专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »
钻瓜专利网为您找到相关结果22个,建议您升级VIP下载更多相关专利
  • [发明专利]温度控制系统-CN202011247665.4有效
  • 石生宝;许正军;阚保国;阚杰;曹春生 - 华虹半导体(无锡)有限公司
  • 2020-11-10 - 2022-09-20 - H01J37/32
  • 本申请公开了一种温度控制系统,包括:导热管道,其接入刻蚀设备的静电卡盘中,其用于在刻蚀设备工作过程中通过通入其的冷却剂对静电卡盘上的晶圆进行热传导;控制装置,其设置于温度控制系统的箱体中,其用于对通入导热管道的冷却剂进行控制;CDA循环装置,其设置于箱体中,其用于在温度控制系统工作时,对箱体内的环境进行干燥。本申请通过在温控系统中增加CDA循环装置以在温度控制系统工作时,对温度控制系统的控制装置所在的箱体内的环境进行干燥,在一定程度上降低了由于箱体内部的空气中的水汽遇冷在导热管道壁和控制装置表面凝结成冰的几率,提高了系统的控温效率和安全性能。
  • 温度控制系统
  • [发明专利]一种聚焦环-CN202110380411.8有效
  • 许正军;阚杰;曹春生;石生宝 - 华虹半导体(无锡)有限公司
  • 2021-04-09 - 2022-09-20 - H01J37/32
  • 本申请公开了一种聚焦环,涉及半导体制造领域。该聚焦环包括环体,所述环体的顶面宽度小于所述环体的底面宽度;在所述环体的内侧,所述顶面与所述底面之间设置有台阶面;所述台阶面的表面为粗糙面,所述台阶面的粗糙度范围为1.5μm至3.5μm;解决了目前晶圆固定在静电吸附盘上进行工艺制程时,颗粒缺陷影响产品良率和机台工作的问题;达到了提高晶圆良率、减少颗粒缺陷对工艺制程的不良影响的效果。
  • 一种聚焦
  • [实用新型]承压换热式真空管太阳能集热器-CN202021472390.X有效
  • 许正军 - 湖南科世源节能科技有限公司
  • 2020-07-23 - 2021-04-23 - F24S10/30
  • 本实用新型公开一种承压换热式真空管太阳能集热器,包括有联箱、换热热管、换热不锈钢管以及水箱;该联箱内具有一密闭储水腔;该换热热管设置于联箱外周侧面上并与联箱的外周侧面贴合;该不锈钢水管悬于密闭储水腔内并与密闭储水腔同轴设置,不锈钢水管的两端分别伸出联箱的两端;该水箱的底部连接有第一循环水管,水箱的底部连接有第二循环水管,该第一循环水管和第二循环水管分别连通不锈钢水管的两端。通过采用不锈钢水管,并配合不锈钢水管悬于密闭储水腔内并与密闭储水腔同轴设置,使得本产品满足承压的要求,产品更加的耐用,以及,通过将换热热管设置于联箱外周侧面上并与联箱的外周侧面贴合,有效利用热能,提高了热利用率。
  • 承压换热式真空管太阳能集热器
  • [实用新型]家用承压即热式太阳能热水器-CN202021470446.8有效
  • 许正军 - 湖南科世源节能科技有限公司
  • 2020-07-23 - 2021-03-26 - F24S10/30
  • 本实用新型公开一种家用承压即热式太阳能热水器,包括有水箱、供热管以及换热管;该水箱内具有一储水腔,水箱上开设有连通储水腔的排汽口;该供热管设置于水箱外并与水箱的外壁面贴合;该换热管迂回延伸并悬于储水腔中,换热管具有冷水入口和热水出口,该冷水入口和热水出口均伸出水箱外。通过设置有排汽口,可根据需要打开排汽口,以避免储水腔内压力过高,并配合采用换热管,使得本产品满足承压的要求,产品更加的耐用,以及,通过将供热管设置于水箱外并与水箱的外壁面贴合,有效利用热能,提高了热利用率。
  • 家用承压即热式太阳能热水器
  • [实用新型]一种可实现自清洁的振动碾-CN202020292825.6有效
  • 徐福堂;张传强;柳云;梁俊虹;冉存柱;闫建强;余全英;许正军;吕文江;任庆业 - 青海省水利水电工程局有限责任公司
  • 2020-03-11 - 2021-01-08 - E02D3/046
  • 本实用新型公开了一种可实现自清洁的振动碾,包括碾轮限位框架,碾轮限位框架的内侧设置有碾轮,碾轮和碾轮限位框架之间通过销结方式转动连接,碾轮限位框架的一端设置有清洁组件,清洁组件和碾轮限位框架之间通过插接方式固定连接,碾轮限位框架的顶端设置有限位架,限位架和碾轮限位框架之间通过焊接方式固定连接,限位架的顶端设置有滚轮限位件,滚轮限位件和碾轮限位框架之间通过插接方式固定连接。本实用新型具有结构合理、使用方便的特点,通过设置的清洁组件可以将碾轮上的附着物除去,通过设置的滚轮限位件和滚轮组件之间的相互配合,可以将碾轮上的附着物做出进一步的铲除,这样可以有效的放置碾轮上沾上异物。
  • 一种实现清洁振动
  • [发明专利]等离子体处理装置-CN202010277879.X在审
  • 许正军;阚杰;石生宝;阚保国 - 华虹半导体(无锡)有限公司
  • 2020-04-10 - 2020-08-11 - H01J37/32
  • 本申请涉及一种半导体制造装置,具体涉及一种等离子体处理装置。离子体处理装置包括,反应腔,反应腔中设有:静电吸盘,静电吸盘包括用于吸附半导体晶片的吸盘本体;聚焦环组件,聚焦环组件包括聚焦环本体,聚焦环本体套设在吸盘本体外周,静电吸盘中设有气流通路,气流通路的一端连通温控气源,另一端用于向聚焦环组件排送温控气体。通过聚焦环组件能将温度传递给半导体晶片的边缘部分,能够进一步地缩小半导体晶片的边缘部分和半导体晶片的中间部分之间的温度差异,缓解导体晶片上温度不均的问题。
  • 等离子体处理装置

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top