排出。具有辊式模板和热能头的打印机在这种基片上形成图象。热能头根据图象信息数据有选择地对由模板加压的微囊层的局部区域加热达一定温度,使得微囊层中的微囊有选择地压碎,并在微囊层上成象。
成象系统

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