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- [发明专利]真空镀膜设备及其排气系统-CN202311139359.2在审
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葛鹤龄;王怀民;程序雳;姜友松
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安徽其芒光电科技有限公司
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2023-09-05
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2023-10-27
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C23C14/56
- 本申请公开一种真空镀膜设备及其排气系统，排气系统包括：冷阱组件，包括具有沿轴向螺旋延伸的冷阱管道的冷阱主体；安装冷阱组件的容纳腔室；冷阱主体位于容纳腔室内；沿轴向延伸的连通通道，连通于容纳腔室上游；连通通道有通入容纳腔室的端口；冷阱主体在端口所在平面上的垂直投影围绕在端口外侧；容纳腔室具有围绕在端口周侧的垂直于轴向的挡壁，冷阱主体被遮挡定位于挡壁背离连通通道的一侧；连通容纳腔室的排气管道，入口位于容纳腔室背离连通通道的一侧；入口在端口所在平面上的垂直投影位于端口的内侧；设置在排气管道上的阀体；连接于排气管道远离容纳腔室一端的第一泵组。本说明书所提供的真空镀膜设备及其排气系统，能提高排气效率。
- 真空镀膜设备及其排气系统
- [发明专利]真空镀膜设备的排气加热方法-CN202310813205.0在审
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王怀民;葛鹤龄;姜友松
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安徽其芒光电科技有限公司
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2023-06-30
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2023-09-22
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C23C14/54
- 本申请公开一种真空镀膜设备的排气加热方法，涉及真空镀膜技术领域。该真空镀膜设备包括腔体、以及均与腔体相连的加热机构、抽真空机构和惰性气体充入机构。抽真空机构包括粗抽组件和高真空组件。排气加热方法包括以下步骤：启动粗抽组件，将腔体内的压力抽至第一预定值；关闭粗抽组件，开启加热机构和惰性气体充入机构，向腔体内充入惰性气体；当腔体内的压力达到第二预定值后，关闭惰性气体充入机构；当腔体内的基板温度达到第三预定值后，启动粗抽组件；当腔体内的压力达到第四预定值后，启动高真空组件，将腔体内的压力抽至镀膜预定值。本说明书所提供的真空镀膜设备的排气加热方法，能提高加热效率，实现对基板的快速加热。
- 真空镀膜设备排气加热方法
- [发明专利]偏压溅射镀膜装置-CN202310783636.7在审
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王怀民;程序雳;葛鹤龄;姜友松;杨运
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安徽其芒光电科技有限公司
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2023-06-28
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2023-09-22
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C23C14/34
- 本申请公开一种偏压溅射镀膜装置，包括反应容器、基片承载机构、溅射镀膜机构、旋转机构和真空排气机构。反应容器具有真空腔。基片承载机构设置在真空腔内。基片承载机构包括相连接的主体部和挂板部，挂板部设置于主体部的周侧。主体部包括相连的第一导电件和旋转支撑件。挂板部包括与第一导电件电连接的第二导电件、用于放置镀膜基片的偏压块。偏压块采用导电材料制作，与第二导电件电连接。溅射镀膜机构设置在真空腔内。旋转机构用于驱动主体部带动挂板部旋转。旋转机构与旋转支撑件相连。真空排气机构与真空腔连通，用于对真空腔排气抽真空。本说明书所提供的偏压溅射镀膜装置，在满足镀膜工艺要求的高速旋转的同时，能提供稳定可靠的偏压。
- 偏压溅射镀膜装置
- [实用新型]真空镀膜装置-CN202320362018.0有效
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王怀民;姜友松;葛鹤龄
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安徽其芒光电科技有限公司
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2023-02-27
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2023-08-29
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C23C14/24
- 本申请公开一种真空镀膜装置，包括反应容器、镀膜伞架、蒸发镀膜机构、溅射镀膜机构和抽真空机构。反应容器具有真空腔室。镀膜伞架设于反应容器内。镀膜伞架围绕一竖直轴线旋转，保持面的直径自上而下线性增大。蒸发镀膜机构和溅射镀膜机构设置在真空腔室，且朝向保持面。蒸发镀膜机构和溅射镀膜机构位于镀膜伞架的同一侧。抽真空机构包括冷阱组件、容纳腔室、连通通道、泵组件。冷阱组件的冷阱主体位于容纳腔室内。连通通道具有通入容纳腔室的端口，端口所在平面垂直于水平方向，冷阱主体在端口所在平面上的垂直投影围绕在端口的外侧。本说明书所提供的真空镀膜装置，将蒸发镀和溅射镀相结合，且能够节约真空腔室的空间，避免冷阱主体被污染。
- 真空镀膜装置
- [发明专利]真空蒸镀成膜装置-CN202211560725.7有效
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姜友松;郑炳蔚;王怀民;顾康鑫;杨运;葛鹤龄;李家保
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安徽其芒光电科技有限公司
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2022-12-06
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2023-07-28
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C23C14/30
- 本申请公开一种真空蒸镀成膜装置，涉及真空镀膜技术领域，真空蒸镀成膜装置包括：发射机构，发射机构包括通电后能放射电子的灯丝和具有用于容纳灯丝的容纳槽的盖板；用于盛放蒸发材料的盛放机构；用于将电子束约束并聚焦引导至盛放机构内的偏转聚焦机构；偏转聚焦机构包括磁铁和用于引导或改变磁场空间分布的导磁组件；导磁组件包括分别连接于磁铁沿其轴向相对的两端的两个导磁板、以及分别与导磁板相连的至少两个导磁极；导磁板所在的平面垂直于轴向，导磁极沿第一方向位于导磁板的同一侧；导磁板沿第一方向的另一侧设置有盛放机构。本说明书所提供的真空蒸镀成膜装置，能避免蒸发材料堆积在导磁组件上，且不会遮挡蒸发材料的蒸发路径。
- 真空蒸镀成膜装置
- [实用新型]冻存架-CN202220817185.5有效
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方秀菊;张丽;葛鹤龄;崔争第
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中科美菱低温科技股份有限公司
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2022-04-08
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2022-08-09
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A01N1/02
- 本申请提供一种冻存架，涉及冷冻存储器械技术领域，该冻存架包括：框架，以及至少一个容纳室，定位部件；容纳室包括至少一个开口，框架围绕出一个或多个容纳室，定位部件包括至少两个定位柱；所述至少两个定位柱设置于所述框架底端，并配置为在冻存架移动至存储设备中时通过所述至少两个定位柱实现冻存架的位置固定。框架所围绕的隔层空间形成一个或多个容纳室，该容纳室至少具有一个未封闭的开口，用于生物样品或冻存盒的放入或取出；通过在冻存架底端设置定位柱，使得冻存架在被夹取进行存储的过程中可以实现冻存架的准确定位，提高了移动时定位的稳定性、平衡性。
- 冻存架
- [实用新型]一种风道装置及冷藏箱-CN202121596648.1有效
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葛鹤龄;杨光照;范鹏程;崔争第;方秀菊
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中科美菱低温科技股份有限公司
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2021-07-14
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2022-02-18
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F25D11/00
- 本实用新型提供了一种风道装置，适于设置在间室内，包括风道外罩、风道内罩和至少一个风扇，所述风扇适于设置在所述风道内罩内，所述风道内罩适于设置在所述风道外罩内，所述风道外罩和所述风道内罩之间形成有第一风道，所述风道内罩内形成有第二风道，所述第二风道与所述间室内腔连通，所述风道外罩多个端面上设有回风结构，所述间室内的空气适于从所述回风结构进入所述第一风道，所述风扇适于将空气从所述第一风道导向所述第二风道。相对于现有技术，本实用新型通过在风道外罩上设置的多个回风结构，可以从间室的多个方位进行回风，保证间室内部各个方位空气的充分流通，从而保证间室内部各个位置温度的一致性和均匀性。
- 一种风道装置冷藏箱
- [发明专利]一种风道装置及冷藏箱-CN202110794909.9在审
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葛鹤龄;杨光照;范鹏程;崔争第;方秀菊
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中科美菱低温科技股份有限公司
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2021-07-14
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2021-09-24
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F25D11/00
- 本发明提供了一种风道装置，适于设置在间室内，包括风道外罩、风道内罩和至少一个风扇，所述风扇适于设置在所述风道内罩内，所述风道内罩适于设置在所述风道外罩内，所述风道外罩和所述风道内罩之间形成有第一风道，所述风道内罩内形成有第二风道，所述第二风道与所述间室内腔连通，所述风道外罩多个端面上设有回风结构，所述间室内的空气适于从所述回风结构进入所述第一风道，所述风扇适于将空气从所述第一风道导向所述第二风道。相对于现有技术，本发明通过在风道外罩上设置的多个回风结构，可以从间室的多个方位进行回风，保证间室内部各个方位空气的充分流通，从而保证间室内部各个位置温度的一致性和均匀性。
- 一种风道装置冷藏箱
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