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- [实用新型]晶圆测试台-CN201720738247.2有效
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吴俊;熊强;袁志伟
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珠海市中芯集成电路有限公司
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2017-06-22
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2018-01-26
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H01L21/67
- 本实用新型提供一种晶圆测试台，该测试台包括底板，底板上设置有转动盘，转动盘内设置有丝杆，丝杆的延伸方向相互垂直，转动盘上设置有放置盘，放置盘内设置有凸起块，丝杆与凸起块邻接，放置盘的端面设置有吸附槽，转动盘与放置盘内均贯穿有真空管，真空管与吸附槽连通，底板上设置有连杆，连杆的第一端连接第一转动杆，连杆的第二端邻接真空管，转动盘的两侧均设置有固定架，放置盘设置在固定架之间，采用以上结构，通过晶圆测试台的多维度自由调节，保证晶圆测试的位置与角度，并且在辅助焊接探针的过程中，探针能够准确接触晶圆上的芯片，保证芯片测试的精准度以及探针焊接位置的精准度。
- 测试
- [实用新型]探针台固定组件-CN201720738209.7有效
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吴俊;熊强;袁志伟
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珠海市中芯集成电路有限公司
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2017-06-22
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2018-01-26
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G01R1/04
- 本实用新型提供一种探针台固定组件，包括固定架，固定架内设有中空部，固定架上设有“L”固定板，固定板的第一端设置在固定架上，固定板的第二端贯穿中空部，固定架上设置有固定件，固定件包括底座，底座上铰接第一连接杆的第一端，第一连接杆的第二端连接固定杆，固定杆的固定头朝向并邻接固定板的第一端；第一连接杆连接操作杆，固定板连接弹簧的第一端，弹簧的第二端连接操作杆，采用以上结构，在保证探针卡固定的稳固性的同时能够快速进行探针卡更换，有效提高工作效率。
- 探针固定组件
- [实用新型]用于晶圆测试的探针测试校正装置-CN201720738174.7有效
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吴俊;熊强;袁志伟
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珠海市中芯集成电路有限公司
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2017-06-22
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2018-01-26
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G01R1/067
- 本实用新型提供一种用于晶圆测试的探针测试校正装置，该装置包括底板，底板上设置有转动盘，转动盘内设置有丝杆，丝杆的延伸方向相互垂直，转动盘上设置有放置盘，放置盘内设置有凸起块，丝杆与凸起块邻接，放置盘的端面设置有吸附槽，转动盘与放置盘内均贯穿有真空管，真空管与吸附槽连通，底板上设置有连杆，连杆的第一端连接第一转动杆，连杆的第二端邻接真空管，转动盘的两侧均设置有固定架，放置盘设置在固定架之间，固定架上还设置有校正板，校正板上的开孔的中心与放置盘的中心共线设置，采用以上结构，通过校正黄钻之的多维度自由调节，在辅助焊接探针的过程中，探针能够准确接触晶圆上的芯片，保证探针焊接位置的精准度。
- 用于测试探针校正装置
- [实用新型]用于晶圆测试的探针卡及测试系统-CN201720738208.2有效
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吴俊;熊强;袁志伟
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珠海市中芯集成电路有限公司
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2017-06-22
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2018-01-26
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G01R31/26
- 本实用新型提供一种用于晶圆的测试系统，该系统包括测试仪、单片机和探针卡，测试仪用于对晶圆进行第一测试，单片机接收测试仪的启动信号，单片机通过加密算法对晶圆进行第二测试，探针卡上的焊接位连接探针，探针接触晶圆，探针卡上设置有接收测试仪第一通断信号并与第一单片机接口、第一探针组连接的第一继电器、接收测试仪第二通断信号并与第二单片机接口、第二探针组连接的第二继电器以及接收第三通断信号并与第三探针组连接的第三继电器组，第一单片机接口、第二单片机接口连接单片机，探针卡完成各测试部件的连接。通过测试仪和单片机分别对芯片进行不同测试，并利用探针卡上的继电器进行切换，其能够大大提升测试效率。
- 用于测试探针系统
- [实用新型]一种用于晶圆的打点装置-CN201621441242.5有效
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吴俊;袁志伟
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珠海市中芯集成电路有限公司
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2016-12-26
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2017-07-21
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H01L21/67
- 本实用新型提供一种用于晶圆的打点装置，打点装置包括X轴移动控制机构、Y轴移动控制机构和工作台，工作台用于承载晶圆，X轴移动控制机构控制工作台沿X轴移动，Y轴移动控制机构控制工作台沿Y轴移动，打点装置还包括支撑架和至少一个点墨机构，支撑架位于工作台的上方，支撑架上设置有多个工位，点墨机构包括固定组件和点墨组件，点墨组件对晶圆进行标记，固定组件包括安装件、第一连接件、第二连接件、第三连接件、第一螺钉、第二螺钉和第三螺钉。可多工位同时对晶圆进行标记打点，生产效率高，结构简单。并且点墨组件的位置可调节，从而使打点装置适用于不同规格的晶圆，结构简单，生产效率高，降低生产成本。
- 一种用于打点装置
- [实用新型]一种用于晶圆的测试系统-CN201621415299.8有效
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吴俊;袁志伟
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珠海市中芯集成电路有限公司
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2016-12-21
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2017-06-30
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G01R31/26
- 本实用新型提供一种用于晶圆的测试系统，包括测试仪、第一继电模块、单片机、第二继电模块和第三继电模块，测试仪用于对晶圆进行第一测试，第一继电模块用于连接在测试仪和晶圆之间，第一继电模块用于接收测试仪输出的第一通断信号，单片机接收测试仪的启动信号，单片机通过加密算法对晶圆进行第二测试，第二继电模块用于连接在单片机和晶圆之间，第二继电模块用于接收测试仪输出的第二通断信号，第三继电模块连接在测试仪和单片机之间，第三继电模块接收测试仪输出的第三通断信号。通过测试仪和单片机分别对芯片进行不同测试，并利用继电模块进行切换，其能够大大提升测试效率。
- 一种用于测试系统
- [实用新型]一种用于晶圆测试的通讯检测装置-CN201621415343.5有效
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吴俊;袁志伟
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珠海市中芯集成电路有限公司
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2016-12-21
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2017-06-30
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G01R31/28
- 本实用新型提供一种用于晶圆测试的通讯检测装置，在基板上设置有处理模块、TTL通讯模块、线缆检测模块、LED显示模块和按键选择模块，处理模块通过TTL通讯模块可向测试仪输出第一测试信号，处理模块通过TTL通讯模块可向探针台输出第二测试信号，线缆检测模块向TTL通讯模块输出线缆检测信号，LED显示模块根据线缆检测信号显示，按键选择模块可向处理模块输出测试仪检测信号或探针台检测信号。通过通讯检测装置分别与测试仪、探针台连接进行通讯检测，使得用户能够更换且高效地获知通讯功能是否正常，且还单独具备线缆检测功能，并配合LED显示能够跟快速地获知线缆问题，继而排除设备通讯问题提高晶圆测试效率。
- 一种用于测试通讯检测装置
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