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[发明专利]一种晶圆真空搬运机械手-CN202110504042.9有效
发明人：孙明;赖高明;吴文泉;董炯杰 -专利权人：绍兴赛致捷机电设备有限公司
申请日： 2021-05-10 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明涉及晶圆加工技术领域，公开了一种晶圆真空搬运机械手，包括第一机械臂、第二机械臂、取片叉、位于第一机械臂下端的驱动机构，还包括设法兰盘、机壳，第一机械臂包括第一外壳、下端与驱动机构连接且上端与第一外壳固定的第一转轴、与驱动机构连接的第一齿轮、转动连接在第一外壳远离第一转轴一端处的第二齿轮、第一皮带、与第一外壳固定的第二转轴，第二机械臂包括与第二齿轮固定的第二外壳、与第二转轴固定的第三齿轮、与取片叉固定的第四齿轮、第二皮带，驱动机构包括基座、支架、驱动支架上下移动的第一驱动件、设置在支架内且用于驱动第一转轴转动的第二驱动件、设置在支架内且用于驱动第一齿轮转动的第三驱动件。
一种真空搬运机械手

[实用新型]一种用于波纹管法兰盘的焊接装置-CN202122008224.5有效
发明人：孙明;赖高明;吴文泉;董炯杰 -专利权人：绍兴赛致捷机电设备有限公司
申请日： 2021-08-24 - 公布日： 2022-01-18 - 主分类号： B23K37/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及波纹管制造技术领域，公开了一种用于波纹管法兰盘的焊接装置，包括支撑在地面上的底座，底座的一端上设置有第一支架，第一支架上侧设置有用于夹持在与波纹管端部对接以后的法兰盘周侧的三爪卡盘，第一支架上设置有用于驱动三爪卡盘转动的驱动件，底座远离第一支架的一端上设置有第二支架，第二支架上侧转动连接有用于抵紧在波纹管端部的转动盘，第一支架和第二支架之间的位置处设置有移动座，移动座上设置有供焊枪连接的安装台。整个焊接过程无需操作人员手动转动波纹管，且通过三爪卡盘转动波纹管时比较稳定，最终即可有利于波纹管法兰盘的快速、准确的焊接。
一种用于波纹管法兰盘焊接装置

[实用新型]一种单晶炉用晶棒下料组件-CN202121917748.X有效
发明人：孙明;赖高明;吴文泉;董炯杰 -专利权人：绍兴赛致捷机电设备有限公司
申请日： 2021-08-16 - 公布日： 2022-01-18 - 主分类号： C30B15/32 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶棒加工技术领域，公开了一种单晶炉用晶棒下料组件，包括固定在旋转抱夹小车的转盘上的基座，基座的上侧设置有呈“凵”字形的第一夹持臂，基座的下侧设置有呈“凵”字形的第二夹持臂，第一夹持臂和第二夹持臂的两端均设置有卡爪，基座上设置有第一驱动件。利用第一驱动件带动第一夹持臂和第二夹持臂朝向相互靠近的一侧移动，随后第一夹持臂和第二夹持臂端部的卡爪即可夹紧在晶棒上，通过第一夹持臂和第二夹持臂即可实现对晶棒的稳定夹持，同时转盘通过旋转抱夹小车下降后，即可取下从单晶炉上下落中的晶棒；最终实现对单晶炉内下落的晶棒进行稳定的夹持，从而有利于晶棒的稳定下料。
一种单晶炉用晶棒下料组件

[实用新型]一种多线切割机用硅棒上下料小车-CN202121339347.0有效
发明人：孙明;赖高明;吴文泉;董炯杰 -专利权人：绍兴赛致捷机电设备有限公司
申请日： 2021-06-16 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： B28D7/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及多线切割机设备技术领域，公开了一种多线切割机用硅棒上下料小车，包括下表面供硅棒粘附的沾棒台，还包括底座，底座上设置有沿竖直方向延伸的连接管，连接管上设置有升降座，升降座上设置有供沾棒台滑移连接的支撑台，连接管上设置有用于驱动升降座上下移动的驱动件。通过驱动件即可驱动升降座上下移动，从而使得沾棒台被升降至安装的高度处，随后即可将沾棒台滑移入多线切割机内；将多线切割机内的沾棒台移入支撑台上，随后驱动件带动升降座下移后即可将沾棒台放下；相比于人力搬运而言即可减小了很多劳动力，最终即可实现比较方便的进行硅棒的上下料。
一种切割机用硅棒上下小车

[实用新型]一种多线切割机用主辊拆装小车-CN202121339862.9有效
发明人：孙明;赖高明;吴文泉;董炯杰 -专利权人：绍兴赛致捷机电设备有限公司
申请日： 2021-06-16 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： B62B3/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及多线切割机设备技术领域，公开了一种多线切割机用主辊拆装小车，包括底座，底座上设置有呈“冂”字形的门架，门架上设置有沿竖直方向滑移连接在门架上的升降架，升降架和门架之间设置有用于驱动升降架上下移动的第一驱动件，升降架上设置有支撑座，支撑座与升降架之间设置有用于驱动支撑座沿水平方向左右移动的第二驱动件，支撑座远离升降架的一侧设置有沿水平方向延伸的连接臂，连接臂上滑移连接有滑移臂，滑移臂远离连接臂的一端处设置有挂座，挂座的两端均设置有用于分别悬挂主辊两端的吊带。
一种切割机用主辊拆装小车

[实用新型]一种用于单晶炉多晶铸锭炉真空管路的蝶阀-CN202120906032.3有效
发明人：孙明;赖高明;吴文泉;董炯杰 -专利权人：绍兴赛致捷机电设备有限公司
申请日： 2021-04-28 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： F16K1/226 文献下载
摘要：本实用新型涉及单晶炉多晶铸锭炉设计技术领域，公开了一种用于单晶炉多晶铸锭炉真空管路的蝶阀，包括阀体、轴孔、转轴、蝶板、电动执行器，转轴的周侧外壁上且位于轴孔的位置处开设有两个环槽，环槽内嵌入有一侧凸出于环槽且抵紧在轴孔内壁上的橡胶密封圈，蝶板的表面呈圆形，转轴上开设有供蝶板穿过的开口槽，转轴上且位于开口槽的两端均开设有贯穿开口槽的螺纹孔，蝶板的中部且对应螺纹孔的位置开设有通孔，转轴上设置有螺纹连接在螺纹孔内且穿过通孔的连接螺栓。利用两个橡胶密封圈即可对轴孔与转轴之间的缝隙进行密封，从而避免由于轴孔与转轴之间的缝隙而发生真空管路泄漏的情况，最终即可保证真空管路内的密封性。
一种用于单晶炉多晶铸锭真空管路

[实用新型]一种丝杆噪音检测机-CN202023249573.8有效
发明人：孙明;赖高明;吴文泉;董炯杰 -专利权人：绍兴赛致捷机电设备有限公司
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2021-09-21 - 主分类号： B23Q17/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及检测设备技术领域，公开了一种丝杆噪音检测机，包括车床床身、滑轨、主轴箱、卡盘、尾座、滚珠丝杆，滚珠丝杆的螺杆一端卡接在卡盘上且另一端抵紧在尾座上，车床床身上且位于两侧滑轨的上侧设置有连接座，连接座的两端均设置有卡接在滑轨上的第一滑座，连接座上的两侧均设置有延伸方向与滑轨延伸方向垂直的滑杆，连接座上的两端均设置有夹持座，夹持座的两侧均设置有卡接在滑杆上的第二滑座，夹持座上连接有固定螺母，连接座的一端上固定有伺服电机，伺服电机的输出轴上连接有两端分别螺纹连接在两个夹持座上的固定螺母内的双向丝杆，夹持座的上端开设有呈V字形的夹持槽，任一夹持座的上端设置有噪声测试仪。
一种噪音检测

[实用新型]一种多尺寸多晶相蓝宝石晶锭掏棒用固定夹具-CN201920176926.4有效
发明人：石刚;宣将育;朱春芬;周维;董炯杰;于江忠 -专利权人：浙江晶瑞电子材料有限公司
申请日： 2019-01-30 - 公布日： 2020-01-24 - 主分类号： B28D7/04 文献下载
摘要：本实用新型是关于蓝宝石晶锭的掏棒工艺领域，特别涉及一种多尺寸多晶相蓝宝石晶锭掏棒用固定夹具。包括下底盘；下底盘四周通过支撑螺杆与上底盘连接；顶杆组件包括竖板与顶杆；竖板通过底部的锁紧块与上底盘上端面上对应设有的T形槽，分别设于上底盘上端面的左侧、右侧与后侧；竖板上均设有若干顶杆；调节底座通过底部的锁紧块以及上底盘上端面上对应开有的T型槽设于上底盘上端面中部,调节底座上端面设有V形槽；调节板设于调节底座内。本实用新型较少占用车间占地面积，避免了更换不同装夹工装的过程，且由于本固定夹具便于搬运，减轻了操作人员的劳动强度，大幅提高了生产效率，提高了掏出晶棒的表面品质。
上底盘上端竖板本实用新型蓝宝石晶锭固定夹具锁紧块下底盘底座底座上端面表面品质顶杆组件工艺领域若干顶杆生产效率支撑螺杆装夹工装调节板上端面顶杆多晶晶棒搬运占用车间

[实用新型]一种陶瓷盘转运小车-CN201920174539.7有效
发明人：石刚;宣将育;朱春芬;周维;董炯杰;于江忠 -专利权人：浙江晶瑞电子材料有限公司
申请日： 2019-01-31 - 公布日： 2019-11-22 - 主分类号： B62B3/00 文献下载
摘要：本实用新型是关于转运贴有蓝宝石晶片的陶瓷盘的工具，特别涉及一种陶瓷盘转运小车。包括转运小车本体，转运小车本体底部设有底部支承板；底部支承板的底部四角上设有八寸脚轮与四寸脚轮，转运小车本体其中两个相对的侧的内壁上焊接运转小车本体侧板；运转小车本体侧板上设有若干平行横置的支撑螺杆；另两个相对侧的外壁上分别沿竖向设有前挡轴与后挡轴；前挡轴两端均通过挡轴连接横置的挡轴连接板一端，挡轴连接板的另一端与转运小车本体相连，与前挡轴套筒顶端连接的挡轴通过螺纹与旋转手柄连接；后挡轴两端通过螺纹与转运小车本体连接。本实用新型提高了工作效率。降低了工作人员的劳动强度。防止转运小车滑动，提高了安全性。
转运小车挡轴前挡本实用新型底部支承板运转小车连接板陶瓷盘轴两端螺纹侧板横置后挡脚轮蓝宝石晶片底部四角顶端连接工作效率旋转手柄支撑螺杆轴套筒滑动内壁竖向外壁焊接转运平行

[发明专利]一种用于吸取蓝宝石晶片工艺的机械手装置-CN201710420615.3有效
发明人：朱亮;曹建伟;孙明;吴文泉;于江忠;董炯杰;卢宇 -专利权人：浙江晶瑞电子材料有限公司
申请日： 2017-06-06 - 公布日： 2019-05-07 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本发明涉及蓝宝石晶片搬运设备，旨在提供一种用于吸取蓝宝石晶片工艺的机械手装置。该种用于吸取蓝宝石晶片工艺的机械手装置同步带轮组、丝杆模组、丝杆模组安装板、丝杆模组滑块连接座、同步带轮轴Ⅱ、同步带轮轴Ⅰ、齿轮、齿条、齿条安装板、小轴、皮带夹紧块、导轨滑块、导轨滑块安装板、吸盘安装座、晶片吸盘，能搬运晶片。本发明在晶片需要从晶舟盒中搬运到另一个平台的过程中，不需要人触碰到晶片，机械手晶片吸盘，在一个狭小的空间自动吸取蓝宝石晶片，整个的行程可以扩大一倍甚至更多。
一种用于吸取蓝宝石晶片工艺机械手装置

[实用新型]一种蓝宝石外圆平边研磨机-CN201820248645.0有效
发明人：张俊;曹建伟;傅林坚;孙明;余南南;吴文泉;董炯杰 -专利权人：浙江晶瑞电子材料有限公司
申请日： 2018-02-12 - 公布日： 2018-11-20 - 主分类号： B24B9/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及蓝宝石研磨加工领域，旨在提供一种蓝宝石外圆平边研磨机。包括装于设备底架上的夹紧装置和研磨组件，由并列布置相同构造的粗磨组件和精磨组件：电机与装于轴承座中的转轴平行布置，电机与轴承座均固定安装在电机载台上；电机的轴端设带轮，转轴的一端设磨头带轮另一端设砂轮，带轮通过皮带与磨头带轮相连；粗磨组件和精磨组件的底部各通过一个丝杆‑滑块组件安装在同一个底部载台上，使粗磨组件和精磨组件能沿电机轴向进行位移；底部载台则通过导轨‑滑块组件安装在设备底架上，使底部载台能沿垂直于电机轴向的方向进行位移。本实用新型避免了重复装夹加工件所产生的定位误差，可以大大降低蓝宝石棒的加工时间，并保证加工质量。
带轮蓝宝石精磨组件粗磨本实用新型电机滑块组件电机轴研磨机轴承座底架磨头平边外圆载台转轴砂轮并列布置定位误差夹紧装置蓝宝石棒平行布置研磨加工研磨组件加工件导轨丝杆轴端装夹皮带加工垂直重复保证

[实用新型]一种用于夹持蓝宝石晶棒的旋转工作平台-CN201820215076.X有效
发明人：张俊;曹建伟;傅林坚;孙明;于江忠;吴文泉;董炯杰 -专利权人：浙江晶瑞电子材料有限公司
申请日： 2018-02-07 - 公布日： 2018-11-20 - 主分类号： B24B41/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及蓝宝石加工辅助机构，旨在提供一种用于夹持蓝宝石晶棒的旋转工作平台。在平台底座上活动设置第一安装座，装于平台底座中的第一驱动装置能带动第一安装座绕竖直轴线180°转换；第一安装座上活动设置第二安装座，第二安装座上固定安装第二驱动装置能带动第二安装座绕水平轴线上下摆动；第二安装座上还设置活动安装了夹具的第三安装座并，夹具能在第三驱动装置的带动下绕水平轴线360°旋转。本实用新型能稳定可靠的夹住晶棒，并实现晶棒方向转换、俯仰旋转和自旋，以配合设置其它设备实现截断、定向和磨削蓝宝石晶棒端面的操作；该设备能提高蓝宝石晶棒加工效率，提升晶棒良率，进一步提高操作效率和晶棒端面加工质量。
第二安装座蓝宝石晶棒第一安装座晶棒旋转工作平台夹具本实用新型活动设置平台底座水平轴线夹持第二驱动装置第一驱动装置操作效率方向转换辅助机构俯仰旋转活动安装加工效率晶棒端面配合设置驱动装置上下摆动设备实现竖直轴线蓝宝石安装座夹住截断良率磨削自旋加工转换

[实用新型]一种用于晶片划伤检测的旋转工作平台-CN201820215063.2有效
发明人：张俊;曹建伟;傅林坚;孙明;吴文泉;张雄;董炯杰 -专利权人：浙江晶瑞电子材料有限公司
申请日： 2018-02-07 - 公布日： 2018-10-19 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本实用新型涉及蓝宝石晶片检测技术，旨在提供一种用于晶片划伤检测的旋转工作平台。其竖向目镜轴以其下端安装在支撑块上，水平悬臂板安装在目镜轴的上端，目镜固定在悬臂板伸出的末端；晶片旋转主轴组件由竖向依次连接的旋转主轴座、旋转主轴和旋转载台组成，在旋转主轴座中设置套装在旋转主轴下端部的轴承组件，旋转主轴座通过固定块安装在底部支撑板上；旋转载台固定在旋转主轴的上端部，其上表面设置用于承载晶片的硅胶块，硅胶块位于所述目镜的正下方。本实用新型通过把晶片的边缘悬空出来，晶片取放方便，通过人工缓慢的旋转载台就可以检测整个晶片边缘的划伤情况。避免了晶片边缘和陶瓷盘的接触，省去陶瓷盘节约了成本，操作简单方便。
旋转主轴晶片目镜旋转载台划伤旋转工作平台本实用新型晶片边缘硅胶块陶瓷盘竖向检测底部支撑板蓝宝石晶片水平悬臂板承载晶片检测技术晶片旋转取放方便依次连接轴承组件主轴组件上端固定块上表面上端部下端部悬臂板下端悬空伸出节约支撑

[实用新型]一种经改造的蓝宝石双面研磨机-CN201721588070.9有效
发明人：张俊;曹建伟;傅林坚;孙明;王思宇;吴文泉;董炯杰 -专利权人：浙江晶瑞电子材料有限公司
申请日： 2017-11-24 - 公布日： 2018-06-19 - 主分类号： B24B37/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及蓝宝石晶片研磨设备，旨在提供一种经改造的蓝宝石双面研磨机。包括设备原装自带的驱动电机和固定转速比的齿轮组，齿轮组带动研磨机下盘运行；齿轮组与研磨机上盘的转动齿轮之间不设置连接部件或传动部件；在研磨机的设备罩板或安装支架上设置安装座固定板和减速机安装座，分别固定安装固定上盘驱动电机和减速机，两者通过通过传动三角带连接；减速机通过传动齿轮带动研磨机上盘转动。该产品通过对固定转速比的双面研磨机进行改造，可实现分别控制研磨机上下盘转速的功能。杜绝了因为转速比不合理或无法达到工艺要求的转速导致的蓝宝石研磨效率不高或研磨质量差等现象。降低了研磨加工成本，提高了研磨加工效率。
研磨双面研磨机蓝宝石齿轮组固定转速比驱动电机减速机研磨机下盘安装座固定板减速机安装座研磨加工效率本实用新型传动三角带蓝宝石晶片改造安装支架传动部件传动齿轮工艺要求固定上盘连接部件研磨加工研磨设备研磨效率转动齿轮盘转动设备罩质量差转速比自带

[实用新型]一种蓝宝石晶棒截断装置-CN201720571403.0有效
发明人：傅林坚;孙明;朱亮;于江忠;吴文泉;卢宇;董炯杰 -专利权人：浙江晶瑞电子材料有限公司
申请日： 2017-05-22 - 公布日： 2018-02-02 - 主分类号： B28D5/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及蓝宝石晶棒加工，旨在提供一种蓝宝石晶棒截断装置。该种蓝宝石晶棒截断装置包括支撑底架、动力头安装底座、动力头、动力头带轮、动力头电机带轮、动力头驱动电机、床头箱、床头箱带轮、十字滑台、X轴伺服驱动电机、Y轴伺服驱动电机、床头箱电机安装板、床头箱电机、床头箱电机带轮、电机座安装板、床头箱安装板、十字滑台安装板、皮带，能利用金刚石圆形锯片对蓝宝石晶棒进行切割截断。本实用新型采用工件移动刀具静止的加工方式，十字滑台带动蓝宝石晶棒进给运动，避免锯片在转动的同时产生移动，能够减少锯片的震动，提高产品质量。
一种蓝宝石截断装置

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