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[发明专利]在平坦导电表面上形成氧化物层-CN201180074078.2无效
发明人：利奥尼德·鲍里索维奇·鲁宾;亚历山大·谢尔盖耶维奇·奥西波夫;埃琳娜·博里索夫娜·内布尔奇洛瓦 -专利权人： 透明金属有限公司
申请日： 2011-09-08 - 公布日： 2014-09-10 - 主分类号： H01L21/306 文献下载
摘要：本发明提供了一种在平坦导电表面上电化学地形成氧化物层的方法和装置，该方法包括将带有平坦导电表面的工作电极与对电极的平坦导电表面以相对平行间隔开的关系进行定位，使得工作电极的平坦导电表面与对电极的平坦导电表面大致相对、水平定向，并且限定在工作电极的平坦导电表面与对电极的平坦导电表面之间的空间。包含用于在工作电极的平坦导电表面上形成氧化物层的化学品的一定体积的有机电解质溶液被布置成溢满对电极表面的平坦导电表面并且占据在工作电极的平坦导电表面与对电极的平坦导电表面之间限定的空间，使得对电极的至少平坦导电表面接触有机电解质溶液，并且工作电极的基本上仅平坦导电表面接触有机电解质溶液。电流在有机电解质溶液中在对电极的基本上仅平坦导电表面与工作电极的基本上仅平坦导电表面之间流动一段时间并且所述电流流动的时间和量足以使得化学品在工作电极的平坦导电表面上形成氧化物层。
平坦导电表面上形成氧化物

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