专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]光学结构、半导体结构及形成光学结构的方法-CN202110210106.4在审
  • 李玥瑩;吴建瑩;许隨赢;黄振浩;李建璋;赖佳平 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2021-02-24 - 2022-01-11 - G02B6/12
  • 一种光学结构、半导体结构以及形成光学结构的方法,光学结构可通过如下步骤来提供:在介电材料层之上形成硅光栅结构;在硅光栅结构之上沉积至少一个介电材料层;以及在至少一个介电材料层之上沉积至少一个介电蚀刻停止层。至少一个介电蚀刻停止层包括选自氮化硅及氮氧化硅的至少一种介电材料。可在至少一个介电蚀刻停止层之上形成钝化介电层,并且可在钝化介电层之上形成图案化的蚀刻遮罩层。可通过执行各向异性蚀刻制程来穿过钝化介电层的未遮罩部分形成开口,各向异性蚀刻制程通过将图案化的蚀刻遮罩层用作遮罩结构来蚀刻对氮化硅或氮氧化硅具有选择性的介电材料。至少一个蚀刻遮罩层最小化过度蚀刻。
  • 光学结构半导体形成方法

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