专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]液体捕集罐和用于捕集液体的方法-CN202310043502.1在审
  • 赵妿罗;高定奭;朴在训;张镐镇;李正悦;徐庚进;郑雨信 - 细美事有限公司
  • 2023-01-29 - 2023-10-17 - B01D19/00
  • 本发明涉及一种液体捕集罐和用于捕集液体的方法,所述液体捕集罐可以包括:罐体,配置为具有形成在所述罐体中的能够容纳液体的容纳空间,具有形成在所述罐体的一部分中的流入单元并且具有形成在所述罐体的另一部分中的排出单元;第一容纳部分,形成在所述罐体内部并且配置为初次且暂时地容纳所述液体使得气泡从通过所述流入单元引入的所述液体中被分离;以及第二容纳部分,形成在所述罐体内部并且配置为第二次且暂时地容纳从所述第一容纳部分移动的所述液体或者通过所述排出单元将移动的所述液体排出到外部。
  • 液体捕集罐用于方法
  • [发明专利]泵、用于供应化学液体的设备及用于处理基板的设备-CN202310286292.9在审
  • 孙永俊;郑雨信;李㥥滥;崔炳斗;郑星哲 - 细美事有限公司
  • 2023-03-21 - 2023-10-17 - F04B49/08
  • 本公开提供了泵、用于供应化学液体的设备及用于处理基板的设备。所述泵包括:管,具有弹性,并且具有化学液体通过其流动的流动路径;以及壳体,具有内部空间,内部空间分隔成气体被供应或排出的至少两个腔室,其中,至少两个腔室覆盖管的外周。利用泵、用于供应化学液体的设备及用于处理基板的设备,通过向壳体中的分隔腔室中供应气体或从壳体中的分隔腔室排出气体的操作,通过在腔室之间的内部压力之间不产生干扰的情况下独立地向管的每个相应外周施加或释放压力,可以确保泵的有效泵送操作,并且可以实现对液体的排出压力的精确控制。
  • 用于供应化学液体设备处理
  • [发明专利]对光致抗蚀剂加压的装置和供应光致抗蚀剂的系统-CN202211546294.9在审
  • 金海京;金大成;郑雨信 - 细美事有限公司
  • 2022-12-02 - 2023-07-11 - H01L21/67
  • 本发明提供一种对光致抗蚀剂加压的加压装置。在实施例中,所述加压装置包括:壳体,该壳体包括限定内部空间的壁表面;膜,所述膜将所述内部空间分成第一空间和第二空间;第一入口,所述第一入口与所述第一空间连通;第二出口,所述第二出口与所述第一空间连通;以及加压气体入口,所述加压气体入口与所述第二空间连通,并且在所述壳体中,所述内部空间的横截面具有第一方向的较大宽度和垂直于所述第一方向的第二方向的较小宽度,并且所述内部空间在所述第二方向上的宽度包括从第一侧朝向第二侧变窄的区段,所述第一侧为在所述第一方向上的一侧,所述第二侧为不同于所述第一侧的另一侧。
  • 对光致抗蚀剂加压装置供应光致抗蚀剂系统
  • [发明专利]液体捕集罐和用于液体捕集罐的液体供应单元-CN202211608192.5在审
  • 郑雨信;崔荣;金大成;金海京;朴岽云 - 细美事有限公司
  • 2022-12-14 - 2023-07-04 - H01L21/67
  • 提供一种液体捕集罐和一种用于所述液体捕集罐的液体供应单元。所述液体捕集罐包括:罐体,具有形成在所述罐体中的容纳空间以容纳液体并且具有形成在一侧上的入口部分和形成在相对侧上的出口部分;和液体供应单元,耦接到所述罐体的所述入口部分以将所述液体从所述罐体的外部供应到所述容纳空间,其中,所述液体供应单元包括:入口管道部分,耦接到所述入口部分以将所述液体引入到所述容纳空间中;和导流部分,连接到所述入口管道部分并且配置为诱导所述液体的流动,以抑制由于穿过所述入口管道部分的所述液体的下落而导致的气泡的生成。
  • 液体捕集罐用于供应单元
  • [发明专利]喷嘴装置以及用于处理基板的装置和方法-CN202010632152.9有效
  • 吴昌石;郑雨信;姜云圭 - 细美事有限公司
  • 2020-07-02 - 2023-05-30 - B05B7/06
  • 本发明涉及喷嘴装置、用于处理基板的装置和方法。提供一种用于对基板执行液体处理的装置。用于对所述基板执行所述液体处理的所述装置可以包括:壳体,其具有处理空间;基板支承单元,其在所述处理空间中支承和旋转所述基板;液体供给单元,其包括喷嘴设备,所述喷嘴设备包括中心排放口和多个第一外部排放口,所述多个第一外部排放口设置成环形以与所述中心排放口形成同心圆,从而通过各自的排放口将相互不同的处理液供给到所述基板上;以及控制器,其控制所述液体供给单元。
  • 喷嘴装置以及用于处理方法

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