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- [实用新型]一种带有清洁机构的干法刻蚀设备-CN202223403152.5有效
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李光林;车钟男
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无锡天酬半导体设备有限公司
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2022-12-19
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2023-10-13
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B08B7/00
- 本实用新型公开了一种带有清洁机构的干法刻蚀设备，涉及刻蚀设备技术领域，包括机体和清洁机构，所述仓门的内侧设有内仓，所述内仓的内侧设有清洁机构。本实用新型的有益效果是：一种带有清洁机构的干法刻蚀设备，通过设置清洁机构，储瓶仓内的液氧瓶通过输液管将内部的液氧由分液管输入刀制压器内部，喷氧器下的伸缩管向下伸缩，然后使用液氧喷头将氧气喷洒到刻蚀台上，氧气把光刻胶燃烧掉，光刻胶的基本成分是碳氢有机物，在射频或微波作用下，氧气电离成氧原子并与光刻胶发生化学反应，生成一氧化碳，二氧化碳和水等，然后储水箱通过输水管将水通过水雾喷头喷洒到刻蚀台上，水汇聚到流水槽内，吹风器通过风仓对内仓进行风干处理。
- 一种带有清洁机构刻蚀设备
- [实用新型]一种用于干法刻蚀的硅片夹具-CN202223402220.6有效
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李光林;车钟男
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无锡天酬半导体设备有限公司
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2022-12-19
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2023-09-29
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H01L21/687
- 本实用新型提供一种用于干法刻蚀的硅片夹具，包括装置主体和夹持机构。该用于干法刻蚀的硅片夹具，通过底箱、转轴、箱盖、底板、侧板、伸缩弹簧、第一夹板、软垫、连接架、旋转轴、第一转杆、连接轴、第二转杆以及第二夹板的设置，在对硅片进行夹紧时，将所需进行刻蚀反应的硅片放置到第一夹板的内侧，根据硅片的大小，先由旋转轴向外旋转控制基本宽度，再由第一转杆连接轴和第二转杆的配合控制前方的第二夹板将硅片夹紧固定，然后将两侧的第一夹板通过伸缩弹簧的可伸缩性将硅片进行另一个方向的夹紧固定，内侧的软垫可以对硅片受到的两侧压力进行缓冲，固定好后，通过转轴将箱盖旋转至与底箱闭合，在内部产生反应，从而完成了对硅片的夹紧作用。
- 一种用于刻蚀硅片夹具
- [实用新型]一种光蚀刻设备的控制设备-CN202123022765.X有效
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李光林;车钟男
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无锡天酬半导体设备有限公司
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2021-12-03
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2022-09-13
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H05K5/02
- 本实用新型公开了一种光蚀刻设备的控制设备，其技术方案要点是：包括控制主机、外壳、底座，底座上方固定设置有外壳，底座的内部固定设置有支撑台，支撑台的转孔与双向螺纹杆转动连接，双向螺纹杆的两段螺纹上分别滑动连接有滑块，“匚”型板的内侧上下方开设有滑槽，推板的上、下方固定设置有滑轮，托板上设置有控制主机，外壳的后部固定设置有防尘网、清洁组件；本实用新型解决了控制设备在使用时，不具备保护的性能，特别是在狭小的空间中，控制设备容易碰撞受损的问题和控制设备在使用时，光蚀刻设备对材料进行加工处理时，产生较多的灰尘，而控制设备的滤网需要经常清洁，增加工作人员的工作量的问题。
- 一种蚀刻设备控制
- [实用新型]一种并行式涂胶显影设备-CN202220051496.5有效
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李光林;车钟男
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无锡天酬半导体设备有限公司
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2022-01-10
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2022-08-26
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G03F7/38
- 本实用新型公开了一种并行式涂胶显影设备，其技术方案要点是：包括传输机构，沿传输机构的传输方向依次设有机械手和烘干箱，传输机构穿过烘干箱，传输机构包括并行设置的第一传输带和第二传输带，第一传输带和第二传输带分别由独立的动力机构控制；机械手设置在传输机构的两侧，烘干箱的外侧壁固定设有鼓风机和加热箱，烘干箱的内壁朝向传输机构的方向固定设有出风装置，鼓风机、加热箱和出风装置之间通过风管连通，出风装置朝向传输机构的面设有多个出风槽，出风槽上设有多个出风孔，多个出风槽沿传输机构的传输方向在出风装置上平行分布。本实用新型为并行机构且对产品能够进行均匀烘干。
- 一种并行涂胶显影设备
- [实用新型]一种涂胶显影设备的结构-CN202220080989.1有效
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李光林;车钟男
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无锡天酬半导体设备有限公司
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2022-01-10
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2022-08-26
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G03F7/26
- 本实用新型公开了一种涂胶显影设备的结构，其技术方案要点是：包括涂胶腔室和安装在所述涂胶腔室内部的托盘和冷却盘，所述托盘固定连接在转轴的顶端，所述冷却盘的中间开设有通孔，所述转轴穿过所述通孔，所述冷却盘设于所述托盘的下方，所述冷却盘的底端固定设置有支撑臂，所述支撑臂的另一端与伺服电机传动连接；所述涂胶腔室于所述托盘的上方设有出风装置，所述出风装置的内部于进风口处设有风扇，所述出风装置的出风口设有格栅，所述出风装置通过输风管与空气冷却器和鼓风机依次相连。本实用新型采用风冷和冷却盘双重冷却方式，冷却效果更好。
- 一种涂胶显影设备结构
- [实用新型]一种线路板精确蚀刻设备-CN202122935755.9有效
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李光林;车钟男
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无锡天酬半导体设备有限公司
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2021-11-26
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2022-07-05
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C23F1/08
- 本实用新型本实用新型涉及线路板，尤其是一种线路板精确蚀刻设备，其技术方案要点是：包括设备本体，所述设备本体的侧壁上固定设置有液压伸缩缸，所述液压伸缩缸的输出端固定设置有清洁组件，所述液压伸缩缸的轴线水平设置；所述清洁组件的下端面以及上端面设置有清洁毛刷；所述清洁组件纵向设置；所述设备本体的上端面固定设置有真空泵，所述真空泵的输出端固定连接有第一气管，所述第一气管的另一端固定连接有第二气管，所述第二气管的另一端固定连接在所述清洁组件上，所述第二气管为弹簧软管，本实用新型结构简单，可以快速、高效率的将蚀刻掉的材料移除出设备内部。
- 一种线路板精确蚀刻设备
- [实用新型]一种电子元器件蚀刻设备-CN202123022762.6有效
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李光林;车钟男
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无锡天酬半导体设备有限公司
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2021-12-03
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2022-06-21
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C23F1/08
- 本实用新型公开了一种电子元器件蚀刻设备，其技术方案要点是：包括本体，本体的内部设置容纳区，容纳区的内部转动设置有第一转轴和第二转轴，第一转轴和第二转轴沿容纳区的中部对称设置，第一转轴上固定设置有多个第一混合机构，第二转轴上固定设置有多个第二混合机构，第一混合机构包括第一固定杆、固定环和料斗，第一固定杆固定设置在第一转轴上，固定环固定设置在第一固定杆远离第一转轴的一端，料斗固定设置在固定环的外侧，相邻的料斗之间的距离均相等，相邻的第一混合机构之间的距离均相等，第一转轴和第二转轴通过驱动机构驱动，本实用新型在使用时，荣纳区内的蚀刻液浓度较为均匀。
- 一种电子元器件蚀刻设备
- [实用新型]一种涂胶显影设备的喷嘴结构-CN202123022763.0有效
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李光林;车钟男
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无锡天酬半导体设备有限公司
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2021-12-03
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2022-06-21
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B05B1/00
- 本实用新型公开了一种涂胶显影设备的喷嘴结构，其技术方案要点是：包括喷嘴主体、适配头，喷嘴主体的前侧上可拆卸设置有适配头，适配头的前端上开设有喷料口，物料腔、导料腔中设置有封闭针，喷嘴主体的上方开设进料腔，进料腔的上方可拆卸设置有物料导件，物料腔上固定设置有限位块，限位块置于推块、挡板之间，推块的后侧固定设置有螺纹杆，螺纹杆的外侧上套设有弹簧，喷嘴主体的后侧上固定设置有调节件，螺纹杆后方的齿纹与调节件内部的齿纹相互啮合；本实用新型解决了喷嘴的结构单一，喷嘴只是单一的开设导槽，不便于对涂胶显影物料进行调节控制的问题和喷嘴停止使用时，喷嘴中残留的液体容易渗漏的问题。
- 一种涂胶显影设备喷嘴结构
- [实用新型]贴合在小便池槽底的卫靶-CN200820057965.4无效
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车钟男
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车钟男
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2008-04-30
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2009-01-28
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E03D13/00
- 本实用新型涉及一种贴合在小便池槽底的卫靶。其特征是：其有一层PVC薄片基体，在基体的下表面贴有不干胶，在其上表面覆涂一层变色涂料，在变色涂料层上再覆盖一层特氟隆膜。与现有技术相比，本实用新型结构简单，制作容易，表层的特氟隆膜具有抗酸碱性、不粘性、抗菌性、不会在其表面产生尿石，变色涂料会因尿液的温度而变换颜色，时而露出基体的各种图案，诱导小便者本能地瞄准卫靶，从而达到减少异味的效果。
- 贴合小便池
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