专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]碳化硅晶片蚀刻治具-CN202221163502.2有效
  • 侯勇;蔡文必;蔡少忠;许佳锋 - 福建北电新材料科技有限公司
  • 2022-05-16 - 2022-08-23 - C30B33/10
  • 本实用新型涉及半导体制备工装技术领域,具体而言,涉及一种碳化硅晶片蚀刻治具;碳化硅晶片蚀刻治具包括:施力机构和托盘,托盘包括托盘本体和挡件,挡件可活动地设置于托盘本体,且挡件用于界定放置口的口径大小,施力机构与挡件传动连接,用于驱动挡件在第一位置和第二位置之间切换;在挡件位于第一位置的情况下,放置口的口径为第一口径;在挡件位于第二位置的情况下,放置口的口径为第二口径;其中,第一口径大于第二口径。本实用新型的碳化硅晶片蚀刻治具在进行碳化硅晶片的蚀刻时便于操作。
  • 碳化硅晶片蚀刻
  • [实用新型]一种碳化硅晶体尺寸检测装置-CN202220736972.7有效
  • 沈艳;蔡文必;裴斌;徐谭阳;许佳锋 - 福建北电新材料科技有限公司
  • 2022-03-31 - 2022-08-05 - G01B21/08
  • 本实用新型提供了一种碳化硅晶体尺寸检测装置,涉及半导体技术领域,该碳化硅晶体尺寸检测装置包括底座、支架、托盘及高度检测器,高度检测器包括第一检测件及第二检测件,第二检测件设置于第一检测件内且该第二检测件能露出于第一检测件,第一检测件用于检测碳化硅晶体的最大高度尺寸,第二检测件均用于检测碳化硅晶体预设直径标记处的的最小高度尺寸。仅通过一台检测机器同时对晶体的最大高度及预设直径标记处的最小高度的检测,避免使用两台不同的仪器对碳化硅晶体进行检测,不仅增大了检测效率,也减小了检测误差。
  • 一种碳化硅晶体尺寸检测装置
  • [实用新型]原子力显微镜测试设备-CN202122472996.4有效
  • 杨艺松;蔡文必;陈兴福;许佳锋;李思娜 - 福建北电新材料科技有限公司
  • 2021-10-14 - 2022-03-15 - G01Q60/26
  • 本申请提供一种原子力显微镜测试设备,包括机架、载台和限位件,载台与机架连接,载台设置有用于承载待测试件的承载面,承载面上设置有标识部。限位件与机架或载台活动连接且凸出承载面,限位件能沿承载面运动至标识部以用于与待测试件抵持。该测试设备通过限位件限位衬底,有效改善衬底在放置于载台的过程中滑离载台的情况,降低衬底被损坏的概率,降低成本;同时,依据标识部所在位置调节限位件相对于承载面的位置,操作便捷,效率高,准确性高。
  • 原子显微镜测试设备
  • [发明专利]检测装置-CN202110856396.X在审
  • 罗思瑶;张洁;蔡少忠;沈艳;许佳锋 - 福建北电新材料科技有限公司
  • 2021-07-28 - 2021-11-02 - G01N21/88
  • 本发明实施例提供了一种检测装置,涉及晶锭质量检测技术领域,该检测装置包括支架、槽体和转动机构,支架开设有槽体,槽体用于放置待测晶锭;转动机构位于槽体内,用于抵持待测晶锭。驱动机构用于驱动转动机构转动,以使转动机构带动待测晶锭转动。由此,在进行晶锭的外观质量检测时,可以将待测晶锭放置在槽体中,使得晶锭侧面抵持于转动机构,以此通过驱动机构驱使转动机构转动,转动机构就能够带动待测晶锭转动,使得紫外线灯照射待测晶锭的侧面的不同区域,避免了工作人员的手部与紫外线光的直接接触,从而能够防止工作人员的手部受伤,更加安全。
  • 检测装置

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