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[发明专利]准分子激光退火装置用基板支撑模块-CN201710080337.1有效
发明人：沈亨基;李基雄;金戊一;金利镐 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2017-02-15 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及准分子激光退火装置用基板支撑模块，本发明为准分子激光退火装置用基板支撑模块，上述准分子激光退火装置用基板支撑模块包括：工作台，用于放置基板；支架，以向上下方向贯通上述工作台的方式设置，用于将基板装载于工作台上或从工作台上卸载基板；以及升降驱动部，用于使上述支架升降，上述准分子激光退火装置用基板支撑模块的特征在于，上述工作台被划分为规定区域，各个区域形成相互独立的真空吸入区域，上述真空吸入区域从上述工作台的中央部分开始依次进行真空吸入，从而从上述基板的中心部开始依次与上述工作台相接触。
准分子激光退火装置用基板支撑模块

[发明专利]对接导向装置-CN201210560640.9有效
发明人：金圣进;金利镐;安珍荣;金廷奎 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2012-12-20 - 公布日： 2013-06-26 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本申请提供了一种对接导向装置。所述对接导向装置包括：底部框架单元；可移动单元，所述可移动单元可移动地安装在所述底部框架单元上；以及联接单元，所述联接单元放置在所述可移动单元上并且被联接到导向模块。对接导向装置可以调节导向模块的位置，使得导向模块被配置在光学模块附近，从而改善光学模块和导向模块的组装效率。
对接导向装置

[发明专利]N-甲基吡咯烷酮的制备方法-CN200880121682.4有效
发明人：吴仁喆;金昌国;李大容;金利镐;金俊秀;金洙贤;黄瓒九;鲁明熏;郑珍洙 -专利权人：梨树化学株式会社
申请日： 2008-10-01 - 公布日： 2010-12-01 - 主分类号： C07D207/267 文献下载
摘要：本发明涉及N-甲基吡咯烷酮的制备方法，更具体地涉及高纯度、高产率N-甲基吡咯烷酮的制备方法，包括第一步在氢气气氛下和金属氧化物固体催化剂存在下将1，4-丁二醇脱氢以制备γ-丁内酯，和第二步在金属氧化剂固体催化剂下将第一步获得的未经纯化的γ-丁内酯引入与单甲胺的脱水反应。根据本发明，N-甲基吡咯烷酮的制备方法是使用金属氧化物催化剂的连续两步法，其中第二步连续进行而无需纯化第一步的反应产物γ-丁内酯。根据本发明，反应后无反应中间产物γ-丁内酯剩余，因此易于分离和纯化，所述中间产物γ-丁内酯因其沸点与终产物N-甲基吡咯烷酮差异很小(约2℃)而难以分离。此外，其简单的方法能够进行大规模制造并降低纯化设备成本。
甲基吡咯烷酮制备方法