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[实用新型]一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头-CN202020560952.X有效
发明人：孟松林;赵德文;李长坤;倪孟骐 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2020-04-16 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： B24B37/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头，所述化学机械抛光保持环包括环形部，所述环形部包括金属部和非金属部，所述金属部设置于非金属部的上侧并通过粘接层结合形成为层叠结构；其中，所述金属部的顶面和外侧面涂覆有防护层，以防止金属离子及其他污染物对晶圆制程影响。
一种化学机械抛光保持承载

[实用新型]一种安装振动测点的螺栓-CN201921595724.X有效
发明人：尹苏磊;赵永鹏;赵德文;李建国;袁化美;卢军成;张磊 -专利权人：广西金川有色金属有限公司;金川集团股份有限公司
申请日： 2019-09-24 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： F16B35/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种安装振动测点的螺栓，包括螺栓、振动变送器、固定套和螺母组成；螺栓的右端为圆锥结构，其左端钻孔形成阶梯槽，阶梯槽包括左端槽和右端槽，左端槽设有内螺纹，振动变送器安装在阶梯槽内，在振动变送器左端设有固定套，固定套由固定板和固定筒组成，固定筒内径尺寸与振动变送器的尺寸相互匹配，固定筒外表面与左端槽螺纹连接从而将振动变送器进行固定；螺母安装在固定套的左端并将固定套和螺栓进行固定；振动变送器的左端连接有电缆线，电缆线的右端依次穿过固定套内的通孔和螺母通孔后与监测仪通信连接。在进行振动测量时该螺栓能够避免在轴承座上进行开孔、攻丝的问题。
一种安装振动螺栓

[实用新型]一种晶圆装载杯-CN202020614683.0有效
发明人： 赵德文;孟松林;赵慧佳 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2020-04-22 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：一种晶圆装载杯，其特征在于，包括：同轴设置于所述装载杯中心的托架，该托架具有圆圈状的环形边缘用于承接卸落的晶圆；同轴设置于所述托架圆周外围的支撑卡圈，用于支撑和/或定位晶圆承载头，所述支撑卡圈的顶面设置成高于所述托架的顶面；以及，设置于所述支撑卡圈的至少一个喷嘴，其设置成以非水平的方式向上或向下倾斜朝所述装载杯的中心轴线方向喷射流体。
一种装载

[实用新型]一种晶圆装载杯-CN202020614672.2有效
发明人： 赵德文;孟松林;赵慧佳 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2020-04-22 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： B24B37/34 文献下载
摘要：一种晶圆装载杯，其特征在于，包括：同轴设置于所述装载杯中心的托架，该托架具有圆圈状的环形边缘用于承接卸落的晶圆；同轴设置于所述托架圆周外围的支撑卡圈，用于支撑和/或定位晶圆承载头，所述支撑卡圈的顶面设置成高于所述托架的顶面以及设置于所述支撑卡圈的至少一个设置成向所述装载杯的中心轴线方向喷射流体的喷嘴。
一种装载

[实用新型]一种底面具有凹凸结构的保持环和承载头-CN202020567963.0有效
发明人：孟松林;赵德文;王宇 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2020-04-16 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： B24B37/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种底面具有凹凸结构的保持环和承载头，所述保持环由环形部构成，所述环形部由金属部和非金属部层叠胶合而成；所述环形部包括顶面、底面、外侧面和内侧面，所述顶面与承载头固定连接，所述底面与抛光表面抵接，所述外侧面设置于环形部的外侧并连接顶面与底面，所述内侧面设置于环形部的内侧并连接顶面与底面，所述底面设置有连通内侧面和外侧面的供液槽；所述顶面设置有螺纹孔，所述螺纹孔位于所述供液槽的对应位置。
一种底面具有凹凸结构保持承载

[实用新型]一种多级外循环生物滤池反应器-CN201921865127.4有效
发明人：何洋;赵洪印;赵德文;徐红;张静超;张伟伟;朱渊;王焕升 -专利权人：江苏联合创业环保有限公司
申请日： 2019-11-01 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： C02F3/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多级外循环生物滤池反应器，包括缺氧段、一级好氧段、二级好氧段、三级好氧段、好氧污泥消化段、回流管、外循环管、曝气装置和反洗装置，缺氧段、一级好氧段、二级好氧段、三级好氧段和好氧污泥消化段通过管道依次串接，缺氧段的进水端连接有进水管，回流管的两端分别与进水管以及好氧污泥消化段的出水端连接，外循环管的两端分别与一级好氧段的进水端以及三级好氧段的出水端连接，曝气装置包括分别设置在一级好氧段、二级好氧段、三级好氧段和好氧污泥消化段的曝气头，反洗装置包括分别设置在缺氧段、一级好氧段、二级好氧段和三级好氧段的反洗进气管。本实用新型一种多级外循环生物滤池反应器，其有效提高了污水处理效果。
一种多级循环生物滤池反应器

[发明专利]一种用于化学机械抛光的保持环和承载头-CN202010297804.8在审
发明人： 赵德文;路新春;李长坤;孙张璞;孟松林 -专利权人：清华大学;华海清科股份有限公司
申请日： 2020-04-16 - 公布日： 2020-06-23 - 主分类号： B24B37/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于化学机械抛光的保持环和承载头，所述环形部包括顶面、底面、外侧面和内侧面，所述顶面与承载头固定连接，所述底面与抛光表面抵接，所述外侧面设置于环形部的外侧并连接于顶面与底面之间，所述内侧面设置于环形部的内侧并连接于顶面与底面之间。
一种用于化学机械抛光保持承载

[实用新型]一种基板清洗头及基板清洗装置-CN201920764868.7有效
发明人：李长坤;蒋阳波;赵德文;刘远航;路新春 -专利权人：清华大学
申请日： 2019-05-24 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基板清洗头及基板清洗装置，所述基板清洗头包括：具有一定厚度的圆盘状基座及同心连接于所述基座下表面的圆形清洁垫，所述基座沿厚度方向具有多个流体通道，所述清洁垫具有多个通孔，每个通孔耦合至不同的流体通道，使得清洗液可经由所述多个通孔中的一部分喷射至基板表面并在与基板表面的污染物结合后经由另一部分通孔吸走。
一种基板清洗头清洗装置

[实用新型]一种基板清洗头及基板清洗装置-CN201920764826.3有效
发明人：蒋阳波;赵德文;李长坤;刘远航;路新春 -专利权人：清华大学
申请日： 2019-05-24 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基板清洗头及基板清洗装置，基板清洗头包括具有一定厚度的圆盘状基座及同心连接于所述基座下表面的圆形清洁垫，所述基座沿厚度方向具有多个通道，所述清洁垫具有多个通孔，每个通孔耦合至不同的通道，不同的流体管延伸通过所述通道至所述清洁垫的通孔，使得清洗液可经由所述流体管及通孔喷射至基板表面并在与污染物结合后经由其他通孔吸走。
一种基板清洗头清洗装置

[发明专利]用于金属膜厚测量的差分探头装置-CN201810270780.X有效
发明人：王军星;郭振宇;赵德文;王同庆;沈攀;万明军;路新春 -专利权人：清华大学;华海清科股份有限公司
申请日： 2018-03-29 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： G01B7/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于金属膜厚测量的差分探头装置，包括：激励源，用于提供振荡源；差分探头，差分探头具有第一线圈通道和第二线圈通道，且对应包括第一线圈和第二线圈；采集模块，用于在探头正下方产生磁场，且在探头正下方的被测金属薄膜的表面产生感应磁场时，采集探头的等效阻抗；中央处理模块，用于使得第一线圈和第二线圈同时工作，并且根据等效阻抗得到线圈阻抗的变化值，以根据线圈阻抗的变化值得到被测金属薄膜的厚度。该装置可以通过非接触式进行金属膜厚的测量，从而消减共模量的干扰，提高测试的稳定性。
用于金属膜测量探头装置

[实用新型]一种保持环-CN201921585844.1有效
发明人： 赵德文;刘远航;孟松林 -专利权人：清华大学;华海清科股份有限公司
申请日： 2019-09-23 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： B24B37/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种保持环，包括第一环形部及第二环形部，所述第一环形部由金属材料制成，所述第二环形部由非金属材料制成，所述第一环形部的至少一面与第二环形部紧贴固定。
一种保持

[实用新型]一种承载头测试装置-CN201921692546.2有效
发明人： 赵德文;刘远航;孟松林;王江涛;李硕 -专利权人：清华大学;华海清科股份有限公司
申请日： 2019-10-11 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： G01M3/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种承载头测试装置，包括箱体、接收法兰、挡板、支撑组件及测控组件，所述接收法兰固定设置于箱体顶部以接收承载头，所述挡板通过支撑组件可移动地架设于接收法兰上部，所述测控组件经由连接法兰加载测试承载头，其中，所述箱体表面配置有导轨，所述支撑组件的下部卡接于所述导轨并且其上部与所述挡板固定连接，所述挡板的底面设置有防粘连结构以防止承载头的底部与挡板粘连。本申请提供的一种承载头测试装置，用于化学机械抛光设备中承载头的检测，能够适用于各种不同尺寸及规格的承载头的安装和检测、检测效率高、作业故障率低、不容易产生故障、具有良好的推广价值。
一种承载测试装置

[发明专利]晶圆干燥装置-CN201810030585.X有效
发明人： 赵德文;李长坤;路新春 -专利权人：清华大学;天津华海清科机电科技有限公司
申请日： 2018-01-12 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆干燥装置，晶圆干燥装置包括底座、储液池、晶圆驱动模组、晶圆干燥模组及调整模组。储液池设在底座上，储液池内适于装载去离子水。晶圆驱动模组设在底座上，晶圆驱动模组用于驱动晶圆升降。晶圆干燥模组用于朝向脱离液面的晶圆与去离子水形成的弯月面处喷射低表面张力物质，诱发沿弯面向下的Marangoni流动，促使晶圆表面吸附水膜的剥离，从而实现晶圆干燥。调整模组用于调整晶圆干燥模组朝向晶圆喷射低表面张力物质的喷射参数。根据本发明实施例的晶圆干燥装置，能够方便地调整晶圆干燥的相关参数，有利于分析各喷射工艺参数对干燥效果的影响机制，加深对晶圆干燥机理的认识。
干燥装置

[实用新型]一种用于化学机械抛光的承载头及化学机械抛光设备-CN201920944204.9有效
发明人： 赵德文 -专利权人：清华大学
申请日： 2019-06-21 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： B24B37/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及化学机械抛光后处理技术领域，公开了一种用于化学机械抛光的承载头及化学机械抛光设备，包括连轴盘、平衡架、承载盘、柔性膜、环状压盘，所述平衡架的中轴部可滑动地设置于连轴盘的中心通孔内并通过其底盘部及翼缘部带动承载盘相对于连轴盘上下移动，所述柔性膜的一部分被环状压盘夹紧至承载盘下部以形成可调压腔室，所述平衡架的一部分由非金属材料制成。
一种用于化学机械抛光承载设备

[实用新型]一种用于化学机械抛光的承载头及化学机械抛光设备-CN201920944200.0有效
发明人： 赵德文;路新春 -专利权人：清华大学
申请日： 2019-06-21 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： B24B37/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及化学机械抛光后处理技术领域，公开了一种用于化学机械抛光的承载头及化学机械抛光设备，其包括连轴盘、平衡架、承载盘、柔性膜、环状压盘，平衡架的中轴部可滑动地设置于连轴盘的中心通孔内并可以通过其底盘部及翼缘部带动承载盘相对于连轴盘上下移动，所述柔性膜的一部分被环状压盘夹紧至承载盘下部以形成密封腔室，所述平衡架下表面的中心区域具有沿竖直方向向下延伸的下凸结构。
一种用于化学机械抛光承载设备