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[发明专利]电浆调节组件与感应耦合电浆蚀刻设备-CN202010008918.6在审
发明人：林俊成;王俊富;郑立易;沈佑德;郑耀璿 -专利权人：天虹科技股份有限公司
申请日： 2020-01-06 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本案揭露一种电浆调节组件与感应耦合电浆蚀刻设备。感应耦合电浆蚀刻设备包括电浆调节组件、供电装置与反应腔体，其中电浆调节组件包括介电板与线圈，且更包括分流组件。当位于介电板一侧的线圈通电产生电磁感应时，介电板的另一侧可产生电浆以对基材进行蚀刻。当线圈受到调整使线圈的内圈与外圈彼此远离或靠近，与/或分流组件连接于线圈使通入线圈的电流受到分流时，可使电磁感应的强弱受到调节，进而调节电浆密度以此调节基材受到蚀刻时的蚀刻均匀度。
调节组件感应耦合蚀刻设备

[发明专利]在轻负载条件下测量交流电压信号的方法和设备-CN201410018493.1有效
发明人： 郑立易;许祥平 -专利权人：弗莱克斯电子有限责任公司
申请日： 2014-01-09 - 公布日： 2018-07-27 - 主分类号： G06F17/00 文献下载
摘要：本发明提出一种在轻负载条件下测量交流电压信号的方法和设备。观察得出整流AC电压信号的峰值电压值每个周期大致相同。使用该观察，测量AC电压的方法可用来确定轻负载条件下的更为精确的RMS电压值。该方法包括对AC电压信号进行整流以形成整流信号，对整流信号进行采样以获得一组针对AC电压信号的每半个周期的采样值，搜索针对每半个周期的采样值以确定针对每半个周期的局部最小值，搜索局部最小值后的采样值以确定针对每半个周期的局部最大值，以及从每半个周期内的局部最大值计算均方根值，从而确定AC电压信号的每半个周期的均方根值。
负载条件下测量交流电压信号方法设备