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本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]激光设备、激光处理装备以及激光设备的污染防止方法-CN201710614877.3有效
发明人：李基雄;金圣进;车恩熙;金炳秀 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2017-07-25 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： B23K26/14 文献下载
摘要：本发明提供一种激光设备、激光处理装备以及激光设备的污染防止方法，激光设备包含具有内部空间的壳体、用于通过激光辐照所述壳体的内部的激光单元、安装在所述壳体中以便将吹扫气体供应到所述壳体中的气体供应单元、以及具备安装在所述壳体中以便测量所述壳体内部多个位置处的氧浓度的主要氧浓度测量装置的测量单元。本发明可通过精确调节激光设备内部的吹扫气体的量来防止所述激光设备内部的透镜或反射镜的污染。
激光设备激光处理装备以及污染防止方法

[发明专利]热处理设备-CN201410564435.9有效
发明人：严泰骏;车恩熙;崔东奎;朴宰显 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2014-10-21 - 公布日： 2018-09-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：提供一种热处理设备，其包含：工艺腔室，其中具有衬底处理空间；平台，其安置在工艺腔室中以允许将衬底放置在其上，平台在工艺进行方向上水平地转移；光源，其安置在工艺腔室外部以输出光，光源经配置以将光照射到装载到工艺腔室中的衬底上；以及气体注射模块，其安置在工艺腔室内的平台上方，气体注射模块具有内部空间，从光源发出的光和惰性气体穿过内部空间并且被引导到衬底上。气体注射模块包括从气体注射模块的下部的两个端部中的一个端部向内延伸的第一导管，第一导管安置在平台的转移方向上，第一导管的一个端部安置在第一导管的另一端部的外部，并且将第一导管的一个端部连接到另一端部的延伸线路的内径小于第一导管的一个端部的内径。
热处理设备

[发明专利]光照射设备-CN201410831829.6在审
发明人：沈亨基;白圣焕;金圣进;车恩熙 -专利权人： AP系统股份有限公司;三星显示有限公司
申请日： 2014-12-26 - 公布日： 2015-07-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种用于将光照射到衬底上以处理所述衬底的光照射设备。所述光照射设备包含透射窗，光透射穿过所述透射窗；收集器，设置在透射窗上方并且向上倾斜到透射窗的外部，收集器使在从所述衬底反射之后透射穿过透射窗的反射光偏移；以及冷却块，在冷却块中制冷剂在其中循环，冷却块设置在收集器中以冷却所述收集器。因此，根据实施例，因为收集器设置在透射窗上方并向上倾斜到透射窗的外部，并且在收集器的底表面上形成了突出部，所以可抑制或最小化反射光的漫反射。并且，收集器可将反射光朝所述透射窗的外部引导以防止从衬底S反射的反射光再入射到透射窗中。因此，可抑制由所述透射窗的温度失衡和温度升高造成的不均和光移位的产生。
照射设备

[发明专利]基底传送设备和基底加工设备-CN201310572302.1有效
发明人：沈亨基;金贤中;安珍荣;车恩熙 -专利权人： AP系统股份有限公司;三星显示有限公司
申请日： 2013-11-13 - 公布日： 2014-05-21 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种基底传送设备以及一种基底加工设备，且更确切地说，涉及一种基底加工设备，其中当基底进行加工时，通过传送基底而使薄膜结晶于基底上。基底传送设备包含：通过空气轴承滑动的传送台；以及围绕空气轴承的吸收器，用来吸收从空气轴承喷射出之后折回的空气。
基底传送设备加工

[发明专利]衬底支撑模块-CN201310560032.2有效
发明人：金贤中;李基雄;金圣进;车恩熙 -专利权人： AP系统股份有限公司;三星显示有限公司
申请日： 2013-11-12 - 公布日： 2014-05-21 - 主分类号： C30B1/02 文献下载
摘要：本发明提供一种衬底支撑模块，包括：平台，用于在上面安放衬底；支撑物，经安装从而使得支撑物的至少一部分垂直地穿过平台，并且支撑物经配置以通过升高和降低运动在平台上装载和卸载衬底；下部旋转机构，放置在平台内部，并且具有面向彼此安装的第一和第二下部旋转构件，支撑物安置在中央，并且第一和第二下部旋转构件经配置以抵靠支撑物旋转；以及第一上部旋转机构，放置在平台内部的下部旋转机构上方，并且具有面向彼此安装的第一和第二上部旋转构件，支撑物安置在中央，第一和第二上部旋转构件经配置以抵靠支撑物旋转。
衬底支撑模块

[发明专利]基板传送装置-CN201210555398.6有效
发明人：梁相熙;李基雄;金圣进;车恩熙 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2012-12-19 - 公布日： 2013-06-26 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本申请提供了一种基板传送装置。所述基板传送装置包括：基部，基板放置在所述基部上；支撑单元，所述支撑单元穿过所述基部以支撑所述基板；以及驱动单元，所述驱动单元用于向上或向下移动所述支撑单元。基板传送装置利用支撑单元的薄板支撑基板，从而防止基板因色不均现象而受损。
传送装置

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