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- [发明专利]定齿偏置的梳齿式体硅加工微机械结构-CN01141718.8无效
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高钟毓;袁光;董景新;王永梁;赵长德;曹志锦
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清华大学
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2001-09-14
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2004-02-11
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G01P15/08
- 本发明属于体硅加工微机械结构设计领域，涉及定齿偏置的梳齿式体硅加工微机械结构，包括一个由齿枢、多组动齿和折叠梁组构成的敏感质量元件，固定齿和基片，敏感质量元件的每个梳齿和其相邻的两定齿距离不等，两侧距离比值为1∶(8-12)，本发明结构最重要的优点就是键合块少、面积大，大大降低了键合难度，且键合接触电阻小、均匀，显著提高了加工成品率，使微机械加速度计从面加工到体加工成为可能，从而使分辨率和精度大大提高。此外明显减少了玻璃极板上均置方案所必需的许多内部引线、电极。这样，一方面避免了电极、引线间的分布电容及电信号的干扰；另一方面，减少了引线输出数目，降低了引线键合的工作量。
- 偏置梳齿式体硅加工微机结构
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