专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]切削方法-CN201110204238.2有效
  • 佐佐木翔平;三浦靖博;金子武司 - 株式会社迪思科
  • 2011-07-20 - 2012-02-08 - H01L21/78
  • 一种切削方法,具有:事先登记步骤,登记被加工物上的键图案、从该键图案到最近的分割预定线的第1距离、该分割预定线之间的分度量;切削步骤,在对该切削刀进行该分度量的分度进给之后,使该切削刀和被加工物相对加工进给,从而沿着该多个分割预定线切削被加工物;检测步骤,在该切削步骤的中途,以规定的定时检测进行切削形成的切削槽,并检测离该切削槽最近的键图案,将从该键图案到该切削槽的距离检测为第2距离;校正分度量计算步骤,计算以抵消该偏差量的方式校正了该分度量的校正分度量;以及校正切削步骤,将该切削刀分度移动该校正分度量,切削该分割预定线,在实施了该校正切削步骤之后,再次实施该切削步骤。
  • 切削方法

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