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本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]基板处理装置和基板处理方法-CN201810476146.1在审
发明人：方炳善;郑富荣;崔重奉;金奉主;李映一;宋吉勋;朴贵秀;金光烈;李广燮;柳镇泽 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2018-05-17 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： H01L21/311 文献下载
摘要：公开了一种基板处理装置和基板处理方法。基板处理方法包括通过向基板照射激光来去除一部分薄膜，并且在去除一部分薄膜之后，通过向基板供应化学品来去除剩余部分的薄膜。
基板处理去除薄膜基板处理装置基板供应化学品基板照射激光

[发明专利]基板处理设备和方法-CN201510284646.1有效
发明人： 金奉主;李昇浩;崔龙贤;姜秉万 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2015-05-28 - 公布日： 2018-03-13 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明构思提供一种用于处理基板的设备。所述设备包括壳体，所述壳体在其内具有处理空间；支撑单元，所述支撑单元在所述处理空间中支撑所述基板；喷嘴单元，所述喷嘴单元将溶液排放到由所述支撑单元支撑的所述基板上；以及溶液供应单元，所述溶液供应单元将所述溶液供应至所述喷嘴单元。所述溶液供应单元包括溶液供应管线，所述溶液供应管线连接至所述喷嘴单元；加热构件，所述加热构件安装在所述溶液供应管线上以加热所述溶液；以及回收管线，所述回收管线在设置于所述加热构件下游的第一点处从所述溶液供应管线分出。
处理设备方法

[发明专利]基板处理装置和供给处理溶液的方法-CN201310157005.0有效
发明人：姜丙喆;金奉主;姜秉万;秋永浩 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2013-04-28 - 公布日： 2013-10-30 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及基板处理装置和供给处理溶液的方法。本发明提供了一种基板处理装置。该装置包括：处理腔室，其容纳基板并利用处理溶液处理基板；和供给单元，其为所述处理腔室供给处理溶液。供给单元包括：供给管路，处理溶液通过供给管路供给；初步加热器，其被安装在供给管路中并初步加热处理溶液；主加热器，其被安装在初步加热器下游处的供给管路上并二次加热处理溶液；第一绕行管路，其连接至供给管路以绕行至初步加热器并包括第一阀门；第二绕行管路，其连接至供给管路以绕行至初步加热器和主加热器或者绕行至主加热器并包括第二阀门；以及控制器，其控制第一阀门和第二阀门。
处理装置供给溶液方法

[发明专利]基板夹持部件、具有该部件的基板加工装置及方法-CN200910224192.3有效
发明人： 金奉主;李泽烨 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2009-11-26 - 公布日： 2010-06-16 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：一种具有基板支撑部件和旋转调节单元的基板夹持部件。该支撑部件包括用以装载基板的可旋转支撑板，以及位于该支撑板上的夹持销，所述夹持销通过从基板的侧面将基板的边缘支撑起来，而将基板从支撑板的顶面间隔开。每一个夹持销都是可旋转的以转动支撑在夹持销上的基板。旋转调节单元位于支撑板下方，用来调节夹持销的旋转。在加工过程中，由于基板通过夹持销而被旋转以改变与夹持销相接触的基板的点迹，从而使加工液在与夹持销相撞之后而落入基板的位置可以被连续地改变。因此，可避免在加工基板时，在基板的端部产生缺陷。
夹持部件具有加工装置方法

[发明专利]基材支撑单元以及使用它的基材处理设备和方法-CN200710199078.0有效
发明人：李泽烨;金奉主 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2007-12-12 - 公布日： 2008-07-02 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：在处理中，基材支撑单元向基材供应涡流以使基材旋转并从夹板上漂浮。在使基材旋转并漂浮时进行处理。因此，当基材以无接触方式从夹板漂浮时支撑并旋转该基材。
基材支撑单元以及使用处理设备方法

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