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[实用新型] 晶圆承载装置及晶圆加工设备 -CN202320824655.5 有效
发明人：
赵国瑞
- 专利权人：
杭州富芯半导体有限公司
申请日：
2023-04-13
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公布日：
2023-09-22
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主分类号：
H01L21/683 文献下载
摘要： 本公开提供了一种晶圆承载装置及晶圆加工设备，晶圆承载装置包括承载台和导气管路，承载台具有承载面，承载面上设有多个环形凹槽；导气管路具有多个吸气口，吸气口设置在环形凹槽内，且导气管路连接有抽真空组件、以在环形凹槽内形成负压使晶圆吸附在承载面上；其中，沿承载台的外周径向朝内，吸气口与承载面之间的距离逐渐增大至固定不变。本公开的晶圆承载装置便于提供更好的吸附力，提高了承载台边缘的抽真空强度以应对晶圆边缘翘曲，并且对无翘曲晶圆也会有良好的吸附能力，大大减少了晶圆加工设备的宕机次数，提高了正常运行时间。承载 装置 加工 设备
[发明专利] 轨道停放装置 -CN202310341562.1 在审
发明人：
张玄 ;李庆宣 ;马定麒 ;章利好 ;蔡君国 ;王振 ;赵国瑞
- 专利权人：
浙江瑞立空压装备有限公司
申请日：
2023-03-27
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公布日：
2023-07-18
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主分类号：
B60T15/02 文献下载
摘要： 本发明公开了一种轨道停放装置，其包括：基体，包括底座和架体结构，底部形成通至减压阀的输入腔；减压腔室被配置为，其对应于减压阀输出端的一侧进一步延伸形成第一腔道，第一腔道通至停放阀的输入端；停放腔室被配置为，其对应于停放阀输出端的一侧进一步延伸形成第二腔道；多通管路，该多通管路被配置为，包括一个通至第二腔道的支路，一个通至梭阀输入端的支路，以及一个通至测压腔室的支路；梭阀腔室被配置为，其对应于梭阀输入端的一侧进一步延伸形成第三腔道，多通管路通至梭阀输入端的支路与所述第三腔道连通，本方案可提高车辆设备集成度，实现轨道车辆减重，配置手动和电动方式并存的控制方式，对停放状态进行切换。轨道 停放 装置
