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[发明专利]半导体基板的处理装置-CN201710164618.5在审
发明人：吕维伦;郭光扬;陈皇宇;王建竣;白玉磐 -专利权人：茂迪股份有限公司
申请日： 2017-03-20 - 公布日： 2018-10-02 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：一种半导体基板的处理装置。此处理装置包含腔体、运送装置、光源以及空气循环装置。腔体具有沿第一方向延伸的第一侧壁及第二侧壁。运送装置配置以于腔体中沿第一方向传送待处理的多个半导体基板。光源设于腔体内，且配置以对通过腔体的半导体基板进行照光加热处理。空气循环装置用于使腔体内的气体大致由第一侧壁往第二侧壁流动。第一侧壁包含第一区域及第二区域，其中第一区域较第二区域更接近运送装置，且第一区域的开口面积比率小于第二区域的开口面积比率。藉此，可在避免半导体基板飞片的情况下，提高风量来有效改善腔体内的温度分布均匀度。
半导体基板腔体处理装置第二区域第一侧壁第一区域运送装置开口面积比率空气循环装置第二侧壁体内光源温度分布均匀方向传送方向延伸加热处理飞片风量配置照光流动

[发明专利]处理装置-CN201610230911.2在审
发明人：陈皇宇;郭光扬;吕维伦 -专利权人：茂迪股份有限公司
申请日： 2016-04-14 - 公布日： 2017-07-25 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种处理装置，其包含多个电池运输通道、多个高发热光源以及多个低发热光源。电池运输通道彼此相邻排列，其中每一电池运输通道包含运输装置，且这些运输装置配置以运输多个半导体太阳能电池。高发热光源与低发热光源沿运输装置的运输方向以一交错方式排列于电池运输通道的上方，用以对半导体太阳能电池进行照光加热处理。高发热光源与低发热光源所发出的光包含可见光与红外光，可见光的总和占红外光与可见光的总和的比例为50％至90％。通过交错排列高发热光源与低发热光源，可在提供半导体太阳能电池足够照度的情况下，有效降低处理装置的腔室内的温度，而可大幅降低处理装置的腔室散热的难度，并可减少散热成本，更可提升腔室温度的均匀度。
处理装置

[发明专利]处理装置-CN201510099262.2在审
发明人：陈皇宇;郭光扬;王建竣 -专利权人：茂迪股份有限公司
申请日： 2015-03-06 - 公布日： 2016-03-02 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种处理装置，适用以对多个半导体太阳能电池进行照光加热处理，且包含第一电池运输通道、第二电池运输通道以及多个加热光源。第二电池运输通道邻设于第一电池运输通道。第一电池运输通道与第二电池运输通道均包含运输装置及二反射隔板。运输装置适用以运输半导体太阳能电池。二反射隔板分别沿着运输装置的相对二侧设置，以使每一第一电池运输通道与第二电池运输通道的剖面形状呈类U字型。加热光源设于第一电池运输通道与第二电池运输通道的上方。处理装置可在不影响半导体太阳能电池的效率下，快速消除其缺陷，以降低光致衰减现象。
处理装置