专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种纳米复合堆叠相变薄膜及其制备方法与应用-CN202211261934.1在审
  • 翟继卫;袁宇康;沈波 - 同济大学
  • 2022-10-14 - 2023-02-03 - H10N70/20
  • 本发明涉及一种纳米复合堆叠相变薄膜及其制备方法和应用,该纳米复合堆叠相变薄膜由Ta5Sb95薄膜和GeSb6Te薄膜交替排列成堆叠薄膜单元,堆叠薄膜单元为一层,其结构符合下列通式:[Ta5Sb95(a)/GeSb6Te(b)]1,其中10≤a≤20nm,20≤b≤40nm。与现有技术相比,本发明采用室温磁控溅射的方法制备的纳米堆叠薄膜,结构相较于目前纳米复合多层薄膜更加简单,有利于简化薄膜制备工艺,且具有两次稳定的相变过程,能够实现多级存储从而提高存储密度,还综合了Ta5Sb95和GeSb6Te的优势,可以通过控制结构参数对相变性能进行调控,在相变存储器应用方面具有充足的潜力。
  • 一种纳米复合堆叠相变薄膜及其制备方法应用

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