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[其他]薄膜器件-CN201690001386.0有效
发明人：芦峰智行;进藤智;竹岛裕 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2016-12-01 - 公布日： 2018-12-14 - 主分类号： H01G4/33 文献下载
摘要：本实用新型涉及薄膜器件。在绝缘基板与薄膜缓冲层之间形成扩散层，防止薄膜缓冲层的剥离。薄膜器件(1)具备：绝缘基板(2)；薄膜电容器(5)，隔着层叠于该绝缘基板的一个主面上的薄膜缓冲层(4)而设置于绝缘基板；绝缘保护层(6)，层叠于绝缘基板的一个主面以覆盖薄膜电容器；从薄膜电容器引出的引出电极(7a及7b)；外部电极(8a及8b)；以及表面覆盖层(9)，覆盖薄膜器件的表面。在绝缘基板与薄膜缓冲层之间形成有扩散层(3)。另外，外部电极与薄膜电容器经由引出电极电连接。扩散层是在绝缘基板的表面的SiO₂氧化膜与薄膜缓冲层之间SiO₂氧化膜和薄膜缓冲层的构成元素中的至少一种元素分别扩散而形成的非晶层。
绝缘基板薄膜缓冲层薄膜电容器薄膜器件扩散层覆盖薄膜外部电极引出电极氧化膜电容器本实用新型表面覆盖层绝缘保护层构成元素电连接非晶层主面剥离扩散

[其他]薄膜器件-CN201690000755.4有效
发明人：芦峰智行;进藤智;竹岛裕 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2016-03-23 - 公布日： 2018-07-03 - 主分类号： H01L21/822 文献下载
摘要：本实用新型的目的在于提供防止由于树脂层膨胀产生的应力而薄膜电阻元件破损且可靠性高的薄膜器件。在电阻薄膜(12)中的俯视时与第一金属薄膜(15a～15c)重叠的部分，由第一金属薄膜(15a～15c)将电阻薄膜(12)压向基板(1)，所以能够缓和由于在高温状态下树脂层(3)膨胀而施加给薄膜电阻元件(R1、R2)的弯曲应力等，由于在电阻薄膜(12)中的俯视时不与第一金属薄膜(15a～15c)重叠的部分形成有第一加强用薄膜(12a)，所以能够防止由于树脂层(3)膨胀产生的应力等而薄膜电阻元件(R1、R2)破损，能够得到可靠性高的带薄膜电阻元件(R1、R2)的薄膜器件(100)。
薄膜电阻元件薄膜器件电阻薄膜金属薄膜树脂层膨胀俯视破损本实用新型高温状态弯曲应力下树脂层基板压向薄膜施加缓和

[其他]复合电子部件-CN201590000246.7有效
发明人： 进藤智;竹岛裕 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2015-08-03 - 公布日： 2017-02-15 - 主分类号： H01G4/33 文献下载
摘要：本实用新型提供具备薄膜电容器与薄膜电路元件且可减小作用于薄膜电容器的应力的复合电子部件。复合电子部件(1)具备在一方主面形成有薄膜(3)的绝缘基板(2)；覆盖薄膜电容器(3)地层叠的绝缘保护层(4)；形成于绝缘保护层(4)并与薄膜电容器(3)连接的第1引出配线(7a)；层叠于绝缘保护层(4)的第1树脂层部(5a)；设置于第1树脂层部(5a)的第1、第2薄膜电阻(9a、9b)；形成为沿厚度方向贯通第1树脂层部(5a)并使第1引出配线(7a)可见的第3贯通孔(6c)；形成于第1树脂层部(5a)，且经由第2贯通孔(6c)与第1引出配线(7a)连接的第1再配线(8a)；层叠于第1树脂层部(5a)的第2树脂层部(5b)，在第3贯通孔(6c)内填充第2树脂层部(5b)的树脂，第3贯通孔(6c)形成于俯视观察相对于薄膜电容器(3)偏移的位置。
复合电子部件

[发明专利]层叠型压电致动器以及压电振动装置-CN201180046820.9有效
发明人： 进藤智 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2011-10-24 - 公布日： 2013-06-12 - 主分类号： H01L41/083 文献下载
摘要：本发明提供一种层叠型压电致动器及压电振动装置，即便使作为最外层的陶瓷层的不活泼层的厚度变薄从而提高了位移量，也难以产生陶瓷烧结体的破坏。层叠型压电致动器(1)在由压电陶瓷构成的陶瓷烧结体(2)内，第1内部电极(3a～3d)和第2内部电极(4a～4d)隔着陶瓷层而对置，夹在第1内部电极(3a～3d)与第2内部电极(4a～4d)之间的陶瓷层作为活性层，在层叠了活性层的部分的上方配置第1不活泼层(2g)，在下方配置第2不活泼层(2f)，作为不活泼层的陶瓷层(2f、2g)的厚度比作为活性层的陶瓷层(2e)的厚度薄，并且在陶瓷烧结体2的层叠方向上俯视时，内部电极形成为隔着不活泼层不与连接于不同的电位的第1、第2外部电极(5、6)重叠。
层叠压电致动器以及振动装置

[发明专利]压电振动装置-CN201180048646.1有效
发明人：宇波俊彦;进藤智;森田亘;加贺山健司;堀川胜弘 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2011-10-24 - 公布日： 2013-06-12 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明提供一种压电振动装置，难以产生电连接部分处的压电元件、支承构件等的由应力集中产生的破坏，可靠性优异。压电振动装置(1)在支承构件(2)的压电元件接合面(2a)接合了压电元件(7)，压电元件(7)具有形成在第1主面(8a)的第1驱动电极(9)、和形成在第2主面(8b)的第2驱动电极(10)，通过第1接合件层(5)，第1驱动电极(9)与形成在支承构件(2)的压电元件接合面(2a)的第1布线电极(3)电连接，并且压电元件(7)接合于支承构件(2)。
压电振动装置

[发明专利]层叠型压电致动器-CN200980113728.2有效
发明人：葛西重治;进藤智;林宏一;森本靖弘 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2009-04-15 - 公布日： 2011-03-30 - 主分类号： H01L41/083 文献下载
摘要：本发明旨在获得一种不容易因应力而导致外部电极的一部分发生断裂、即使发生断裂也不容易因裂纹的蔓延而导致损坏的、可靠性优异的层叠型压电致动器。在层叠有多个内部电极及多个压电体层的层叠型压电体(2)的外表面形成有外部电极(9)，外部电极(9)包括基底电极(10)、以及形成于基底电极(10)上的应力吸收用电极构件(11)，应力吸收用电极构件(11)包括在受到外力时发生弹性形变的弹性结构部(11a)、以及固定于基底电极(10)上的固定部(11b、11c)，固定部(11b、11c)具有平行于内部电极(6～8)的边缘部分(6a～8a)而延伸的形状，并且该固定部(11b～11g)的宽度方向尺寸为不到沿层叠方向相邻的内部电极。
层叠压电致动器

[发明专利]层叠型压电致动器-CN200980110596.8无效
发明人：葛西重治;进藤智;林宏一 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2009-03-31 - 公布日： 2011-02-16 - 主分类号： H01L41/083 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种层叠型压电致动器，该层叠型压电致动器不容易因应力而发生外部电极的断裂，且引线等供电端子不容易从外部电极脱落。在层叠有多个内部电极及多个压电体层的层叠型压电体(2)的外表面形成有外部电极(9)，外部电极(9)包括基底电极(10)、和形成于基底电极(10)上的应力吸收用外部电极材料(11)，应力吸收用外部电极材料11包括可进行弹性形变的弹性结构部(11a)、和与弹性结构部(11a)相连并至少具有能够与引线等供电端子相接合的足够面积的平面部。
层叠压电致动器

[发明专利]厚膜电极和多层陶瓷电子器件-CN200480039014.9有效
发明人：高冈秀清;进藤智;野田悟;浜田邦彦 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2004-12-24 - 公布日： 2007-01-17 - 主分类号： H01L41/083 文献下载
摘要：本发明涉及一种具有厚膜电极作为外电极的多层陶瓷电子器件，如多层压电器件。根据本发明的一种多层陶瓷器件包括安置在压电陶瓷体1上的外电极3b，所述压电陶瓷体1含有内电极2d和2e。外电极3b由烧结体形成，其中Ag栅格6整个嵌埋在主要由Ag组成的涂膜5中。因此，可以获得具有满意性能的多层陶瓷器件，例如耐久性和耐湿性，即使长期进行连续操作或者将电极长期放置时，也不导致电连接变差和导电性的下降。
电极多层陶瓷电子器件

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