专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]研磨用浆料-CN200580011569.7无效
  • 进藤清孝;江藤彰纪;石塚友和 - 三井化学株式会社
  • 2005-04-28 - 2007-04-04 - H01L21/304
  • 本发明提供了显著抑制划伤(scratch)或碟陷(dishing)、侵蚀(erosion)发生的研磨用浆料。所述研磨用浆料为含有有机粒子(A)、氧化剂、络合剂的研磨用浆料,所述有机粒子(A)为,表面含有能够与被研磨金属反应的官能团的有机粒子(B)的表面一部分被不含有能够与被研磨金属反应的官能团的树脂(C)被覆的物质。有机粒子(B)优选为含有共聚物的有机粒子,其中,所述共聚物是聚合具有下述组成的单体组合物而得到的共聚物:以全部单体的重量为基数,含有1~50重量%的从含有羧酸基的单体、含有羟基的单体、含有氨基的单体、含有乙酰乙酰氧基的单体和含有缩水甘油基的单体中选出的1种或2种以上的单体,以及99~50重量%的其它单体。
  • 研磨浆料

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