专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]工件搬运装置-CN202310309912.6在审
  • 金城裕介 - 株式会社东京精密
  • 2023-03-27 - 2023-10-17 - H01L21/677
  • 本发明提供即使是具有翘曲的工件也无需与工件的形成器件的面的整体接触而能够可靠地使工件吸附于工作台而进行交接的工件搬运装置。工件搬运装置(10)具备:搬运臂;工件吸附部(54),其设置于搬运臂;以及橡胶构件(60),其是设置于搬运臂的环状的橡胶构件(60)且具有锥形面,该锥形面能够与被工件吸附部(54)保持的工件(W)的外缘部的整体抵接,并且趋向工件(W)被工件吸附部(54)保持的一侧而扩径。
  • 工件搬运装置
  • [发明专利]边缘修整装置-CN202310280841.1在审
  • 金城裕介 - 株式会社东京精密
  • 2023-03-21 - 2023-09-26 - B28D5/02
  • 本发明提供能够抑制晶片的背面的污垢的边缘修整装置。边缘修整装置(10)具备使用刀片(56)对被保持于第一工作台(100)的晶片(W)进行边缘修整的加工部(14)、以及对被保持于第二工作台(200)且旋转的晶片(W)供给清洗用的流体以进行清洗的清洗部(16)。第一工作台(100)沿着晶片(W)的背面的外周呈环状进行接触并保持晶片(W)。第二工作台(200)在比第一工作台(100)靠内侧的区域与晶片(W)的背面接触并保持晶片(W)。
  • 边缘修整装置

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