专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种基于清洗机溢流槽纯水的有机槽降温冷却装置-CN202220789571.8有效
  • 吕伟;蒋亚东;钱如平;陈磊;马成鸿;徐占勤 - 江苏新顺微电子股份有限公司
  • 2022-04-07 - 2022-09-20 - B08B3/04
  • 本实用新型涉及一种基于清洗机溢流槽纯水的有机槽降温冷却装置,属于半导体技术领域。所述清洗机包括从前往后依次布置的清洗槽、有机槽单元、溢流槽和快排冲洗槽,所述有机槽单元包括多个间隔布置的有机槽,所述溢流槽设于末个有机槽后侧;任一所述有机槽分别包括有机槽外壳,所述有机槽外壳内设有有机槽内壳,所述有机槽内壳内腔设有有机化剂,所述有机槽外壳内壁与有机槽内壳外壁之间留有间隙,形成冷却腔,所述溢流槽内溢流的纯水经引流单元从后往前逐级引至各个冷却腔,对多个有机槽内的有机化剂进行降温。本申请将溢流槽溢流出的纯水从后往前逐级引流至各个有机槽的冷却腔内,对各个有机槽内的有机化剂进行降温,进而控制有机化剂的温度。
  • 一种基于清洗溢流纯水有机降温冷却装置
  • [实用新型]一种适用于非标准尺寸硅片的清洗片架-CN202120204344.X有效
  • 吕伟;陈磊;钱如平 - 江苏新顺微电子股份有限公司
  • 2021-01-26 - 2021-11-05 - B08B13/00
  • 本实用新型涉及一种适用于非标准尺寸硅片的清洗片架,属于半导体清洗技术领域。包括片架本体,所述片架本体设于自动清洗机的标准片架内,所述片架本体与标准片架内腔相匹配,所述片架本体表面开设用于放置非标硅片的置物单元,且所述置物单元上下贯通。所述置物单元分别包括若干均匀间隔设置的卡槽,且相邻所述卡槽之间的间距与标准片架上的置物槽相匹配,所述卡槽的大小与非标硅片相匹配。所述置物单元设有多个,多个所述置物单元并列布置。所述片架本体为特氟龙材质制成件。本申请放于现有自动清洗机的标准片架内,标准片架对片架本体起到支撑作用,使得片架本体卡槽中的非标准尺寸的硅片在自动清洗机内自动清洗,省时省力。
  • 一种适用于非标准尺寸硅片清洗
  • [实用新型]一种水电阻率探头的安装结构-CN202020275546.9有效
  • 吕伟;钱如平;蒋亚东;周晓 - 江阴新顺微电子有限公司
  • 2020-03-09 - 2020-09-22 - H01L21/67
  • 本实用新型涉及一种水电阻率探头的安装结构,属于集成电路或分立器件芯片制造技术领域。包括U型连接接头,所述U型连接接头两接口朝上设置且分别设于QDR外槽出水口下方,所述U型连接接头一接口与QDR外槽出水口通过连接管连接,所述U型连接接头另一接口与水电阻率探头接头连接,所述水电阻率探头接头内设置水电阻率探头。所述连接管、U型连接接头和水电阻率探头接头分别为PVC材质制成件。本申请增加了水流过水电阻率探头时的流速,提高了水电阻率探头测试反应快速和准确性;能够对晶圆化学清洗后的冲水效果进行实时的监控,防止有冲水不彻底、化学试剂残留等导致对芯片质量的影响。
  • 一种水电探头安装结构

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