专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]边缘接触式晶片载具-CN200420084303.8无效
  • 张丰荣;蔡伯岳;郭丰裕;蔡维恭 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2004-07-13 - 2005-11-30 - B24B37/04
  • 一种新颖的边缘接触式晶片载具,当晶片在制程机台(如CMP)里载入与载出时,可用载具托住此晶片,上述制程机台可为CMP装置,此边缘接触式晶片载具包括一般的环形载具本体,此载具本体一般是装设在CMP装置的清洁头加载载出(Head Clean Load/Unload,简称HCLU)站的载入杯上,且此载具本体在(或靠近)晶片边缘支撑着晶片,多个导梢从载具本体向上延伸,当晶片被放置于载具主体时,这些导梢会将个别晶片导入载具本体中。
  • 边缘接触晶片

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