专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种二维PIN结红外光电探测器、探测器阵列及制备方法-CN202111331892.X有效
  • 邱孝鑫;张岱南;张有禄;李晨光 - 电子科技大学
  • 2021-11-11 - 2023-04-04 - H01L31/0288
  • 本发明的目的在于提供一种二维PIN结红外光电探测器、探测器阵列及其制备方法,属于光电探测器技术领域。本发明红外光电探测器阵列单元采用分子束外延方法制备,在制备过程中原位生长形成非对称二维薄膜PIN浅结结构,其中,P层采用射频磁控溅射方式对中性GeSn掺B进行改性,I层采用双源双控方法生长GeSn,N层采用高温原位掺杂方法对Ge薄膜进行掺杂处理后得到;同时设计相互垂直且等距排布的行导线和列导线,使阵列单元设置于行导线和列导线分割的空间内,再完成阵列单元与行导线和列导线的连接,即可得到光电探测阵列。本发明红外探测阵列可实现任意尺寸,且单个阵列单元的短路不会影响周围探测器的性能。
  • 一种二维pin红外光电探测器阵列制备方法

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